中芯國際已將明導(dǎo)國際Calibre產(chǎn)品認(rèn)證DFM簽核參考平臺
前不久,明導(dǎo)國際宣布中芯國際已經(jīng)將明導(dǎo)國際Calibre產(chǎn)品認(rèn)證為其65nm和更小制程的可制造性設(shè)計(DFM)簽核參考平臺。參考流程涵蓋了Calibre DFM所能提供的全部組件,包括:用于光刻檢驗的Calibre LFD產(chǎn)品;用于平面性(CMP)仿真的Calibre CMPAnalyzer產(chǎn)品;用于關(guān)鍵區(qū)域分析(CAA)和仿真的Calibre YieldAnalyzer產(chǎn)品;以及用于自動DFM布線改進的帶有SmartFill的Calibre YieldEnhancer產(chǎn)品,其中包括了高度優(yōu)化平面性填充。此外,中芯國際還將Calibre解決方案應(yīng)用于DFM服務(wù)之中。
“我們正積極將DFM簽核要求添加到65nm及以下的制程當(dāng)中,使其成為各個級別的強制規(guī)定,包括全芯片、模塊和IP,”中芯國際企業(yè)設(shè)計服務(wù)中心副總裁Max Liu說?!爸赃x擇Calibre,是因為我們發(fā)現(xiàn)它是完整、準(zhǔn)確而可靠的DFM平臺,這將保證中芯國際參考流程的有效性。例如,Calibre LFD是主要的光刻檢驗工具,它的精度足以達到我們對于65nm制程的要求。所以,我們在流程中使用的制程變動分析工具,包括電氣分析,均采用Calibre LFD生成的輪廓圖。同時,Calibre CMPAnalyzer使得中芯國際能夠建立并修改我們的CMP模型,在DFM過程中給予我們更多的靈活性和控制力。另外,Calibre作為在業(yè)界廣泛使用的完整流片后流程平臺,使我們的客戶能夠輕易將經(jīng)過Calibre驗證的IP集成在他們的設(shè)計當(dāng)中?!?/font>
“采用DFM已經(jīng)成為晶圓代工和無晶圓設(shè)計公司同時面臨的一項挑戰(zhàn),”明導(dǎo)國際副總裁,設(shè)計至芯片部總經(jīng)理Joseph Sawicki說?!癈alibre平臺使得DFM成為我們的客戶現(xiàn)有物理驗證流程的無縫延伸,產(chǎn)品的采用變得更加容易,性能方面的優(yōu)勢得以顯現(xiàn),整個周期時間也得到了縮短。”
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