chotest國產(chǎn)光學(xué)輪廓儀基于白光干涉技術(shù)，分辨率達(dá)0.1nm，以3D非接觸方式測量分析劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量等，覆蓋半導(dǎo)體、3C電子、光學(xué)加工、汽車零部件、MEMS器件等領(lǐng)域，兼容多種材質(zhì)（透明、高反光、黑色等）。
chotest國產(chǎn)光學(xué)輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測。
產(chǎn)品功能
1)樣件測量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量；
2)單區(qū)域自動(dòng)測量：單片平面樣品或批量樣品切換測量點(diǎn)位時(shí)，可一鍵實(shí)現(xiàn)自動(dòng)條紋搜索、掃描等功能；
3)多區(qū)域自動(dòng)測量：可設(shè)置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點(diǎn)位，一鍵實(shí)現(xiàn)自動(dòng)條紋搜索、掃描等功能；
4)自動(dòng)拼接測量；支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動(dòng)拼接測量功能，配合影像導(dǎo)航功能，可自定義測量區(qū)域，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量；
5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊，可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟，結(jié)合自動(dòng)單測量功能，實(shí)現(xiàn)一鍵測量；
6)數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整、去噪、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
7)數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。
8)批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板，針對(duì)同類型參數(shù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析；
9)數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出：支持word、excel、pdf格式的數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，支持圖像、數(shù)值結(jié)果的導(dǎo)出；
10)故障排查功能：配置診斷模塊，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像；
11)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等；
12)環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)功能，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率，為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供定量依據(jù)；
13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)噪聲，確保測量數(shù)據(jù)的高精度；
14)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動(dòng)熄燈功能，當(dāng)檢測到鼠標(biāo)軌跡長時(shí)間未變動(dòng)后會(huì)自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞，并有效延長光源使用壽命；
15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護(hù)，軟件ZSTOP防撞保護(hù)，設(shè)置后即以當(dāng)前位置為位移下限位，不再下移且伴有報(bào)警聲；設(shè)備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮，進(jìn)入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險(xiǎn)。
自研3D顯微測量軟件平臺(tái)Xtremevision Pro
Xtremevision Pro
全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺(tái)，集成了圖像掃描、3D分析、影像測量、自動(dòng)化測量等四個(gè)大的功能模塊，能夠適配中圖W系列、VT系列、WT系列所有3D儀器機(jī)型，可自主識(shí)別機(jī)型種類，二合一機(jī)型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動(dòng)切換掃描模式。
Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗(yàn)，重構(gòu)了顯微影像測量功能，可針對(duì)微觀平面輪廓尺寸的點(diǎn)、線間的距離、角度、半徑等參數(shù)進(jìn)行直接測量和自動(dòng)匹配測量。
自動(dòng)化mark點(diǎn)識(shí)別坐標(biāo)定位自動(dòng)化功能
Mark點(diǎn)影像識(shí)別自動(dòng)坐標(biāo)位置校正，多區(qū)域坐標(biāo)點(diǎn)自動(dòng)定位測量與分析，可組合式完成粗糙度、輪廓尺寸的批量自動(dòng)化測量。
自動(dòng)拼接功能
chotest國產(chǎn)光學(xué)輪廓儀支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動(dòng)拼接測量功能，配合影像導(dǎo)航功能，可自定義測量區(qū)域，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、干涉物鏡
不通倍率的鏡頭，適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。
2、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)噪聲。
3、聲波隔振防護(hù)
儀器外殼與內(nèi)部運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用了分離式設(shè)計(jì)，有效隔離了聲波振動(dòng)的傳導(dǎo)。
4、水平調(diào)整裝置
傾斜調(diào)整旋鈕，調(diào)整條紋寬度，提高3D圖像的重建精度。
5、便攜式操縱桿
采用人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，集成了XYZ三軸位移和速度、光源亮度的自動(dòng)控制，并配有緊急停止按鈕。
6、真空吸附臺(tái)
專為半導(dǎo)體晶圓片定制的真空吸附臺(tái)，確保樣品在測量過程中不受空氣中微弱氣流擾動(dòng)的影像。
7、3D重建算法
自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，測量精度可達(dá)亞納米級(jí)別。
應(yīng)用領(lǐng)域圖片
對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號(hào) | W1 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 影像系統(tǒng) | 1024×1024 | |
| 干涉物鏡 | 標(biāo)配：10× 選配：2.5×;5×;20×;50×;100× | |
| 光學(xué)ZOOM | 標(biāo)配：0.5× 選配：0.375×;0.75×;1× | |
| 物鏡塔臺(tái) | 標(biāo)配：3孔手動(dòng) 選配：5孔電動(dòng) | |
XY位移平臺(tái) | 尺寸 | 320×200㎜ |
| 移動(dòng)范圍 | 140×100㎜ | |
| 負(fù)載 | 10kg | |
| 控制方式 | 電動(dòng) | |
| Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
| 控制方式 | 電動(dòng) | |
| Z向掃描范圍 | 10 ㎜ | |
| 主機(jī)尺寸（長×寬×高） | 700×606×920㎜ | |
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