手持式粒子計數(shù)器在半導體潔凈室內的監(jiān)測方案

隨著半導體制程技術的飛速發(fā)展,芯片線寬已經進入納米級,相應的產品對半導體產品生產環(huán)境的要求也越來越高,因此半導體潔凈室內的控制標準也提高了很多。在半導體代工廠中,潔凈室系統(tǒng)為整條生產線提供潔凈的環(huán)境,是硅芯片賴以生產加工最基本的條件。潔凈室,是指將一定空間范圍內的空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內的溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一特定需求范圍內。因此潔凈室系統(tǒng)的運行狀態(tài)對硅芯片品質和良率的影響舉足輕重。

近年來我國半導體工業(yè)發(fā)展迅速，半導體芯片使用了太多以往不曾使用的各種特殊材料氣體，而且其使用量有強勁的上升趨勢。特殊材料氣體所具有的危害性非常多，包括毒性，自燃性，助燃性，自行分解性，窒息性，腐蝕性等，特別是其毒性一般非常強。其次這些特殊性材料氣體中有許多對人體有害的物質，其中易燃易爆的特殊材料氣體例如硅烷泄漏后易引起火災爆炸事故的發(fā)生，另外，這些氣體多在潔凈室內具有密封性的環(huán)境中使用，一旦發(fā)生泄漏時危險性極大，其損失不可估量。

對于潔凈室內某區(qū)域溫濕度異常波動,需要巧妙運用在線檢測的數(shù)據(jù),去系統(tǒng)分析任何一次超出控制的異常情況,找到引起溫濕度異常波動的真實原因,從而找到有效的對策以避免問題的再次發(fā)生。其次潔凈室耗能為一般空調系統(tǒng)之5~10倍，在國內自產能源匱乏且面臨能源消耗日益嚴重的情況下，如何提升無塵室空調系統(tǒng)的節(jié)能技術，以提升生產力與競爭力，是我們必須面對的課題。

生產環(huán)境中空氣、工藝用純氣和液體的潔凈度及其他空氣參數(shù)（溫／濕度，風速，壓差）對半導體，制藥，電子等行業(yè)有著至關重要的作用。為此針對半導體廠房室內環(huán)境監(jiān)測工釆網(wǎng)提供采用手持式粒子計數(shù)器 - Model P611對潔凈廠房的潔凈度進行定期的人工巡檢存在一此缺點，為了克服人工檢測的缺點，我們可以采用環(huán)境實時監(jiān)測系統(tǒng)對潔凈廠房進行監(jiān)測。

粒子計數(shù)器P611用于測量流速在0.1 CFM (2.83 LPM) 粒徑為0.3~ 10μm 的粒子。本手持式粒子計數(shù)器僅重1.26 lb (0.57 kg), 設計人性化且設置簡單?？稍谄?.5”LCD彩屏к同時顯示6個尺寸通道的數(shù)據(jù)，也可顯示溫度和相對濕度(可選)。P611 能存儲多達 10,000條的采樣記錄，可在本設備或通過USB數(shù)據(jù)線在電腦上查看數(shù)據(jù)記錄。 P611符合 ISO 21501-4 ，質保2年。P611品質優(yōu)良，性能可靠，是專業(yè)人員驗證ISO潔凈室(級別5~9)和調查室內空氣質量問題的最佳產品解決方案。常用的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)采用粒子計數(shù)器集中監(jiān)測系統(tǒng)、多管式順序采樣監(jiān)測系統(tǒng)和多環(huán)境參數(shù)混合集中監(jiān)測系統(tǒng)三種形式。根據(jù)不同的潔凈廠房要求，在不同的潔凈區(qū)域應設計相應的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，既滿足監(jiān)測要求又降低采樣的成本。