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碳和硅都這么優(yōu)秀了,可是怎么還出了一個碳化硅(SiC)?

t1PS_TechSugar ? 來源:lp ? 2019-03-28 15:46 ? 次閱讀

大自然特別奇妙,讓元素周期表上的IV族元素的單質(zhì)個個異常優(yōu)秀——

IV族元素排首的碳(C),是生命必不可少的組成元素之一。此外,它的單質(zhì)可以為火鍋、烤肉提供溫度,也可以是導(dǎo)熱性能優(yōu)良的第三代半導(dǎo)體;它可以是性能優(yōu)良的石墨烯,但是搖身一變就成為堅(jiān)貞愛情的見證;它柔弱,可以穿在身上,冬暖夏涼;它堅(jiān)硬,能切割一切,所向披靡。

(來源:化學(xué)自習(xí)室網(wǎng))

而IV族元素排第二的是硅(Si),是地球上含量僅次于氧(O)的元素。主要存在于不起眼的小石頭中,可變成單質(zhì)就能讓電子設(shè)備的體積越來越小,運(yùn)算速率卻大大提升;它把太陽能轉(zhuǎn)化成電能,也鑄成了半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的里程碑。其晶體結(jié)構(gòu)和金剛石相同。

碳和硅都這么優(yōu)秀了,可是怎么還出了一個碳化硅(SiC)???

一山更比一山高,碳化硅的出現(xiàn)絕非偶然,都是因?yàn)橐粋€詞——優(yōu)秀!

其實(shí),自然界也是存在天然SiC礦石,而且非常罕見。它就是——莫桑石。

下面是寶石行業(yè)常用的參數(shù):1??火彩,莫桑的火彩是鉆石的2.5倍;2??色散值,鉆石是0.044,莫桑是0.104;3??折射率,鉆石是2.417,莫桑是2.65。4??莫氏硬度,鉆石是10,硬度之王非它莫屬,莫桑石是9.2-9.8,也遠(yuǎn)高于其它寶石。所以,相同條件加工后的莫桑石會比鉆石更加”閃耀“。

但是,天然莫桑石非常稀少,稀少到僅出現(xiàn)在五萬年前隕石坑內(nèi)。所以有人說:天然莫桑石比起天然鉆石更能代表愛情。

(來源:渠道網(wǎng))

單單因?yàn)轭佒?,SiC就能讓相寧這么夸贊嗎?非也,而是因?yàn)樗灿袃?yōu)良的物理性能,這也是支撐它在工業(yè)生產(chǎn)、半導(dǎo)體行業(yè)等多個領(lǐng)域有一席之地的重要原因。

你可能沒見過莫桑石,但你一定聽說過金剛砂,這個類似“金剛石”的名稱已經(jīng)霸氣側(cè)露的表示出了它的硬度。常見的作為磨料、耐火材料的金剛砂分黑色和綠色兩種。但是,這類金剛砂都是通過石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑等原料通過電阻爐高溫冶煉而成的。純的SiC晶體是無色透明的,帶有顏色是因?yàn)樗鼈儍?nèi)部摻有一些雜質(zhì),純度并非100%。

(來源:百度圖庫)

SiC是C和Si唯一穩(wěn)定的化合物,也是一種共價(jià)化合物,有閃鋅礦型(立方晶系,空間群F4-3M )和纖鋅礦型(六方晶系,空間群Pmc)兩種結(jié)晶形式,200余種多型體,且不同結(jié)構(gòu)材料之間的電學(xué)、光學(xué)等性能各不相同。

(來源:新浪博客)

SiC是第三代半導(dǎo)體材料中應(yīng)用最為成熟的材料之一。第三代半導(dǎo)體即寬禁帶半導(dǎo)體,主要包含包含碳化硅、氮化鎵、氮化鋁、氧化鋅、金剛石等(第一代半導(dǎo)體主要是Si、Ge等單質(zhì)半導(dǎo)體材料;第二代半導(dǎo)體主要是指GaAs、InP等化合物半導(dǎo)體材料)。SiC的禁帶寬度為Si的2-3倍,導(dǎo)熱率為Si的4-5倍,擊穿電壓為Si的8倍,電子飽和漂移速率為Si的2倍。所以,SiC特別適于制造高溫、高頻、抗輻射及高功率的器件。

目前,采用SiC制備LED照明設(shè)備的技術(shù)已經(jīng)十分成熟,也已經(jīng)開始應(yīng)用于半導(dǎo)體激光器和探測器上。采用SiC制成的發(fā)光二極管輻射波長可以覆蓋綠光到紫光(400-550nm)波段,在光信息顯示及光集成電路等領(lǐng)域中具有廣闊的應(yīng)用前景。

在市場上,SiC光電子、功率和微波等三類器件也已經(jīng)廣泛使用,如PIN二極管、肖特基二極管、MESFET、MOSFET、晶閘管、SiC基發(fā)光二極管等。這類電力電子器件就是利用了SiC耐高溫、高頻、高壓及高功率的優(yōu)勢。舉個例子,Si器件的最高工作溫度大約200℃,可是SiC器件在400℃的時候還能運(yùn)轉(zhuǎn)飛速。但是因?yàn)槌杀締栴},SiC電子器件主要在應(yīng)用于軍用飛機(jī)、艦艇等,目前民用市場還比較有限。

(來源:新材料產(chǎn)業(yè))

有人說,我們對Si的了解程度在“博士”水平,但是對于SiC的了解就像是“小學(xué)生”。我們不禁心生疑問:

人類在1905年就在隕石中發(fā)現(xiàn)SiC晶體了,1907年第一只SiC晶體二極管就誕生了。已經(jīng)一百多年過去了,SiC在半導(dǎo)體領(lǐng)域的優(yōu)勢又那么多,可為什么對它仍知之甚少呢???

答案總結(jié)為一個字,那就是:少!

“物以稀為貴”是亙古不變的道理。自然界中的莫桑石稀少到根本沒有開采價(jià)值,可遇不可求。更殘酷的是,人造高純度SiC單晶的條件又十分苛刻,尤其是很難達(dá)到制作半導(dǎo)體光電器件的級別要求。

SiC的熔點(diǎn)小于金剛石,大于Si單晶。所以在Si的制備條件下,SiC是沒有液相存在的。SiC的制備條件要求:壓力約1000Pa、溫度超過2000℃,理想的化學(xué)配比。故從商業(yè)角度考慮:SiC單晶不可能像Si單晶一樣從熔體中提拉制備。

目前世界上常見的制備SiC單晶的方法是籽晶升華法,又稱物理氣相傳輸法(PVT)。其原理是對準(zhǔn)密閉的坩堝系統(tǒng)采用感應(yīng)或電阻加熱,將作為生長源的固態(tài)混合物置于溫度較高的坩堝底部,籽晶固定在溫度較低的坩堝頂部。在低壓高溫下,生長源升華且分解產(chǎn)生氣態(tài)物質(zhì),生長源與籽晶之間存在溫度梯度,因而會形成的壓力梯度。這些氣態(tài)物質(zhì)會由此被輸運(yùn)到低溫的籽晶位置,形成過飽和,籽晶開始長大。

(來源:2014·LED配套材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展交流對接會)

除了以上方法,常見的還有高溫化學(xué)氣象沉積法(HTCVD)與液相法(LPE)兩種,這兩種方法的生長溫度也需要1500-2500℃。但是相對于PVT法,這兩種方法都還尚不成熟。下圖為SiC和Si單晶生長條件的參數(shù)對比。

(來源:CTIMES)

近兩年,隨著電動汽車和5G通訊技術(shù)的發(fā)展,能夠承受高壓、高頻環(huán)境,導(dǎo)熱性良好的SiC器件又得到了重視,開始快速發(fā)展。國內(nèi),低功耗的碳化硅器件也已經(jīng)從實(shí)驗(yàn)室進(jìn)入了實(shí)用器件的生產(chǎn)階段。但是相比來說,碳化硅晶圓的價(jià)格還是比較高,其缺陷也多,所以其應(yīng)用市場距離像Si器件一樣廣泛成熟還需要一定的時間。

不過,希望還是很大的,“預(yù)言寧”感覺那天似乎就在不遠(yuǎn)處。

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原文標(biāo)題:【科普】既生硅,何生碳:可是,有種材料叫碳化硅

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