菲利華成功研發(fā)8代光掩膜板，助力顯示產(chǎn)業(yè)供應鏈國產(chǎn)化進程

8月7日消息，湖北菲利華石英玻璃股份有限公司（以下簡稱“菲利華”）研發(fā)出G8代光掩膜基板，打破國外企業(yè)的壟斷，為國內(nèi)航空航天、半導體、平板顯示、消費電子、太陽能等行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展夯實了基礎。

早在1979年，菲利華的前身沙市石英玻璃廠就根據(jù)當時建材部軍工辦下達的任務，在全國首家試制成功了高純度石英纖維和硅油型石英纖維。

幾十年來，菲利華始終專注產(chǎn)品和技術的自主創(chuàng)新，爭取在行業(yè)中的領先地位。

“這一塊1.4*1.2米的合成石英玻璃板是我們公司自主研發(fā)、國內(nèi)唯一具備批產(chǎn)能力的G8代光掩膜基板，其主要應用于平板顯示器的生產(chǎn)?！焙狈评A石英玻璃股份有限公司技術中心副主任歐陽葆華介紹，此前，我國沒有光掩膜基板的生產(chǎn)技術，市場被日韓壟斷，后來菲利華逐步掌握了最先進的8代基板生產(chǎn)技術，國際市場8代基板價格也就隨之下降。

以打造新型高科技企業(yè)為目標，菲利華形成了技術中心、制造部門和生產(chǎn)班組三級自主創(chuàng)新體系。依托國家計劃項目，吸引國內(nèi)石英界技術精英，培育企業(yè)技術人才，認真實踐自主創(chuàng)新的思路。

“在剛接手一項國家重點型號武器纖維織物項目時，我也有擔憂和顧慮，因為這個項目已耗時兩年多，進展卻并不順利?！狈评A纖維產(chǎn)品事業(yè)部研發(fā)工程師孫緋博士說，為了克服這一難題，她與工藝、操作人員面對面交流探討，開展技術培訓指導，攻克了多項關鍵技術難題，最終僅用三個多月時間就完成了配套研制任務。

1999年以來，菲利華承擔了大量的軍品配套研制項目，并得到了國防科工委在條件建設上的大力支持。現(xiàn)大部分項目已通過驗收，項目交付試用后獲得廣泛好評。石英纖維產(chǎn)品品種由最初的3個，增加到9個，在一些關鍵的性能指標上，已達到國際先進水平。

菲利華董事長吳學民

什么是光掩膜？

在半導體制造的整個流程中，其中一部分就是從版圖到晶圓（wafer）制造中間的一個過程，即光掩膜或稱光罩(mask)制造。這一部分是流程銜接的關鍵部分，是流程中造價最高的一部分，也是限制最小線寬的瓶頸之一。光掩膜除了應用于芯片制造外，還廣泛的應用與像LCD，PCB等方面，是核心材料之一，一直以來都被國外企業(yè)所壟斷。

常見的光掩膜的種類有四種，鉻版(chrome)、干版，凸版、液體凸版。主要分兩個組成部分，基板和不透光材料。基板通常是高純度，低反射率，低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。鉻版的不透光層是通過濺射的方法鍍在玻璃下方厚約0.1um的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小，雖不易受損但有可能被玻璃所傷害。應用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠，硬度小且易吸附灰塵，不過干版還有包膜和超微顆粒干版，其中后者可以應用于芯片制造。

在刻畫時，采用步進機刻畫(stepper)，其中有電子束和激光之分，激光束直接在涂有鉻層的4-9" 玻璃板上刻畫，邊緣起點5mm，與電子束相比，其弧形更逼真，線寬與間距更小。光掩膜有掩膜原版(reticle mask，也有稱為中間掩膜，reticle作為單位譯為光柵)，用步進機重復將比例縮小到master maks上，應用到實際曝光中的為工作掩膜(working mask)，工作掩膜由master mask復制過來。

菲利華技術中心副主任 歐陽葆華

菲利華公司作為國內(nèi)領先、國際知名的石英玻璃材料及石英玻璃纖維供應商的民營企業(yè)投身國防科技工業(yè)建設，用軍工的要求完善制度，用軍工的標準落實內(nèi)控，用軍工的準則嚴把質(zhì)量，把軍工要求融入到過程的每一個細節(jié)、每一組產(chǎn)品，保證能力得到極大提升，產(chǎn)品和服務質(zhì)量長期穩(wěn)定。

軍工研發(fā)帶來的核心競爭力，為企業(yè)占領了市場的制高點。除了在石英纖維這樣的軍工配套產(chǎn)品上獨步全國外，菲利華在民品市場上也領跑同行。菲利華產(chǎn)品應用領域從傳統(tǒng)的化工、光源行業(yè)，拓展到太陽能、半導體、電子、通訊行業(yè)及航空、航天領域。