平面光學(xué)激光干涉儀

一、產(chǎn)品簡介

      SJ6000平面光學(xué)激光干涉儀采用進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計算機(jī)進(jìn)行顯示和動態(tài)分析。

邁克爾遜干涉儀的原理是一束入射光分為兩束后各自被對應(yīng)的平面鏡反射回來，這兩束光從而能夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調(diào)整干涉臂長度以及改變介質(zhì)的折射率來實現(xiàn)，從而形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差點的軌跡，因此，要分析某種干涉產(chǎn)生的圖樣，必求出相干光的光程差位置分布函數(shù)。

搭建好幾何光路后，在檢定軟件上設(shè)定測量的開始、結(jié)束位置，點擊“開始”按鈕，軟件界面會實時顯示測量所得動態(tài)數(shù)據(jù)；掃描結(jié)束后，操作者可通過對測量所得數(shù)據(jù)曲線進(jìn)行分析，得到如長度、角度、直線度、垂直度、平面度等參數(shù)。并根據(jù)系統(tǒng)內(nèi)置的檢測標(biāo)準(zhǔn)對被測件的各項參數(shù)進(jìn)行合格判定，檢測結(jié)束后自動生成檢定結(jié)果。

二、特點優(yōu)勢

1、應(yīng)用范圍廣：可實現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測；在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量，可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等。

2、測量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，測量結(jié)果可達(dá)納米級；采用高精度環(huán)境補償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

3、采用先進(jìn)的PSD技術(shù)（光電位置敏感檢測器，可將光敏面上的光點位置轉(zhuǎn)化為電信號），光路調(diào)節(jié)迅速、方便。一次安裝能測量6項精度指標(biāo)包括線性定位誤差、XX及YY兩個方向直線度、偏擺角、俯仰角、滾動角。

4、內(nèi)置各種類國標(biāo)（GB）、ISO（國際）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機(jī)床檢驗標(biāo)準(zhǔn)。具有動態(tài)測量分析功能，能夠?qū)崟r采集、顯示數(shù)據(jù)，可進(jìn)行快速測量分析。

5、安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜；云臺自帶三維水平校正儀，安裝調(diào)光方便；斷光無影響，方便導(dǎo)軌的安裝調(diào)試；

6、界面友好，符合中國用戶操作習(xí)慣；

7、測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；

8、可從數(shù)據(jù)庫中選定多條記錄成批打印檢定記錄或者檢定證書；

9、可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔；

10、具有數(shù)據(jù)備份和還原數(shù)據(jù)庫功能；

11、輸出多種Word格式報表，并支持自定義報表，定制檢定記錄報表和檢定證書的格式，適合國內(nèi)計量機(jī)構(gòu)對報表方面的要求。

三、技術(shù)參數(shù)