2017 年,中國集成電路進口金額 2600 億美元,連續(xù)四年遠超石油進口額。2018年4月,美國對中興公司的制裁事件,凸顯發(fā)展國產芯片的重要性與緊迫性。芯片雖小,已成為“國之重器”。
電子級多晶硅是集成電路產業(yè)上游核心原材料,我國政府雄心勃勃的發(fā)展規(guī)劃以及各大企業(yè)對大硅片項目的投資,將驅動電子級硅材料向前發(fā)展。國家“強基工程”和集成電路產業(yè)投資基金(大基金)支持的中硅高科和江蘇鑫華正在開展電子級多晶硅研究及產業(yè)化,采用全新的技術、設計、建設理念和系統(tǒng)裝備,已有小批量投產并在用戶試用和認證過程中,也有小批量供貨的消息。此外,國內還有黃河水電、云冶芯材等企業(yè)也分別發(fā)布了電子級多晶硅量產的消息。伴隨這幾家多晶硅試產、試用和驗證,中國電子級多晶硅將逐步實現(xiàn)量產、穩(wěn)產及廣泛應用。參照太陽能產業(yè)提質量、降成本的發(fā)展基礎和經驗,隨著電子級多晶硅質量和成本控制經驗的積累,中國電子級多晶硅市場份額會逐步提升,隨后,市場競爭格局會發(fā)生根本改變,中國電子級多晶硅出口也將會水到渠成。
電子級多晶硅相比太陽能級多晶硅難點是建立高純理念,建設高純環(huán)境與生產系統(tǒng),建立可實施、可控的質量保證體系。所謂建立高純理念是從技術方案開始,要求貫徹高純理念,按不同工序環(huán)節(jié),設定對應的高純環(huán)境要求、設備材質要求、施工安裝要求等,包括原料質量控制,設備、管道、閥門裝備質量控制,設備系統(tǒng)潔凈化安裝質量控制,系統(tǒng)投產前的潔凈化處理及運行準備等等。
系統(tǒng)原料質量控制,包括三氯氫硅、氫氣、硅烷、硅芯或晶種等關鍵原材料質量,配套的純水、氮氣、氬氣、各種高純化學試劑等。
重要操作過程控制,包括原料提純與輸送,多晶硅生產,硅棒(顆粒硅)收獲、運輸,硅棒破碎、腐蝕清洗、干燥包裝等。按生產環(huán)節(jié)要求,控制環(huán)境空氣潔凈度,強化機械化、自動化操作,減少人為沾污。
按照多晶硅質量控制要求,建立多晶硅質量控制體系,包括進入還原爐的原料純度與控制要求;還原過程精細化、標準化操作;根據產品質量目標要求,建立質量控制體系和質預警體系,控制過程物料與操作
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原文標題:洛陽中硅總工嚴大洲:建立高純理念是生產電子級多晶硅關鍵
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