據(jù)業(yè)內(nèi)最新消息,全球最大的芯片機(jī)器制造商、荷蘭的AMSL證實(shí),中國(guó)向荷蘭訂購(gòu)一臺(tái)最新型的使用EUV(極紫外線)技術(shù)的芯片制造機(jī)器光刻機(jī),訂貨單位是中芯國(guó)際(SMIC)。這也幾乎花掉了中芯國(guó)際2017年的所有利潤(rùn),該公司去年的凈利潤(rùn)為1.264億美元。
不過在大家了解到 EUV 設(shè)備有多重要之后,就知道這筆錢花的有多值了。
EUV 作為現(xiàn)在最先進(jìn)的光刻機(jī),是唯一能夠生產(chǎn) 7nm 以下制程的設(shè)備,因?yàn)樗l(fā)射的光線波長(zhǎng)僅為現(xiàn)有設(shè)備的十五分之一,能夠蝕刻更加精細(xì)的半導(dǎo)體電路,所以 EUV 也被成為“突破摩爾定律的救星”。從2019年半導(dǎo)體芯片進(jìn)入 7nm 時(shí)代開始(現(xiàn)在我們處于 10nm 時(shí)代),EUV 光刻機(jī)是絕對(duì)的戰(zhàn)略性設(shè)備,沒有它就會(huì)寸步難行。
在半導(dǎo)體工藝進(jìn)入10nm節(jié)點(diǎn)之后,制造難度越來越大,傳統(tǒng)的193nm紫外光刻機(jī)也難以為繼,EUV極紫外光刻機(jī)成為突破制程工藝的關(guān)鍵。
光刻機(jī)曾經(jīng)也是日本佳能、尼康公司的重要產(chǎn)品,不過現(xiàn)在的高端光刻機(jī)已經(jīng)被ASML壟斷,在EUV光刻機(jī)上更是獨(dú)一份。日經(jīng)新聞亞洲版今天報(bào)道稱,中芯國(guó)際(SMIC)已經(jīng)向ASML公司訂購(gòu)了一臺(tái)EUV光刻機(jī),單價(jià)1.2億美元,預(yù)計(jì)在2019年初交付。
此前英特爾、三星、臺(tái)積電以及GF都向ASML下了EUV訂單,其中臺(tái)積電訂購(gòu)了大約10臺(tái),三星訂購(gòu)了大約6臺(tái),英特爾今年會(huì)引入3臺(tái)EUV光刻機(jī),GF也下了訂單,不過日經(jīng)新聞沒提到具體數(shù)量。
中國(guó)公司能買先進(jìn)的光刻機(jī)?很多人聽到這個(gè)消息可能不太相信,因?yàn)榫W(wǎng)上一直有傳聞稱中國(guó)公司因?yàn)橥呱菂f(xié)定的關(guān)系一直被禁止采購(gòu)先進(jìn)光刻機(jī)。對(duì)于這個(gè)問題,網(wǎng)上有很多爭(zhēng)議也有很多解答了,日經(jīng)新聞報(bào)道的中芯國(guó)際采購(gòu)EUV光刻機(jī)其實(shí)也不是新聞了。
去年臺(tái)媒電子時(shí)報(bào)采訪過中ASML中國(guó)區(qū)總經(jīng)理金泳璇,后者辟謠稱ASML光刻機(jī)并沒有禁運(yùn)問題,該公司對(duì)所有客戶都一視同仁,不存在有錢買不到的問題。他還透露了已經(jīng)有中國(guó)客戶洽談購(gòu)買EUV光刻機(jī),如果訂單確認(rèn)的話,那么最快在2019年就會(huì)有EUV光刻機(jī)進(jìn)入中國(guó)晶圓廠,ASML對(duì)此表示樂觀。
兩邊對(duì)比的話,這家中國(guó)公司就是中芯國(guó)際,雖然該公司的14nm工藝要到2019年初才能量產(chǎn),不過國(guó)內(nèi)有需求EUV光刻機(jī)的幾乎只有他們了,2017年中芯國(guó)際表示他們已經(jīng)在預(yù)研7nm工藝了,訂購(gòu)一臺(tái)EUV光刻機(jī)做研究也是很正常的。
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原文標(biāo)題:?jiǎn)蝺r(jià)1.2億刀!中芯國(guó)際拿下EUV光刻機(jī)!
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