世界首臺(tái)分辨力最高紫外超分辨光刻裝備意味著什么?

剛剛研制成功的世界首臺(tái)分辨力最高紫外超分辨光刻裝備意味著什么？對(duì)國(guó)內(nèi)芯片行業(yè)有何影響？

小編提取了大家最關(guān)心的幾個(gè)問(wèn)題：

1、我們可以實(shí)現(xiàn)芯片徹底國(guó)產(chǎn)化了嗎？

答：暫時(shí)還不行。

2、不吹不黑，這個(gè)裝備真的這么厲害嗎，還是只是吹牛？

答：確實(shí)很厲害。確實(shí)是世界首次，方法比較另類。

3、這個(gè)設(shè)備真能做出IC嗎？

答：不能！中國(guó)的這臺(tái)光刻裝備, 并不是用來(lái)制造麒麟990, 英特爾I7這類芯片, 而是用來(lái)制造光學(xué)器件, 像光柵等, 但這也已經(jīng)非常厲害了.

4、這個(gè)設(shè)備真正牛逼點(diǎn)在哪里？

答：驗(yàn)證了一條通往芯片頂峰的路。至于在商業(yè)化市場(chǎng)化方面并非首要考量。光刻技術(shù)有很多種，等離子激光、泰伯光學(xué)，全息，雙光子，光子能量疊加等技術(shù)。并且大多技術(shù)都有了商業(yè)成型設(shè)備，而等離子激光技術(shù)是中國(guó)首創(chuàng)出來(lái)的設(shè)備，所以技術(shù)很牛。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，很多路可以到達(dá)山頂，中國(guó)走了別人沒(méi)走過(guò)的路。并且走通了。綜合來(lái)看，這項(xiàng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)了突破。至少獲得了和歐美技術(shù)交換的基礎(chǔ)，這是非常牛逼的。

5. 這項(xiàng)研究設(shè)備的研究人員有哪些

答：在這里，請(qǐng)記住幾個(gè)人的名字，杜春雷，羅先剛，胡松，葉甜春。沒(méi)有他們的引領(lǐng)，創(chuàng)造，堅(jiān)持和支撐，就沒(méi)有取得成果的今天。還有那些在為中國(guó)半導(dǎo)體事業(yè)奮斗在一線的人們，致敬！

凡事不知真相，切忌亂噴。

中國(guó)這個(gè)***，嚴(yán)格來(lái)說(shuō)和ASML不是一個(gè)東西。此項(xiàng)技術(shù)是打破光子衍射極限的原理性成就，理論上可以做到10nm、甚至3nm制程。

此技術(shù)，與ASML所走的路是不同的！ASML現(xiàn)在的技術(shù)相當(dāng)于走盤(pán)山公路，慢慢翻山，而中國(guó)此次表面等離子激元聚光光刻蝕技術(shù)好比是定向挖隧道直達(dá)ASML想到目的地！你們說(shuō)贊不贊？

表面等離子體激元聚焦技術(shù)，是一種突破了光刻衍射極限，的近場(chǎng)光學(xué)技術(shù)。

它通過(guò)光刻探針上的~小孔，將光刻光源，通過(guò)表面等離子體激元匯聚于探針尖端近場(chǎng)（超過(guò)近場(chǎng)距離，光又會(huì)分散開(kāi)來(lái)），進(jìn)行接觸式光刻！也不同于現(xiàn)有ASML***。

光推進(jìn)納米制程（此次還只是SP光刻的技術(shù)原理驗(yàn)證）也不能使中國(guó)芯片趕上國(guó)際巨頭，乃至彎道超車！必須掌握芯片內(nèi)核IP的完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)才行！

華為的麒麟芯片，沒(méi)了ARM的內(nèi)核IP授權(quán)，就玩不轉(zhuǎn)！其他從AMD間接獲得的X86技術(shù)授權(quán)，也一樣！龍芯和申威，飛騰……還是有短板……

很多人只盯著新聞里 22nm 這個(gè)指標(biāo)，其實(shí)大家要關(guān)注的是“365nm的光源，單次曝光線寬可達(dá)22nm”。

22nm 指標(biāo)雖然很棒但是業(yè)界早就做過(guò)了，到底哪里厲害呢？所以關(guān)鍵是用 365nm 的光源單次曝光做到 22nm，懂點(diǎn)光學(xué)的就知道這意味著什么：打破了傳統(tǒng)的衍射極限。

所以在我看來(lái)，這臺(tái)機(jī)器最大的價(jià)值是驗(yàn)證了表面等離子體（SP）光刻加工的可行性。

這臺(tái) SP ***與 ASML ***對(duì)比怎么樣呢？舉個(gè)不恰當(dāng)?shù)睦影?，這就像是初期的槍械與最厲害的弓箭的對(duì)比。早期槍械，比如火銃，無(wú)論是射擊精度還是射擊距離都遠(yuǎn)遠(yuǎn)比不上厲害的弓箭，但是如今的狙擊槍早已把弓箭甩開(kāi)十萬(wàn)八千里了，這就是原理性的勝利。

要理解剛才說(shuō)的這個(gè)“原理性的勝利”到底是怎么回事，我們首先得回顧一下以 ASML 為代表的傳統(tǒng)***是怎么做的。

上面是 ASML ***簡(jiǎn)單的原理圖，拋開(kāi)復(fù)雜的監(jiān)測(cè)設(shè)備不談，最核心的原理就是通過(guò)物鏡系統(tǒng)將掩膜版上的圖案進(jìn)行縮印成像。涉及到成像過(guò)程，就不得不考慮光的衍射極限。即便拋開(kāi)所有的幾何像差，由于衍射的作用，一個(gè)無(wú)限小的點(diǎn)成像后也會(huì)變成一個(gè)彌散斑，被稱為“艾里斑”。因此實(shí)際光學(xué)系統(tǒng)成像的分辨率就是兩個(gè)艾里斑恰好能夠分開(kāi)的距離。

所以由于衍射效應(yīng)，成像分辨率會(huì)受到限制，最終的分辨率取決于波長(zhǎng)、數(shù)值孔徑等參數(shù)，波長(zhǎng)越小、數(shù)值孔徑越大分辨率則越高。所以 ASML 這些年來(lái)主要的研究方向就是利用更短的波長(zhǎng)（近紫外 - 深紫外 - 極紫外）、增大數(shù)值孔徑（更復(fù)雜的物鏡、液體浸沒(méi)）。但是每進(jìn)一步都變得更加艱難，對(duì)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、加工裝配、誤差檢測(cè)等等諸多方面都提出了更為苛刻的要求，成本也越來(lái)越高昂。

那么表面等離子體光刻又是怎么一回事呢？表面等離子體指的是一種局域在物質(zhì)表面的特殊的電磁波，隨著離開(kāi)物質(zhì)表面距離的增大迅速衰減，一般認(rèn)為波長(zhǎng)量級(jí)以上的區(qū)域就不存在了。

更為神奇的是，雖然表面等離子體波是由其他電磁波激發(fā)的，但是波長(zhǎng)會(huì)被極大地壓縮，而壓縮的比例取決于材料的電磁性質(zhì)等參數(shù)。

這就意味著，利用表面等離子體波進(jìn)行光刻時(shí)，從原理上就不在受到傳統(tǒng)衍射極限的限制了。

在***研制方面，我們一直有兩個(gè)選擇：沿用 ASML 的老路走一遍，還是另辟蹊徑通過(guò)新原理彎道超車？我們國(guó)家很有錢(qián)，兩個(gè)選擇都在做。而這臺(tái) SP ***的研制成功，就是讓我們看到了彎道超車的可能性。其實(shí)從原理上，這簡(jiǎn)直就不是彎道超車了，而是在別的人還在繞山路的時(shí)候，我們嘗試著打了一條隧道……雖然還沒(méi)有完全挖通，但曙光就在眼前了。

這個(gè)裝備是我在的課題組主導(dǎo)研發(fā)的（但我沒(méi)做這個(gè)方向），從原理提出、項(xiàng)目立項(xiàng)到裝備最終驗(yàn)收通過(guò)，前前后后有十幾年的時(shí)間。十幾年磨一劍，揮灑了許許多多的老師和師兄師姐的智慧、汗水與青春。

向他們致敬~

另外在知乎有個(gè)評(píng)價(jià)比較中肯。作者不允許轉(zhuǎn)載，小編提取下重點(diǎn)。這個(gè)新聞出來(lái)以后，輿論出現(xiàn)了兩個(gè)極端，一堆人說(shuō)很牛，一堆人說(shuō)吹牛。

說(shuō)很牛的外行居多，說(shuō)吹牛的業(yè)內(nèi)人士居多（但不是最專業(yè)的）。

實(shí)際上這兩種說(shuō)法都對(duì)，又都不對(duì)。我來(lái)具體分析一下。

說(shuō)很牛的，的確是世界級(jí)的工作，這一點(diǎn)毋庸置疑。

光刻技術(shù)有很多種，等離子激光、泰伯光學(xué)，全息，雙光子，光子能量疊加等技術(shù)。并且大多技術(shù)都有了商業(yè)成型設(shè)備，而等離子激光技術(shù)是中國(guó)首創(chuàng)出來(lái)的設(shè)備，所以技術(shù)很牛。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，很多路可以到達(dá)山頂，中國(guó)走了別人沒(méi)走過(guò)的路。并且走通了。綜合來(lái)看，這項(xiàng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)了突破。至少獲得了和歐美技術(shù)交換的基礎(chǔ)，這是非常重要的。

有個(gè)細(xì)節(jié)請(qǐng)各位注意，這篇文章是軍報(bào)記者報(bào)道的，信息量很大。

不是直寫(xiě)不是直寫(xiě)不是直寫(xiě)！

不能做IC不能做IC不能做IC!

批評(píng)的和贊的都別盲目，成果很好，但是和工業(yè)量產(chǎn)做IC的不是一回事兒。

胡松一個(gè)弟子是我的鐵哥們！以前只知道他稱他老板為“胡老板”。