蝕刻的工藝流程及注意事項(xiàng)

蝕刻（etching）是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。蝕刻技術(shù)可以分為濕蝕刻（wet etching）和干蝕刻（dry etching）兩類。它可通過(guò)曝光制版、顯影后，將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜去除，在蝕刻時(shí)接觸化學(xué)溶液，達(dá)到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。

最早可用來(lái)制造銅版、鋅版等印刷凹凸版，也廣泛地被使用于減輕重量（Weight Reduction）儀器鑲板，銘牌及傳統(tǒng)加工法難以加工之薄形工件等的加工；經(jīng)過(guò)不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展，亦可以用于航空、機(jī)械、化學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工，特別在半導(dǎo)體制程上，蝕刻更是不可或缺的技術(shù)。

工藝流程：

1、來(lái)料檢驗(yàn)當(dāng)接到客戶需要加工的工件時(shí)，首先我們要經(jīng)過(guò)檢查，也就是我們目前IQC工序所要做的工作，把接到客戶的加工工件抹干凈，然后進(jìn)行仔細(xì)檢驗(yàn)，把來(lái)料中存在的不良品剔除出來(lái)，保證投入的產(chǎn)品是良品。

2、靜電除塵、噴感光油、檢查當(dāng)來(lái)料加工的工件經(jīng)過(guò)IQC檢驗(yàn)合格后，就交給下一道工序：噴感光油，但在噴感光油前一定要進(jìn)行靜電除塵，因?yàn)楫a(chǎn)品在生產(chǎn)過(guò)程和我們抹試的過(guò)程中，不同程度上會(huì)存在靜電，而靜電是可以吸付灰塵的，所以必須經(jīng)過(guò)靜電除塵，把靜電去除后灰塵才不會(huì)吸付在產(chǎn)品上面，完成靜電除后就進(jìn)行下一步工作：噴感光油，噴感受光油的作用主要是為下一道工序感光（爆光）做好準(zhǔn)備，將產(chǎn)品前后都噴上感光油，完成噴油工作后，必須對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行仔細(xì)檢查，檢查的目的是產(chǎn)品在噴油過(guò)程中有沒(méi)有噴到油、有沒(méi)有存留油渣等不良現(xiàn)象出現(xiàn)，當(dāng)產(chǎn)品檢查OK后就要流入下一個(gè)工序：感光（爆光）。

3、感光、顯影 感光（爆光）是將菲林放在已經(jīng)噴了感光油的產(chǎn)品上面，主要的目的是通過(guò)爆光讓菲林上的圖案在產(chǎn)品上形成，感光（爆光）過(guò)程中要特別注意夾具一定要放好，菲林不能歪斜，否則產(chǎn)品圖案就會(huì)出現(xiàn)歪斜現(xiàn)象，從而產(chǎn)生不良品，而菲林也要定期檢查，不能出現(xiàn)折疊現(xiàn)象，否則也會(huì)出現(xiàn)不良品。感光（爆光）完成后就要進(jìn)行下一步工作：顯影；顯影的目的是通過(guò)顯影藥水將未爆光的地方?jīng)_走，經(jīng)過(guò)爆光的地方固化，形成蝕刻圖案，經(jīng)過(guò)顯影后質(zhì)檢員對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行檢查，把顯影不到的地方或圖案不良的產(chǎn)品挑選出來(lái)，良品則進(jìn)入下一道工序：封油。

4、封油 所謂封油就是將產(chǎn)品在噴油過(guò)程中產(chǎn)品邊緣的位置、噴不到油的地方進(jìn)行人工補(bǔ)油，補(bǔ)油過(guò)程中產(chǎn)品的金屬部位不可有外露現(xiàn)象，否則經(jīng)過(guò)蝕刻后將會(huì)產(chǎn)生不良品，補(bǔ)油完成后再對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行烘干，烘干完成后對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行檢查，檢查OK后才可以放入下一道工序：蝕刻。

5、蝕刻、清洗 蝕刻是整個(gè)生產(chǎn)流程的關(guān)鍵工序，主要是將產(chǎn)品通過(guò)化學(xué)溶液的化學(xué)作用將產(chǎn)品經(jīng)過(guò)爆光顯影后外露的不銹鋼部位進(jìn)行腐蝕，從而形成我們想要的圖案，蝕刻工作完成后對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行清洗，將多余的油漆清洗掉，然后經(jīng)過(guò)慢拉機(jī)等的清洗設(shè)備完成產(chǎn)品的加工過(guò)程。

6、出貨檢驗(yàn) 經(jīng)過(guò)蝕刻清洗工序完成后的產(chǎn)品即是我們想要的產(chǎn)品，但還要進(jìn)行FQC最終檢驗(yàn)，將生產(chǎn)過(guò)程中的不良品剔除出來(lái)后才可以交成品倉(cāng)庫(kù)安排出貨。

問(wèn)題注意：

減少側(cè)蝕和突沿，提高蝕刻系數(shù)

側(cè)蝕產(chǎn)生突沿。通常印制板在蝕刻液中的時(shí)間越長(zhǎng)，（或者使用老式的左右搖擺蝕刻機(jī)）側(cè)蝕越嚴(yán)重。側(cè)蝕嚴(yán)重影響印制導(dǎo)線的精度，嚴(yán)重側(cè)蝕將使制作精細(xì)導(dǎo)線成為不可能。當(dāng)側(cè)蝕和突沿降低時(shí)，蝕刻系數(shù)就升高，高的蝕刻系數(shù)表示有保持細(xì)導(dǎo)線的能力，使蝕刻后的導(dǎo)線接近原圖尺寸。電鍍蝕刻抗蝕劑無(wú)論是錫－鉛合金，錫，錫－鎳合金或鎳，突沿過(guò)度都會(huì)造成導(dǎo)線短路。因?yàn)橥谎厝菀讛嗔严聛?lái)，在導(dǎo)線的兩點(diǎn)之間形成電的橋接。

提高板子與板子之間蝕刻速率的一致性

在連續(xù)的板子蝕刻中，蝕刻速率越一致，越能獲得均勻蝕刻的板子。要達(dá)到這一要求，必須保證蝕刻液在蝕刻的全過(guò)程始終保持在最佳的蝕刻狀態(tài)。這就要求選擇容易再生和補(bǔ)償，蝕刻速率容易控制的蝕刻液。選用能提供恒定的操作條件和對(duì)各種溶液參數(shù)能自動(dòng)控制的工藝和設(shè)備。通過(guò)控制溶銅量，PH值，溶液的濃度，溫度，溶液流量的均勻性（噴淋系統(tǒng)或噴嘴以及噴嘴的擺動(dòng)）等來(lái)實(shí)現(xiàn)。

提高整個(gè)板子表面蝕刻速率的均勻性

板子上下兩面以及板面上各個(gè)部位的蝕刻均勻性是由板子表面受到蝕刻劑流量的均勻性決定的。

蝕刻過(guò)程中，上下板面的蝕刻速率往往不一致。一般來(lái)說(shuō)，下板面的蝕刻速率高于上板面。因?yàn)樯习迕嬗腥芤旱亩逊e，減弱了蝕刻反應(yīng)的進(jìn)行。可以通過(guò)調(diào)整上下噴嘴的噴啉壓力來(lái)解決上下板面蝕刻不均的現(xiàn)象。蝕刻印制板的一個(gè)普遍問(wèn)題是在相同時(shí)間里使全部板面都蝕刻干凈是很難做到的，板子邊緣比板子中心部位蝕刻的快。采用噴淋系統(tǒng)并使噴嘴擺動(dòng)是一個(gè)有效的措施。更進(jìn)一步的改善可以通過(guò)使板中心和板邊緣處的噴淋壓力不同，板前沿和板后端間歇蝕刻的辦法，達(dá)到整個(gè)板面的蝕刻均勻性。

提高安全處理和蝕刻薄銅箔及薄層壓板的能力

在蝕刻多層板內(nèi)層這樣的薄層壓板時(shí)，板子容易卷繞在滾輪和傳送輪上而造成廢品。所以，蝕刻內(nèi)層板的設(shè)備必須保證能平穩(wěn)的，可靠地處理薄的層壓板。許多設(shè)備制造商在蝕刻機(jī)上附加齒輪或滾輪來(lái)防止這類現(xiàn)象的發(fā)生。更好的方法是采用附加的左右搖擺的聚四氟乙烯涂包線作為薄層壓板傳送的支撐物。對(duì)于薄銅箔（例如1/2或1/4盎司）的蝕刻，必須保證不被擦傷或劃傷。薄銅箔經(jīng)不住像蝕刻1盎司銅箔時(shí)的機(jī)械上的弊端，有時(shí)較劇烈的振顫都有可能劃傷銅箔。

減少污染的問(wèn)題

銅對(duì)水的污染是印制電路生產(chǎn)中普遍存在的問(wèn)題，氨堿蝕刻液的使用更加重了這個(gè)問(wèn)題。因?yàn)殂~與氨絡(luò)合，不容易用離子交換法或堿沉淀法除去。所以，采用第二次噴淋操作的方法，用無(wú)銅的添加液來(lái)漂洗板子，大大地減少銅的排出量。然后，再用空氣刀在水漂洗之前將板面上多余的溶液除去，從而減輕了水對(duì)銅和蝕刻的鹽類的漂洗負(fù)擔(dān)。

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