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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術企業(yè)，致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發(fā)、生產和銷售。

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白光干涉儀測量圖片

型號： SuperViewW1

--- 產品參數(shù) ---

  • 注釋 更多詳細產品信息，請聯(lián)系我們獲取

--- 產品詳情 ---

SuperViewW1白光干涉儀是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

 

 

測量圖片

標準塊

 

 

硅晶片

 

 

金字塔

 

 

晶圓IC減薄后的粗糙度檢測

 

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