10月26日,鄭州合晶硅材料有限公司年產(chǎn)240萬(wàn)片200毫米硅單晶拋光片生產(chǎn)項(xiàng)目投產(chǎn);10月19日,宜興正式對(duì)外發(fā)布集成電路材料產(chǎn)業(yè)規(guī)劃,也將集成電路硅片作為發(fā)展重點(diǎn)之一,此前總投資30億美元的中環(huán)領(lǐng)先集成電路用大直徑硅片項(xiàng)目已入駐宜興。業(yè)內(nèi)人士表示,面對(duì)集成電路硅片產(chǎn)業(yè)的建設(shè)熱潮,國(guó)內(nèi)企業(yè)要冷靜思考,切實(shí)控制好風(fēng)險(xiǎn)。
硅片業(yè)面臨前所未有機(jī)遇
硅片是半導(dǎo)體材料中價(jià)值最高、占市場(chǎng)比例最大的材料,約占半導(dǎo)體晶圓制造材料市場(chǎng)的30%。中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)信息部副主任劉偉鑫在接受《中國(guó)電子報(bào)》記者采訪時(shí)表示,廣闊的市場(chǎng)空間、政策的支持、資本的集中,給國(guó)內(nèi)集成電路硅片產(chǎn)業(yè)提供了前所未有的發(fā)展機(jī)遇。
他分析說(shuō),從市場(chǎng)看,目前,國(guó)內(nèi)8英寸和12英寸硅片是市場(chǎng)的主流,特別是12英寸硅片是絕對(duì)的主力,國(guó)內(nèi)集成電路用8英寸硅片國(guó)產(chǎn)化率僅為20%,12英寸集成電路用硅片則全部依賴(lài)進(jìn)口,這無(wú)疑給國(guó)內(nèi)硅片生產(chǎn)企業(yè)帶來(lái)巨大的市場(chǎng)空間。到2020年,又將有多座晶圓廠進(jìn)入量產(chǎn),下游產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展必將帶動(dòng)上游硅片需求的擴(kuò)張。
政策方面,近年來(lái),國(guó)家制定了一系列產(chǎn)業(yè)政策,包括國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造設(shè)備及成套工藝”專(zhuān)項(xiàng)(“02 專(zhuān)項(xiàng)”)、工業(yè)強(qiáng)基工程、工業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)資金(部門(mén)預(yù)算)等,來(lái)加速半導(dǎo)體材料供應(yīng)的本土化進(jìn)程。
資金方面,在2018年工業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)資金(部門(mén)預(yù)算)——國(guó)家新材料生產(chǎn)應(yīng)用示范平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目中,集成電路材料生產(chǎn)應(yīng)用示范平臺(tái)被列為三大建設(shè)平臺(tái)之一。與此同時(shí),國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金正在進(jìn)行第二期募集,業(yè)內(nèi)人士預(yù)計(jì),此次集成電路發(fā)展基金目標(biāo)是募集1500億~2000億元,預(yù)計(jì)將有包括中央財(cái)政、一些國(guó)有企業(yè)和地方政府出資。國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金有限公司負(fù)責(zé)人也曾多次在公開(kāi)場(chǎng)合表示,他們將圍繞國(guó)家戰(zhàn)略和新興行業(yè)進(jìn)行投資規(guī)劃,并盡量對(duì)裝備材料業(yè)給予支持,推動(dòng)其快速發(fā)展。
8英寸、12英寸硅片項(xiàng)目相繼開(kāi)建
中國(guó)是全球最大的半導(dǎo)體市場(chǎng),5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能為集成電路帶來(lái)更廣闊的應(yīng)用前景,相應(yīng)的,會(huì)帶來(lái)對(duì)集成電路關(guān)鍵材料——硅片持續(xù)旺盛的需求。
2017年以來(lái),國(guó)內(nèi)集成電路用8英寸硅片發(fā)展取得明顯進(jìn)步。據(jù)中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì),截至2017年年底,8英寸集成電路晶圓方面,中國(guó)大陸已有產(chǎn)線的月產(chǎn)能共計(jì)79萬(wàn)片/月,興建中的產(chǎn)能為29萬(wàn)片/月,2017年,我國(guó)8英寸集成電路晶圓產(chǎn)量達(dá)到877.2萬(wàn)片。
劉偉鑫介紹說(shuō),目前,國(guó)內(nèi)具備8英寸半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)能力的企業(yè)有浙江金瑞泓、北京有研總院、河北普興、南京國(guó)盛、上海合晶、上海晶盟、天津中環(huán)等,按產(chǎn)量需求計(jì)算國(guó)產(chǎn)化率,8英寸集成電路用硅片國(guó)產(chǎn)化率已提高到20%,盡管比例仍然不高,但相比2016年已經(jīng)顯著提高?!半S著國(guó)內(nèi)各大8英寸半導(dǎo)體硅片廠產(chǎn)能的陸續(xù)釋放、新產(chǎn)線的投產(chǎn),國(guó)產(chǎn)化率進(jìn)一步提高前景可期?!眲ヶ握f(shuō)。
近期發(fā)布的《宜興集成電路材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》明確指出,宜興將利用全球集成電路向中國(guó)轉(zhuǎn)移的發(fā)展趨勢(shì),貫徹?zé)o錫“一體兩翼”(設(shè)計(jì)制造在無(wú)錫、封裝在江陰、原材料在宜興)集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展格局,以大硅片的投資項(xiàng)目為牽引,帶動(dòng)關(guān)鍵材料和配套設(shè)備發(fā)展。2017年年底開(kāi)工的中環(huán)領(lǐng)先集成電路用大直徑硅片項(xiàng)目,主要生產(chǎn)8~12英寸拋光硅晶片。
無(wú)錫中環(huán)資產(chǎn)管理有限公司總經(jīng)理齊進(jìn)青介紹說(shuō):“中環(huán)領(lǐng)先大直徑硅片項(xiàng)目,共分兩期實(shí)施:一期總投資15億美元,于去年年底開(kāi)工,建設(shè)三條8英寸生產(chǎn)線,月產(chǎn)能75萬(wàn)片;一條12英寸試驗(yàn)線,月產(chǎn)能2萬(wàn)片;一條12英寸生產(chǎn)線,月產(chǎn)能15萬(wàn)片。二期投資15億美元,將建設(shè)兩條12英寸生產(chǎn)線,月產(chǎn)能30萬(wàn)片。未來(lái)該項(xiàng)目,8英寸大硅片會(huì)進(jìn)入世界第三、12英寸大硅片進(jìn)入世界前五?!?/p>
鄭州合晶硅材料有限公司相關(guān)負(fù)責(zé)人告訴《中國(guó)電子報(bào)》記者,目前中國(guó)大陸興建中的8英寸晶圓廠有8座,但8英寸硅片供應(yīng)商卻無(wú)大幅度擴(kuò)廠,因此預(yù)測(cè)8英寸硅片供應(yīng)仍吃緊。該負(fù)責(zé)人表示,合晶集團(tuán)鄭州廠主要發(fā)展8英寸硅片,并以?xún)?yōu)先供應(yīng)中國(guó)大陸客戶為主,就是因?yàn)榭吹絿?guó)內(nèi)8英寸硅片市場(chǎng)在未來(lái)幾年仍有強(qiáng)勁需求。
硅片企業(yè)一定要切實(shí)控制風(fēng)險(xiǎn)
面對(duì)國(guó)內(nèi)集成電路硅片建設(shè)熱潮不斷涌現(xiàn),浙江金瑞泓科技股份有限公司副總經(jīng)理田達(dá)晰客觀地分析到,到2020年,國(guó)內(nèi)8英寸硅片的需求約為100~120萬(wàn)片/月,現(xiàn)在在建的8英寸硅片的產(chǎn)能已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)了國(guó)內(nèi)的需求。他表示,違背產(chǎn)業(yè)發(fā)展的客觀規(guī)律,勢(shì)必會(huì)造成產(chǎn)業(yè)碎片化,更加無(wú)法與國(guó)際大廠競(jìng)爭(zhēng)。沒(méi)有技術(shù)能力和產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗(yàn)的公司,想依賴(lài)自己的資金優(yōu)勢(shì),完全靠引進(jìn)人才發(fā)展8英寸和12英寸硅片產(chǎn)業(yè),夢(mèng)想一夜之間趕上世界先進(jìn)水平,實(shí)現(xiàn)跨越式發(fā)展,是不現(xiàn)實(shí)的。
田達(dá)晰告訴《中國(guó)電子報(bào)》記者,國(guó)內(nèi)8英寸、12英寸硅片的制造設(shè)備和耗材基本依賴(lài)進(jìn)口,中國(guó)遍地開(kāi)花建設(shè)8英寸、12英寸硅片項(xiàng)目大幅度推高了設(shè)備的價(jià)格,造成設(shè)備供應(yīng)緊張,使項(xiàng)目建設(shè)設(shè)備采購(gòu)成本提高了50%~100%,甚至更高?!耙牢覀兊母?jìng)爭(zhēng)對(duì)手8英寸硅片生產(chǎn)線2000年前已完成折舊,12英寸硅片生產(chǎn)線折舊在2010年前也已完成,照這種情況,我們拿什么與國(guó)外廠商競(jìng)爭(zhēng)?”田達(dá)晰不無(wú)焦慮地說(shuō),“8~12英寸硅片產(chǎn)業(yè)目前的發(fā)展?fàn)顩r,很可能造成資源極大的浪費(fèi)。政府應(yīng)該吸取LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展的教訓(xùn),集中有限的資源扶持兩家有規(guī)模、有技術(shù)能力基礎(chǔ)的企業(yè),并讓其發(fā)揮領(lǐng)頭羊的作用,帶動(dòng)整個(gè)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。”
田達(dá)晰認(rèn)為,8英寸硅片生產(chǎn)其實(shí)可以認(rèn)為是在為12英寸做技術(shù)儲(chǔ)備,做不好8英寸硅片的企業(yè)若想做好12英寸硅片難度非常大。從8英寸到12英寸,對(duì)硅材料性質(zhì)的認(rèn)識(shí)并沒(méi)有革命性的改變,兩者的不同在于12英寸硅片對(duì)晶體體內(nèi)缺陷的數(shù)量與尺寸的控制要求更高,還要求更高的表面平整度、更少的表面顆粒和更小的表面缺陷,而隨著線寬的減小,12英寸將主要使用外延片。
他強(qiáng)調(diào)說(shuō),發(fā)展12英寸硅片恰逢其時(shí),但有關(guān)企業(yè)一定要認(rèn)識(shí)到其市場(chǎng)規(guī)模非常小,五家大硅片供應(yīng)商(日本信越、日本SUMCO、我國(guó)***Global Wafer、德國(guó)Siltronic和韓國(guó)LG Siltron)擁有絕對(duì)的技術(shù)和成本優(yōu)勢(shì),國(guó)內(nèi)硅片企業(yè)一定要切實(shí)控制風(fēng)險(xiǎn),否則,提高的成本、很小的銷(xiāo)售額,對(duì)企業(yè)來(lái)說(shuō)難以為繼?!拔艺J(rèn)為,到2020年,國(guó)內(nèi)12英寸硅片的實(shí)際需求不會(huì)超過(guò)60萬(wàn)片/月。”田達(dá)晰告訴記者說(shuō)。
鄭州合晶相關(guān)負(fù)責(zé)人表示,不論是8英寸或12英寸硅片,拉單晶硅的工藝絕對(duì)是為客戶提供良好質(zhì)量硅片的關(guān)鍵。同時(shí),該負(fù)責(zé)人認(rèn)為,由于國(guó)家的大力扶持,并提供相對(duì)充足的資金,因此國(guó)內(nèi)硅片廠不需為資金煩惱,若能將8英寸硅片的生產(chǎn)模式獲得完整的學(xué)習(xí)曲線并穩(wěn)扎穩(wěn)打,就能期待國(guó)內(nèi)12英寸硅片供貨商躋身世界頂級(jí)之列。
劉偉鑫告訴《中國(guó)電子報(bào)》記者,在制作大硅片過(guò)程中,由于對(duì)倒角、精密磨削等加工工藝要求很高,因此,良率是非常大的挑戰(zhàn)。目前,12英寸集成電路硅片方面,國(guó)內(nèi)已有多家廠商在布局,但只實(shí)現(xiàn)了擋片、陪片、測(cè)試片等產(chǎn)品的銷(xiāo)售,正片還沒(méi)有通過(guò)客戶認(rèn)證,皆因產(chǎn)品良率過(guò)低所導(dǎo)致。他建議,國(guó)內(nèi)發(fā)展大尺寸硅片一定要加強(qiáng)上下游合作,引進(jìn)相關(guān)高科技人才,并不斷加大研發(fā)投入。
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