晶體生長(zhǎng)中需要解決的問題不得不看

說到晶體，要追溯到古希臘。古希臘人首先創(chuàng)造了κρ?σταλλο?（krustallos）這個(gè)詞，意思是“冰”和“水晶”。大晶體的實(shí)例包括雪花、金剛石和食鹽。

所謂晶體生長(zhǎng)是物質(zhì)在特定的物理和化學(xué)條件下由氣相、液相或固相形成晶體的過程。

人類在數(shù)千年前就會(huì)曬鹽和制糖。人工模仿天然礦物并首次合成成功的是剛玉寶石(α氧化鋁)。

維爾納葉約在1890年開始試驗(yàn)用氫氧焰熔融氧化鋁粉末，以生長(zhǎng)寶石，這個(gè)方法一直沿用至今。

第二次世界大戰(zhàn)后，由于天然水晶作為戰(zhàn)略物資而引起人們的重視，科學(xué)家們又發(fā)明了水熱法生長(zhǎng)人工水晶。

人們還在超高壓下合成了金剛石，在高溫條件下生長(zhǎng)了成分復(fù)雜的云母等重要礦物，以補(bǔ)充天然礦物的不足。

20世紀(jì)50年代，鍺、硅單晶的生長(zhǎng)成功，促進(jìn)了半導(dǎo)體技術(shù)和電子工業(yè)的發(fā)展。20世紀(jì)60年代，由于研制出紅寶石和釔鋁石榴石單晶，為激光技術(shù)打下了牢固的基礎(chǔ)。

然而，要想成為一個(gè)煉“晶”術(shù)師，晶體生長(zhǎng)中需要解決的問題不得不看。

01

晶體生長(zhǎng)過程能夠發(fā)生的

熱力學(xué)條件分析及其生長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)力

晶體生長(zhǎng)過程是一個(gè)典型的相變過程，因此進(jìn)行晶體生長(zhǎng)過程設(shè)計(jì)時(shí)首先需要考慮的是該相變過程在什么條件下可以發(fā)生、相變驅(qū)動(dòng)力的大小與環(huán)境條件的關(guān)系，并以此為基礎(chǔ)，選擇合理的晶體生長(zhǎng)條件。這是一個(gè)典型的熱力學(xué)問題。

02

晶體生長(zhǎng)過程中的形核

晶體生長(zhǎng)的第一步是獲得晶體結(jié)晶核心，后續(xù)的結(jié)晶過程通過該核心的長(zhǎng)大完成。結(jié)晶核心可以是外來的，即引入籽晶，也可以直接從母相中形核獲得。該形核過程是需要嚴(yán)格控制的。理想的單晶生長(zhǎng)過程應(yīng)該精確地控制到只形成一個(gè)晶核。在后續(xù)的晶體長(zhǎng)大過程中，防止新的晶核形成也是晶體生長(zhǎng)過程形核研究的重要課題。

03

晶體生長(zhǎng)界面的

結(jié)構(gòu)及其宏觀、微觀形態(tài)

在完成形核之后，晶體生長(zhǎng)過程是通過結(jié)晶界面不斷向母相中推進(jìn)進(jìn)行的。結(jié)晶界面的宏觀及微觀形態(tài)與結(jié)晶過程的宏觀傳輸特性相互耦合、相互影響，并對(duì)晶體的結(jié)晶質(zhì)量，特別是晶體結(jié)構(gòu)缺陷與成分偏析的形成具有至關(guān)重要的影響。因此，從結(jié)晶界面彎曲特性等宏觀的形貌，到結(jié)晶界面納米到毫米尺度上的平整度等細(xì)觀形貌，直至晶面原子尺度的微觀結(jié)構(gòu)都是晶體生長(zhǎng)研究的重要課題。

04

結(jié)晶界面的物理化學(xué)過程

母相中的原子或分子在結(jié)晶界面上的沉積過程、堆垛方式，以及界面上的化學(xué)反應(yīng)、擴(kuò)散行為等是影響晶體結(jié)構(gòu)完整性的重要因素。該過程決定著雜質(zhì)與夾雜物的卷入、溶質(zhì)的分凝、缺陷(點(diǎn)缺陷、位錯(cuò)、孿晶等)的形成，特別是對(duì)于溶液法及化學(xué)氣相沉積法晶體生長(zhǎng)過程顯得尤為重要。

05

晶體生長(zhǎng)過程中的溶質(zhì)再分配

溶質(zhì)原子及摻雜在結(jié)晶界面上的分凝是由其物理化學(xué)性質(zhì)決定的。分凝導(dǎo)致形成晶體中的成分與母相成分的不同。對(duì)于熔體法和溶液法晶體生長(zhǎng)過程，通常采用分凝系數(shù)反映分凝特性。某特定組元在結(jié)晶界面的分凝系數(shù)ki定義為析出晶體中該組元的含量wSi與母相中該組元含wLi的比值，即，ki=wSi/wLi。

結(jié)晶界面上的溶質(zhì)分凝(成分的變化)使其附近液相和晶體中形成成分梯度而引起擴(kuò)散，晶體生長(zhǎng)過程中的溶質(zhì)再分配包括了界面上的分凝及固相和液相中的擴(kuò)散。

06

晶體生長(zhǎng)過程中的

熱平衡及其傳熱過程控制

晶體生長(zhǎng)過程通常是在梯度場(chǎng)中進(jìn)行的，而結(jié)晶過程通常也包含熱效應(yīng)，如結(jié)晶潛熱的釋放。傳熱過程不僅決定著結(jié)晶過程能否進(jìn)行，而且傳熱方式控制是結(jié)晶界面的宏觀、微觀形貌及生長(zhǎng)速率控制的主要手段。

07

晶體結(jié)構(gòu)缺陷的形成與控制

晶體中的主要缺陷可在結(jié)晶過程中直接形成，也可以在結(jié)晶結(jié)束后的保溫過程中形成。合理地控制晶體的熱過程，可以改變?nèi)毕莸拿芏扰c分布，實(shí)現(xiàn)晶體的改性。

08

晶體材料原料的提純

在半導(dǎo)體等電子、光電子材料及各種功能晶體材料中，微量的雜質(zhì)可能會(huì)對(duì)其性能造成災(zāi)難性的影響。精確控制材料中的雜質(zhì)含量，實(shí)現(xiàn)材料的高純度是至關(guān)重要的。因此，材料的提純成為晶體生長(zhǎng)研究必不可少的環(huán)節(jié)。材料的提純技術(shù)包括化學(xué)方法及區(qū)熔法等物理方法。在晶體生長(zhǎng)過程中還要進(jìn)行全過程控制，防止材料的二次污染。

09

化合物晶體材料合成過程的

化學(xué)反應(yīng)熱力學(xué)及動(dòng)力學(xué)

對(duì)于化合物晶體材料，需要首先進(jìn)行原料的合成。合成過程可以采用高純?cè)现苯雍铣?，也可以借助中間化合物間的化學(xué)反應(yīng)合成。在采用高純?cè)虾铣蛇^程中通常會(huì)遇到不同的技術(shù)難題：?jiǎn)钨|(zhì)材料通常熔點(diǎn)較低，而形成化合物后熔點(diǎn)很高，形成的固態(tài)化合物會(huì)阻斷反應(yīng)的通道，為了維持反應(yīng)的繼續(xù)進(jìn)行，需要進(jìn)一步提高溫度。但提高反應(yīng)溫度又會(huì)遇到高蒸汽壓、雜質(zhì)污染等技術(shù)問題。借助于中間化合物進(jìn)行化學(xué)合成的過程中，需要維持反應(yīng)充分進(jìn)行，并使其他副產(chǎn)物能夠從晶體材料中排除，從而保證晶體的純度。

10

晶體材料

結(jié)構(gòu)、缺陷與組織的分析與表征

晶體結(jié)構(gòu)、缺陷及組織分析是評(píng)價(jià)結(jié)晶質(zhì)量的基本環(huán)節(jié)。該環(huán)節(jié)獲得的信息將對(duì)改進(jìn)和完善晶體生長(zhǎng)工藝提供重要的信息。從傳統(tǒng)的光學(xué)顯微分析到X射線衍射技術(shù)，透射電鏡、掃描電鏡等電子顯微分析技術(shù)，都已成為晶體結(jié)構(gòu)分析的重要手段。同時(shí)，借助于吸收光譜、光致發(fā)光譜等分析技術(shù)也能間接獲得晶體結(jié)構(gòu)與缺陷的信息。

11

晶體材料的

力學(xué)、物理、化學(xué)等性能表征

晶體材料的力學(xué)、物理、化學(xué)性質(zhì)的分析是考查材料使用性能的依據(jù)。材料使用性能的要求不同，所需要檢測(cè)的性能指標(biāo)也不同。

12

晶體生長(zhǎng)過程

溫度、氣氛、真空度等環(huán)境條件的控制

晶體生長(zhǎng)過程的環(huán)境控制主要包括：

①溫度控制，即升溫與保溫過程；②溫度場(chǎng)的控制，即溫度場(chǎng)的分布及溫度梯度；③真空度的控制；④氣氛控制，即環(huán)境介質(zhì)中氣相的成分及不同氣體的蒸汽分壓；⑤自然對(duì)流及溶液、氣相生長(zhǎng)過程中流體流動(dòng)場(chǎng)的控制；⑥晶體生長(zhǎng)的坩堝材料選擇，其主要依據(jù)是室溫及高溫強(qiáng)度、工作溫度、熱穩(wěn)定性及化學(xué)穩(wěn)定性。由于需要防止坩堝材料與晶體材料之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，對(duì)于不同的晶體需要選用不同的坩堝材料。

13

晶體生長(zhǎng)設(shè)備機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)的控制

晶體生長(zhǎng)設(shè)備通常包括大量的傳動(dòng)系統(tǒng)，如拉晶過程中的抽拉速度控制、晶體及坩堝的旋轉(zhuǎn)、氣相生長(zhǎng)系統(tǒng)中樣品的移動(dòng)。這些傳輸過程通常對(duì)低速及長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定性、平穩(wěn)性、位置的精確控制等有很高的要求，是先進(jìn)的機(jī)電一體化技術(shù)。

總體來說，這些問題涉及的學(xué)科領(lǐng)域包括物理學(xué)、化學(xué)、化學(xué)工程、材料科學(xué)、應(yīng)用數(shù)學(xué)、機(jī)電工程等學(xué)科領(lǐng)域，并且與工程熱物理、地礦學(xué)、測(cè)試技術(shù)、電子信息、計(jì)算機(jī)等學(xué)科交叉。因此，晶體生長(zhǎng)作為應(yīng)用性的學(xué)科，具有綜合性、交叉性的特點(diǎn)，需要綜合相關(guān)學(xué)科領(lǐng)域的知識(shí)，并進(jìn)行創(chuàng)造性的運(yùn)用。