南大光電全力推進(jìn)ArF光刻膠

7月17日，南大光電在互動(dòng)平臺(tái)透露，公司設(shè)立光刻膠事業(yè)部，并成立了全資子公司“寧波南大光電材料有限公司”，全力推進(jìn)“ArF光刻膠開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”落地實(shí)施。目前該項(xiàng)目完成的研發(fā)技術(shù)正在等待驗(yàn)收中，預(yù)計(jì)2019年底建成一條光刻膠生產(chǎn)線，項(xiàng)目產(chǎn)業(yè)化基地建設(shè)順利。

南大光電是一家專(zhuān)業(yè)從事高純電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售的高新技術(shù)企業(yè)，公司于2012年8月7日在深圳證券交易所創(chuàng)業(yè)板掛牌上市。

憑借30多年來(lái)的技術(shù)積累優(yōu)勢(shì)，公司先后攻克了國(guó)家863計(jì)劃MO源全系列產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化、國(guó)家“02—專(zhuān)項(xiàng)”高純電子氣體（砷烷、磷烷）研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化、ALD/CVD前驅(qū)體產(chǎn)業(yè)化等多個(gè)困擾我國(guó)數(shù)十年的項(xiàng)目，填補(bǔ)了多項(xiàng)國(guó)內(nèi)空白。2017年，南大光電承擔(dān)了集成電路芯片制造用關(guān)鍵核心材料之一的193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。

通過(guò)承擔(dān)國(guó)家重大技術(shù)攻關(guān)項(xiàng)目并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，南大光電形成了MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅(qū)體材料和光刻膠四大業(yè)務(wù)板塊。