2018年未來(lái)科學(xué)大獎(jiǎng)的數(shù)學(xué)與計(jì)算機(jī)科學(xué)獎(jiǎng)獲得者林本堅(jiān)

“得知獲獎(jiǎng)的那天早上，我在家里做事情，我太太匆忙過(guò)來(lái)跟我說(shuō)，‘有個(gè)人來(lái)找你，是大陸口音’，我想也用大陸口音回復(fù)。結(jié)果打電話給我的人介紹了未來(lái)科學(xué)大獎(jiǎng)，告訴我有100萬(wàn)的獎(jiǎng)金，我說(shuō)‘獎(jiǎng)金很不錯(cuò)’。然后我聽(tīng)到了周圍有笑聲，我想你們當(dāng)中應(yīng)該也有當(dāng)時(shí)笑我的吧 ?！?018年未來(lái)科學(xué)大獎(jiǎng)的數(shù)學(xué)與計(jì)算機(jī)科學(xué)獎(jiǎng)獲得者林本堅(jiān)，11月中旬在接受包括澎湃新聞在內(nèi)的媒體采訪時(shí)心情甚好，還跟在場(chǎng)記者開(kāi)了個(gè)玩笑。

時(shí)間撥回兩個(gè)月前未來(lái)科學(xué)大獎(jiǎng)的新聞發(fā)布會(huì)上，北京國(guó)際數(shù)學(xué)研究中心主任田剛現(xiàn)場(chǎng)連線林本堅(jiān)，彼時(shí)林本堅(jiān)在電話里說(shuō)道：“我本來(lái)以為大陸不知道這件事，現(xiàn)在我明白了，大陸也很清楚我在半導(dǎo)體和微電子上做的一點(diǎn)小小的貢獻(xiàn)?！?/p>

2018年是集成電路發(fā)明以來(lái)的第60年。臺(tái)積電前研發(fā)副總經(jīng)理林本堅(jiān)，因?yàn)殚_(kāi)拓浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)方法并持續(xù)擴(kuò)展納米級(jí)集成電路制造，獲得了2018年未來(lái)科學(xué)大獎(jiǎng)的數(shù)學(xué)與計(jì)算機(jī)科學(xué)獎(jiǎng)，同時(shí)成為未來(lái)科學(xué)大獎(jiǎng)首位來(lái)自中國(guó)***的獲獎(jiǎng)?wù)摺?/p>

林本堅(jiān)是臺(tái)積電的傳奇人物，專注于半導(dǎo)體制程中的光刻技術(shù)的研發(fā)。2002年，他研究出以水作為介質(zhì)的193納米浸潤(rùn)式光刻技術(shù)(Immersion Lithography)，改變了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以干式光刻作為主流的傳統(tǒng)。他本人也因此成為***“中央研究院”第一位產(chǎn)業(yè)界出身的院士。193納米浸潤(rùn)式光刻技術(shù)讓摩爾定律得以延續(xù)，也協(xié)助臺(tái)積電躍進(jìn)三個(gè)世代，取得產(chǎn)業(yè)上的優(yōu)勢(shì)地位。

林本堅(jiān)于1970年獲得美國(guó)俄亥俄州立大學(xué)電機(jī)工程博士，畢業(yè)后在IBM不斷提高成像技術(shù)，一干就是20多年。2000年林本堅(jiān)回到***并在著名半導(dǎo)體制造公司臺(tái)積電任職。2015年底，林本堅(jiān)從臺(tái)積電退休，目前在***大學(xué)、***清華大學(xué)等任講座教授。

“雖千萬(wàn)人吾往矣”

時(shí)間撥回兩個(gè)月前未來(lái)科學(xué)大獎(jiǎng)的新聞發(fā)布會(huì)，***新竹交通大學(xué)校長(zhǎng)張懋中表示用“雖千萬(wàn)人吾往矣”來(lái)形容林本堅(jiān)再合適不過(guò)。在林本堅(jiān)提出用水浸潤(rùn)，代替原本間隙中的空氣的時(shí)候，全世界都繼續(xù)堅(jiān)持干式工藝。

“他一個(gè)人站在一艘航空母艦前叫停。他憑什么叫停？就是在很堅(jiān)實(shí)的物理學(xué)基礎(chǔ)上、光學(xué)基礎(chǔ)上，加以透徹的解釋，光刻在怎樣的規(guī)律下才能繼續(xù)前進(jìn)?！睆堩羞@樣評(píng)價(jià)林本堅(jiān)的獲獎(jiǎng)原因。

在集成電路行業(yè)，摩爾定律就是人們發(fā)展半導(dǎo)體工藝時(shí)跟隨的“路線圖”，由英特爾的創(chuàng)始人之一戈登·摩爾提出。講的是當(dāng)價(jià)格不變時(shí)，集成電路上可容納的元器件數(shù)目，約每隔18-24個(gè)月便會(huì)增加一倍。從笨重的大型電腦到掌上輕巧的智能手機(jī)，摩爾定律的魔力無(wú)所不在。

而光刻技術(shù)是指集成電路制造中利用光化學(xué)反應(yīng)原理將電路圖形刻蝕到介質(zhì)層上，形成有效功能圖形的工藝技術(shù)。摩爾定律要求在單位面積上刻得足夠小，對(duì)于光刻領(lǐng)域，關(guān)鍵的技術(shù)難點(diǎn)在于縮短光的波長(zhǎng)。因?yàn)椴ㄩL(zhǎng)越短，光刻分辨率越高，所以大部分人會(huì)想到用波長(zhǎng)較短的X光做。而林本堅(jiān)則創(chuàng)造性地想到將工藝從“干式”改為“浸潤(rùn)”，用水代替空氣，以縮短波長(zhǎng)。

林本堅(jiān)指出，摩爾定律意味著在當(dāng)下這一代技術(shù)問(wèn)世后，研發(fā)人員要判斷未來(lái)兩到三代的技術(shù)方向。1987年林本堅(jiān)還在IBM工作時(shí)，行業(yè)已經(jīng)到了193納米干式光刻技術(shù)的階段，那時(shí)林本堅(jiān)在一個(gè)研討會(huì)上第一次提到了浸潤(rùn)式光刻技術(shù)，用了兩段話簡(jiǎn)單介紹了這個(gè)想法。

彼時(shí)X光光刻技術(shù)的研究仍然是主流。他回憶道，有一次IBM開(kāi)會(huì)時(shí)，做X光技術(shù)的十多個(gè)人被安排坐在會(huì)議桌的一邊，他一個(gè)人被安排坐在另一邊。

這樣的“勸退”方式并沒(méi)有給林本堅(jiān)帶來(lái)太大壓力，但I(xiàn)BM的研發(fā)投入多半都給了做X光光刻技術(shù)研究。他提出IBM只需要給他X光技術(shù)組1/10的經(jīng)費(fèi)，他就能做出一些東西。但I(xiàn)BM并未買這個(gè)賬，并告訴林本堅(jiān)“這個(gè)別人也在做，我們不做別人在做的”。

“我判斷到65納米(干式光刻)階段時(shí)，讓我再往前看三代的話，我就已經(jīng)看不到了?！绷直緢?jiān)表示?；谶@樣的判斷，在眾多人依然主攻X光光刻技術(shù)的時(shí)候，林本堅(jiān)義無(wú)反顧地投入了浸潤(rùn)式的研究中。

50歲那年林本堅(jiān)已符合IBM早退休的申請(qǐng)資格，孩子也已大學(xué)畢業(yè)，一身輕的情況下，能退休卻還想“再干干”的林本堅(jiān)，想到了創(chuàng)業(yè)。

“那時(shí)候我在想如果我創(chuàng)業(yè)了我的公司要叫什么名字，”林本堅(jiān)回憶道，“后來(lái)我想了一個(gè)很酷的名字叫Linnovation?！绷直緢?jiān)解釋道，這個(gè)詞就是自己的姓Lin和Innovation(創(chuàng)新)的組合詞。

他半開(kāi)玩笑地說(shuō)，他是為了擁有Linnovation這個(gè)名字才出來(lái)創(chuàng)業(yè)的。隨后他被時(shí)任臺(tái)積電副總的蔣尚義邀請(qǐng)去臺(tái)積電，并于2002年成功開(kāi)發(fā)出193納米浸潤(rùn)式光刻技術(shù)。到2012年，全世界82%的半導(dǎo)體產(chǎn)品采用的是浸潤(rùn)式光刻技術(shù)，為臺(tái)積電貢獻(xiàn)了47%的收入。

無(wú)心插柳柳成蔭

林本堅(jiān)還向記者分享了他對(duì)科研和教育的一些看法，對(duì)于大陸的科技發(fā)展，他認(rèn)為大陸有很大的市場(chǎng)、有大量的投入、好學(xué)校和好人才，因此不必過(guò)于擔(dān)心眼前的差距。

“大家都已經(jīng)看到問(wèn)題的存在，按照這個(gè)問(wèn)題去解決就可以?！绷直緢?jiān)表示，給科研人員適當(dāng)?shù)摹皽p負(fù)”也是必要的，如果只盯著獎(jiǎng)項(xiàng)或成果做科研，則往往達(dá)不到效果。

林本堅(jiān)向記者分享了IBM內(nèi)部的一件趣事。IBM公司設(shè)立IBM院士稱號(hào)以嘉獎(jiǎng)業(yè)內(nèi)的頂尖技術(shù)人員。1986年，因?yàn)槌晒Α把兄茠呙杷淼里@微鏡(STM)”，兩位IBM蘇黎世研究院的研究員格爾德·賓寧(Gerd K. Binnig) 和海因里希·羅雷爾(Heinrich Rohrer)，被授予諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。有意思的是，兩位獲獎(jiǎng)?wù)唠m在IBM工作多年，但在獲獎(jiǎng)時(shí)均不是IBM院士。獲獎(jiǎng)后，IBM公司趕緊授予了兩人“IBM院士”的稱號(hào)。

“不是有一句話叫‘有意栽花花不發(fā)，無(wú)心插柳柳成蔭’嗎。做科研也是這樣的。做科研的人一定是享受科學(xué)樂(lè)趣的?！毖由熘两逃?，林本堅(jiān)告訴澎湃新聞?dòng)浾?，科學(xué)家永遠(yuǎn)不會(huì)比銀行家有錢，但這個(gè)社會(huì)各種人才都需要，培養(yǎng)下一代的時(shí)候，挖掘興趣和天賦最重要。即便是美國(guó)，金融界的待遇也比做科技的也好，但是依然有不少人做科技，因?yàn)樗麄冃母是樵?，這是興趣所在。

“勉強(qiáng)一些沒(méi)有興趣的人去做科研并沒(méi)有什么意思。最怕的是有些人對(duì)科技有興趣，但父母不讓他去。”林本堅(jiān)說(shuō)。

目前林本堅(jiān)在***大學(xué)、***清華大學(xué)等高校擔(dān)任講座教授。林本堅(jiān)說(shuō)自己教課有個(gè)特點(diǎn)，所留的作業(yè)從不讓學(xué)生“單槍匹馬”完成，規(guī)定至少兩到三個(gè)人一起合作，以此來(lái)訓(xùn)練學(xué)生學(xué)習(xí)如何與他人合作。

“一個(gè)人的努力和天賦總有卡住的時(shí)候，在企業(yè)里做研究一定需要團(tuán)隊(duì)合作，所以要懂得交流分享，創(chuàng)造交流分享的氛圍?！绷直緢?jiān)說(shuō)。