西北工業(yè)大學(xué)主辦的第25屆世界微機械會議在西安舉行

2019年5月7日，由西北工業(yè)大學(xué)主辦的第25屆世界微機械會議在西安舉行。本次會議的舉辦對西工大、西安市和陜西省在微機械、芯片制造、智能制造等高科技領(lǐng)域的發(fā)展具有重要推動作用。這是西北工業(yè)大學(xué)首次贏得World Micromachine Summit的舉辦權(quán)，標(biāo)志著西工大在該領(lǐng)域的實力和地位，也表明西安市和陜西省在微機械、芯片制造、智能制造等高科技領(lǐng)域具有雄厚的實力。會議由西北工業(yè)大學(xué)機電學(xué)院苑偉政教授擔(dān)任會議主席，訂于2019年5月6日-10日在西安舉辦。

第25屆世界微機械會議（World Micromachine Summit 2019，MMS 2019）由中國代表團組織主辦，有20多個國家和地區(qū)代表團的近100位代表參加。西北工業(yè)大學(xué)校長汪勁松出席開幕式。

第25屆世界微機械會議（MMS 2019）的主題是“智能制造——從芯片開始”，包括微納尺度的能源收集及存儲、生物芯片、光電設(shè)備、柔性電子器件、先進打印技術(shù)以及其他與微納技術(shù)和智能系統(tǒng)相關(guān)的研究開發(fā)成果。

世界微機械會議（World Micromachine Summit，MMS）是微機械技術(shù)領(lǐng)域的世界頂級會議，由在微機械技術(shù)領(lǐng)域具有國際競爭力的包括美國、日本、德國在內(nèi)的二十多個國家和地區(qū)的代表團參加，代表團都是各國該領(lǐng)域的“國家隊”。

世界微機械會議旨在為全球范圍內(nèi)工業(yè)、學(xué)術(shù)以及政府推動并展現(xiàn)微納技術(shù)和智能系統(tǒng)的發(fā)展概況。各國代表團成員以圓桌會議的形式討論每個國家和地區(qū)在微納技術(shù)方面的最新研究進展，進一步推動各國微納技術(shù)和智能系統(tǒng)的發(fā)展。

世界微機械會議（World Micromachine Summit，MMS）是1995年由日本微機械中心（Micromachine Center）組織發(fā)起。第一屆MMS于1995年3月13-15日在日本京都召開，來自10個國家的代表參加了此次會議。其后每年舉辦一屆，截止目前已經(jīng)舉辦24屆，代表團已擴大到25個國家和地區(qū)。

第25屆世界微機械會議在西工大舉辦，標(biāo)志著西工大在微機械領(lǐng)域的工作得到了世界范圍內(nèi)同行頂級專家的公認(rèn)，表明西工大具有與世界一流學(xué)科比肩的實力和重要的國際影響力。西北工業(yè)大學(xué)擁有“極端環(huán)境智能微系統(tǒng)國家重點實驗室（培育）”、“空天微納系統(tǒng)教育部重點實驗室”和“陜西省微/納米系統(tǒng)重點實驗室”及機械電子工程國家重點學(xué)科、微機電系統(tǒng)及納米技術(shù)國防重點學(xué)科、相關(guān)“985工程”、“211工程”科技創(chuàng)新平臺。

微/納米系統(tǒng)實驗室成立于1993年，是國內(nèi)較早開展微機電系統(tǒng)研究的單位之一。經(jīng)長期發(fā)展，特別是 “十五”以來經(jīng)過“985工程”、“211工程”建設(shè)，已經(jīng)成為西北工業(yè)大學(xué)微納系統(tǒng)方向博士、碩士研究生培養(yǎng)以及本科生創(chuàng)新設(shè)計培養(yǎng)的重要基地，具有強的科學(xué)研究、設(shè)計開發(fā)與人才培養(yǎng)能力。目前實驗室具備國內(nèi)一流、國際先進的實驗條件，在面向“三航”應(yīng)用的高端MEMS以及微機電系統(tǒng)集成設(shè)計等方面處于國內(nèi)領(lǐng)先地位，在國際相關(guān)領(lǐng)域有重要影響。

依托實驗室建設(shè)發(fā)展的“微機電系統(tǒng)及納米技術(shù)”學(xué)科為機械工程一級學(xué)科下有博士、碩士授予權(quán)的自設(shè)二級學(xué)科，是機械工程一級學(xué)科聯(lián)合儀器科學(xué)與技術(shù)、光學(xué)工程、生物醫(yī)學(xué)工程等多個一、二級學(xué)科博士、碩士點建立起的新興、交叉、邊緣學(xué)科，是西工大“十五”重點建設(shè)學(xué)科，國家“985工程”重點建設(shè)項目。2002年，“微機電系統(tǒng)及納米技術(shù)”學(xué)科被列為國防重點學(xué)科。2007年，以微納系統(tǒng)技術(shù)為主干方向申報獲批了“機械電子工程”國家重點學(xué)科。此外，實驗室還擁有儀器科學(xué)與技術(shù)一級學(xué)科下的測試計量技術(shù)及儀器博士點、精密儀器及機械博士點、機械設(shè)計制造及其自動化博士點等。

建立并發(fā)展成國際一流水平的“空天微納系統(tǒng)教育部重點實驗室”和“陜西省微納米系統(tǒng)重點實驗室”，近兩次考核均為優(yōu)秀。目前實驗室設(shè)備資產(chǎn)達到了4000多萬元。實驗室形成了國內(nèi)少有的系統(tǒng)完整的硅基MEMS設(shè)計、制造、測試平臺，以及國際領(lǐng)先的聚合物柔性MEMS制造平臺，有力支撐了學(xué)科建設(shè)和發(fā)展，并為國內(nèi)外提供代工服務(wù)，保障了型號任務(wù)，促進了產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。

實驗室是國內(nèi)高校少有的面向全國開放的微納系統(tǒng)制造和研發(fā)平臺之一。實驗室擁有規(guī)范的管理、培訓(xùn)、運行和對外開放制度。實驗室為清華大學(xué)、北京大學(xué)、上海交通大學(xué)、航天771所、航空618所、兵器212所、中科院西安光機所等國內(nèi)幾十家單位提供了微納加工技術(shù)及相關(guān)器件研發(fā)支持。此外，實驗室還與航天014基地、總裝29基地、中國船舶科學(xué)研究中心等建立了良好合作關(guān)系，正在與華大電子等國家重點企業(yè)籌建有關(guān)微納科技的聯(lián)合培訓(xùn)中心等。2010年，與山東淄博高新區(qū)建立了微傳感器聯(lián)合研究中心。

爭取到國家儀器重大專項、863、973、國防基礎(chǔ)研究計劃、國家自然科學(xué)基金等國家級項目30余項，總經(jīng)費超過1.2億元。在微機電系統(tǒng)設(shè)計、流動測控靈巧蒙皮技術(shù)等方面的處于國際領(lǐng)先水平，在微慣性器件與系統(tǒng)、微光學(xué)器件、微能源、微流體等方面形成了鮮明的特色。獲國家技術(shù)發(fā)明二等獎2項，省級科技一等獎3項。在國內(nèi)外重要學(xué)術(shù)刊物上發(fā)表一批高水論文，包括領(lǐng)域國際頂尖學(xué)術(shù)刊物J.MEMS論文5篇，位列中國大陸高校前列，SCI/EI收錄論文242篇。獲授權(quán)國家發(fā)明專利80余項?！段C電系統(tǒng)制造技術(shù)》獲國家科學(xué)技術(shù)學(xué)術(shù)出版基金資助出版。

2012年虞益挺獲全國百篇優(yōu)秀博士論文獎。編著的《微機械與微細加工技術(shù)》為我國早期系統(tǒng)全面論述MEMS的論著之一，被評為教育部研究生推薦教材?！段C電系統(tǒng)》被列為MEMS領(lǐng)域唯一的國家級規(guī)劃教材。建立微納米小精靈創(chuàng)新設(shè)計基地，學(xué)生共獲得國際一等獎、全國一等獎等大獎20余項，創(chuàng)新競賽獲獎層次和總數(shù)名列全國高校前茅。學(xué)生創(chuàng)新作品得到科技部長萬鋼等高度贊揚。研究成果“創(chuàng)建微納新興交叉學(xué)科平臺，培育拔尖創(chuàng)新人才”2014年獲國家教學(xué)成果一等獎。

團隊入選教育部創(chuàng)新團隊。逐漸形成了以青年優(yōu)秀骨干教師為主的團隊，其中入選教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才培養(yǎng)計劃4人，獲“洪堡學(xué)者”基金1人，入選中組部萬人計劃2人，青年拔尖人才1人，當(dāng)選“長江學(xué)者”特聘教授1人，院士有效候選人1人。

建立了國家“111”引智基地。與美國加州理工學(xué)院、加州大學(xué)伯克利分校、德國慕尼黑工業(yè)大學(xué)、弗萊堡大學(xué)、法國巴黎高師等多所國際著名大學(xué)建立了良好合作關(guān)系，支持學(xué)生出國參加IEEE MEMS等領(lǐng)域頂級國際會議，選派學(xué)生和教師到世界一流大學(xué)深造。邀請包括諾貝爾獎獲得者Wolfgang Ketterle、崔琦，美國工程院院士何志明在內(nèi)的幾十名著名教授來校講學(xué)，大幅提升了學(xué)科的國際化水平。

參會人員中包括MEMS技術(shù)的奠基人、世界上最早實現(xiàn)MEMS技術(shù)商業(yè)化的著名專家、美國工程院院士、美國機械工程學(xué)會終身會士，獲得澳大利亞科技界奧斯卡獎的澳大利亞昆士蘭微納中心主任，德國著名的國家研究中心弗朗霍夫研究院納米電子系統(tǒng)中心主任，西班牙國家納米研究中心主任，日本東京大學(xué)微納研究中心主任，韓國科學(xué)院微納研究中心首席科學(xué)家、韓國微納學(xué)會主席，國內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域院士等世界微機械領(lǐng)域頂級大咖。他們的工作有些改變了歷史，有些已寫入了教科書。

會議方向涉及微機械等世界前沿科技以及智能制造、芯片制造等國家熱點、難點，與國家科技發(fā)展和人民生活息息相關(guān)。

微機械是基于芯片制造技術(shù)的精密機械，通常包括了微/納傳感器、微納執(zhí)行器以及檢測控制電路為一體的微系統(tǒng)，是繼微電子發(fā)展起來的又一項戰(zhàn)略性高新技術(shù)。它是人類認(rèn)識和改造世界的重要新型手段，是功能結(jié)構(gòu)微型化、集成化、靈巧化的典型代表。微機械不僅涉及微電子學(xué)、微機械學(xué)、微光學(xué)、微流體學(xué)、微熱力學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)和生物學(xué)等眾多學(xué)科，而且涉及從材料、設(shè)計、制造、控制、能源直到測試、集成、封裝等一系列技術(shù)環(huán)節(jié)，被視為21世紀(jì)有望根本改變世界面貌的關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域，也是國際競相發(fā)展的戰(zhàn)略性高新技術(shù)領(lǐng)域。

鑒于微機械產(chǎn)品的多樣性及諸多優(yōu)點，當(dāng)前國民經(jīng)濟幾乎所有的行業(yè)都對微機械產(chǎn)品的應(yīng)用有著廣闊和迫切的需求。從物聯(lián)網(wǎng)、智慧城市、智能建筑、智能交通的建設(shè)，到水質(zhì)、土壤、大氣等環(huán)境的監(jiān)測與保護；從解決地溝油、毒牛奶等食品安全問題，到預(yù)先監(jiān)測禽流感、SARS等高傳染性病毒；從現(xiàn)代老齡化社會常見的糖尿病、高血脂、青光眼等疾病的預(yù)防，到艾滋病、癲癇病等各種疑難雜癥的治療；從高端機床研制、油氣田開發(fā)，到大飛機、載人航天與探月、航空發(fā)動機，十六個國家重大科技工程，幾乎都對微機械產(chǎn)品的應(yīng)用有著迫切的需求。

來自二十多個多個國家和地區(qū)的微機械領(lǐng)域“國家隊”代表，就微機械領(lǐng)域科學(xué)技術(shù)的發(fā)展做了精彩的報告，許多“黑科技”有望進一步改變?nèi)祟惿睢?/p>

美國工程院院士、美國機械工程學(xué)會終身會士Kurt Peterson報告了許多新科技，包括讓盲人復(fù)明的可植入眼睛的微機械系統(tǒng)，手掌大的基因測序芯片，可隨身攜帶的用于疾病診斷的微機械分子檢測裝置等。

新加坡南洋理工大學(xué)的繆建民（Miao Jianmin）教授報告了可用于大氣污染環(huán)境檢測的微機械芯片，或可對我們的霧霾監(jiān)測分析提供新的技術(shù)手段。

比利時魯文大學(xué)的Michael Kraft教授報告了面向微生化反應(yīng)器的多物理量集成傳感器，在一個芯片上可以同時檢測葡萄糖、乳酸、酸堿度、細胞密度等，或可用于太空站可循環(huán)生命系統(tǒng)檢測。

中國科學(xué)院電子學(xué)研究所王軍波研究員報告了新型的基于電化學(xué)原理的地震波傳感器，未來可用于地震檢測、地球物理勘測、海底檢測等。

北京大學(xué)張海霞教授報告了一種手機滑擦產(chǎn)能裝置，通過在手機表面做一層特殊的看不見的微納結(jié)構(gòu)的膜，用手指在表面滑擦，就可以產(chǎn)生能量，換句話說，我們通過滑手機就可以發(fā)電了。雖然目前電量還比較小，但未來大有可期。

清華大學(xué)朱榮教授報告了一種基于電極陣列的細胞處理儀器，可以對單個細胞實現(xiàn)捕捉、移動、測量、穿孔等操作，為生物醫(yī)療提供了一個便利的細胞實驗站。

西北工業(yè)大學(xué)常洪龍教授報告了一種新的高靈敏度微傳感器機理，靈敏度比世界上原有的同類傳感器提高了幾百倍，據(jù)此他們做出了超精密的可以測量單個電子的儀器，可應(yīng)用于航天等特殊的高精尖領(lǐng)域。

舉辦這次會議將進一步擴大西工大、西安市和陜西省在相關(guān)高科技領(lǐng)域影響力，促進高校雙一流建設(shè)、西安市和陜西省高科技發(fā)展。