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光電液位開(kāi)關(guān) - LLC200D3SH助力半導(dǎo)體設(shè)備液體泄漏監(jiān)測(cè)

科技技術(shù) ? 2018-07-05 14:26 ? 次閱讀

半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備和材料,是半導(dǎo)體產(chǎn)品的最上游。全世界每年銷售的生產(chǎn)設(shè)備和材料,加起來(lái)總共800多億美元左右,隨著 AI 芯片、5G 芯片、汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)等下游的興起,全球半導(dǎo)體行業(yè)重回景氣周期。芯片應(yīng)用領(lǐng)域擴(kuò)大,半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)入高景氣周期確定。

伴隨著半導(dǎo)體廠房的大規(guī)模發(fā)展以及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的日趨復(fù)雜,半導(dǎo)體廠對(duì)廠房的潔凈度、設(shè)備運(yùn)行的故障率、生產(chǎn)所需的介質(zhì)(生產(chǎn)所需的水、氨水、酸、堿及有機(jī)氣體等)要求極高,生產(chǎn)介質(zhì)所產(chǎn)生的泄漏將會(huì)直接影響整個(gè)生產(chǎn)的流程。例如:半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部及管道容易出現(xiàn)的漏酸、漏堿、漏水情況,這些液體的泄漏很有可能導(dǎo)致不可估量的損失。此類廠房需針對(duì)可能產(chǎn)生泄漏的區(qū)域作重點(diǎn)監(jiān)測(cè):上夾層主要監(jiān)測(cè)運(yùn)行設(shè)備(空調(diào)、空調(diào)水管等)可能產(chǎn)生的漏水;工作區(qū)間對(duì)使用酸堿液體生產(chǎn)的設(shè)備監(jiān)測(cè)進(jìn)出介質(zhì)的管道、廢介質(zhì)回收導(dǎo)流槽等部位監(jiān)測(cè);下夾層是半導(dǎo)體生產(chǎn)的重點(diǎn)監(jiān)測(cè)點(diǎn),由于生產(chǎn)所需的介質(zhì)一般都有該夾層進(jìn)出至不同的生產(chǎn)線,夾層內(nèi)管道縱橫交錯(cuò),人員進(jìn)出不方便,如果產(chǎn)生泄漏,人工檢查很難找到發(fā)生泄漏的具體位置,根據(jù)管道的布置在其下方迂回布置相應(yīng)的感應(yīng)線纜。

因此對(duì)液體和氣體壓力的監(jiān)控就越來(lái)越重要.工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域離不開(kāi)酸堿類化學(xué)用品,它作為產(chǎn)品的必要原料以及一系列反應(yīng)過(guò)程中的催化劑。絕大多數(shù)酸堿類液體具有揮發(fā)性、腐蝕性、有毒性,若在生產(chǎn)或運(yùn)輸過(guò)程中發(fā)生泄漏,且未能及時(shí)發(fā)現(xiàn)和控制,將會(huì)帶來(lái)不可預(yù)料的后果。不但遭受經(jīng)濟(jì)損失,環(huán)境污染,造成人員傷亡。根據(jù)各半導(dǎo)體廠房的生產(chǎn)不同,廠房?jī)?nèi)部的管道液體也有出入,例如:酸/堿等化學(xué)液體,另外大多數(shù)廠房還采用工作人員現(xiàn)場(chǎng)巡檢方式,尋找安全隱患,浪費(fèi)人力物力。

針對(duì)上述情況,迫切的需要一種能方便安裝、反應(yīng)迅速、準(zhǔn)確度高、無(wú)人值守的高穩(wěn)定性檢測(cè)設(shè)備。目前傳感器被廣泛地應(yīng)用于這一領(lǐng)域.盡管在許多場(chǎng)合,傳感器獨(dú)一無(wú)二的設(shè)計(jì)與精度的要求具有決定性的作用,但傳感器的成本與有效性(性能價(jià)格比)也是十分重要的.針對(duì)半導(dǎo)體廠房設(shè)備液體泄漏問(wèn)題,工釆網(wǎng)為半導(dǎo)體廠房設(shè)備液體泄漏監(jiān)測(cè)提供工業(yè)級(jí)光電液位傳感器/光電液位開(kāi)關(guān) - LLC210D324-003相對(duì)應(yīng)的解決方案。

LLC工業(yè)級(jí)液位傳感器是單點(diǎn)檢測(cè),電平信號(hào)輸出。 這款傳感器適用于大功率輸出場(chǎng)合,可以直接驅(qū)動(dòng)白熾燈指示燈, 聲音報(bào)警器,繼電器或其它情形。 一個(gè)紅外LED光源和光電管探測(cè)器精確地安裝在傳感端的基座上, 能確保在空氣中達(dá)到很好的光耦合。當(dāng)感應(yīng)端浸入液體,紅外光會(huì) 從錐形表面透射出去,而光電管接受到的光強(qiáng)會(huì)變小,導(dǎo)致輸出電平發(fā)生變化。多樣化的輸出電路可滿足不同的應(yīng)用場(chǎng)合。如遇發(fā)生漏液,將會(huì)精準(zhǔn)地檢測(cè)到并進(jìn)行報(bào)警,通過(guò)監(jiān)控系統(tǒng)發(fā)出報(bào)警通知值班人員。漏液隱患分布范圍較廣,還可進(jìn)行定位漏液報(bào)警器,監(jiān)控漏液的實(shí)際位置,即可快速找到漏液點(diǎn)位,并及時(shí)處理,減少?gòu)S房損失。


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