0
  • 聊天消息
  • 系統(tǒng)消息
  • 評論與回復(fù)
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學(xué)習(xí)在線課程
  • 觀看技術(shù)視頻
  • 寫文章/發(fā)帖/加入社區(qū)
會(huì)員中心
創(chuàng)作中心

完善資料讓更多小伙伴認(rèn)識(shí)你,還能領(lǐng)取20積分哦,立即完善>

3天內(nèi)不再提示

微流控芯片制作方法詳解

姚小熊27 ? 來源:網(wǎng)絡(luò)整理 ? 2018-05-10 16:07 ? 次閱讀

微流控芯片組成結(jié)構(gòu)

微流控芯片由片基(pmma;玻璃,pdms等材料)一由通道,進(jìn)液口,檢測窗等結(jié)構(gòu)構(gòu)成。外圍設(shè)備有蠕動(dòng)泵,微量注射泵,控溫,加速度,及紫外,光譜,熒光等檢測部件組成??梢詫⑸飳W(xué)實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)過程濃縮到一個(gè)片基上,因此又稱為LABonchip。片基的結(jié)構(gòu)由具體實(shí)驗(yàn)決定,設(shè)計(jì)和加工微流控芯片片基是做微流控實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)。附加在芯片結(jié)構(gòu)上的電器設(shè)備是芯片實(shí)驗(yàn)的必要組成部分,主要功能如驅(qū)動(dòng)液路的流動(dòng),液路的流向,溫度調(diào)控,圖像采集和分析,反饋和自動(dòng)控制等。

微流控芯片的制作

1、加工技術(shù)起源于微電子工業(yè)微機(jī)電加工技術(shù),即集成電路芯片制作的光刻和蝕刻技術(shù),微管道寬度和深度為微米級,比集成電路芯片的大,但加工精度要求則相

對較低。

2、基片材料應(yīng)具有良好的電絕緣性、散熱性、光學(xué)性能可以修飾性,可產(chǎn)生電滲流,能固載生物大分子,對檢測信號干擾小或無干擾; 與芯片實(shí)驗(yàn)室的工作介質(zhì)之間要有良好的化學(xué)和生物相容性,不發(fā)生反應(yīng)?;牧蠌墓杵l(fā)展到玻璃,石英,有機(jī)聚合物等。

3、微米尺寸結(jié)構(gòu),要求在制備過程中必須對環(huán)境進(jìn)行嚴(yán)格認(rèn)真的控制,包括空氣濕度,空氣溫度,空氣及制備過程中所使用的各種介質(zhì)中的顆粒密度,要求在潔凈室內(nèi)完成。

微流控芯片的基本加工

1、光刻和蝕刻技術(shù),用光膠。掩膜、和紫外光進(jìn)行微制造,由薄膜沉積,光刻和蝕刻三個(gè)工序組成。

2、光刻前首先要在基片表面覆蓋一層薄膜。然后在薄膜表面用甩膠機(jī)均勻地覆蓋上一沉光膠,將掩膜上微流控芯片設(shè)計(jì)圖案通過曝光成像的原理轉(zhuǎn)移到光膠層的工藝過程稱為光刻。

3、光刻的質(zhì)量則取夫央于光抗蝕劑(有正負(fù)之分)和光刻掩膜版的質(zhì)量。掩膜的基本功能是基片受到光束照射(如紫外線)時(shí),在圖形區(qū)和非圖形區(qū)產(chǎn)生不同的光吸收和透過能力。

微流控芯片是當(dāng)前微全分析系統(tǒng)發(fā)展的熱點(diǎn)領(lǐng)域。其產(chǎn)生的應(yīng)用目的是實(shí)現(xiàn)微全分析系統(tǒng)的終極目標(biāo)一一芯片實(shí)驗(yàn)室,目前重點(diǎn)應(yīng)用領(lǐng)域是生命科學(xué)領(lǐng)域。

微流控芯片材料的優(yōu)缺點(diǎn)

微流控芯片制作方法詳解

PDMS微流控芯片的優(yōu)點(diǎn)及制作方法

PDMS的優(yōu)點(diǎn):

(1)PDMS因?yàn)閺椥院茫诿撃_^程中,加工出來的PDMS微通道在保持模具完整無損的情況下,能夠輕松剝離出來,從而實(shí)現(xiàn)模具的重復(fù)利用。

(2)PDMS柔性好,易于吸附在其他材質(zhì)的襯底之上,而且PDMS與相對粗糙的表面接觸非常緊密,經(jīng)過處理后,與基底封接效果好,鍵合工藝簡

單,澆鑄法制備PDMS結(jié)構(gòu)具有較高的成型質(zhì)量。

(3)PDMS的電絕緣性也很好,因而被運(yùn)用于各種主流毛細(xì)管電泳芯片的制作;PDMS對溫度等也很不敏感且具有化學(xué)惰性,與大部分待檢測液體都不會(huì)發(fā)生反應(yīng),因而具有很高的生物兼容性,滿足大量不同生物實(shí)驗(yàn)的要求。

(4)迄今為止,以PDMS為主要加工制備材料的微流控芯片已被廣泛應(yīng)用到醫(yī)學(xué)和生命科學(xué)等領(lǐng)域。

微流控芯片制作方法詳解

PDMS芯片的制作方法:

1、配膠:打開天平稱膠。A膠:B膠=10:1。A膠與B膠的比越大配出來的膠越軟。

2、勻膠:打開真空脫泡攪拌機(jī),放入稱好的膠,抽真空將膠攪拌混合。

3、修飾:將處理好的硅片放入揮發(fā)缸中,滴1~2滴修飾劑(甲基氯硅烷)修飾約3min。

4、倒膠:錫紙鋪平于皿內(nèi),放入硅片模具,將硅片輕輕壓實(shí)后倒膠,務(wù)必使硅片上的膠無氣泡。

5、干燥:85*C恒溫干燥箱內(nèi)干燥約30min。

6、剝膠:稍冷卻后撕下錫紙,將固化后的PDMS與硅片分離,小心揭下PDMS,注意不要損壞硅片。

7、切割:用切割刀沿著芯片外框小心切割,注意切割整齊。

8、打孔:用打孔器打孔,注意打孔的位置、孔徑大小。

9、清理:清洗芯片。

10、鏡檢:用顯微鏡觀察芯片通道是否合格。

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報(bào)投訴
  • 微流控芯片
    +關(guān)注

    關(guān)注

    13

    文章

    293

    瀏覽量

    19185
收藏 人收藏
  • 耿迁_0171

評論

相關(guān)推薦
熱點(diǎn)推薦

加濕器制作方法

本帖最后由 eehome 于 2013-1-5 10:03 編輯 麻煩各位前輩,有沒有知道家用加濕器的制作方法的,我想學(xué)習(xí)一下,謝謝!
發(fā)表于 11-19 21:38

網(wǎng)線水晶頭制作方法

水晶頭制作方法???? 雙絞線制作工具?&
發(fā)表于 09-03 23:04 ?5144次閱讀

雙絞線的制作方法過程

雙絞線的制作方法過程 【實(shí)訓(xùn)目的】(1)掌握雙絞線和RJ-45接頭的排列,做交叉線和直連線。(2)學(xué)會(huì)雙絞線制作方法。(3)
發(fā)表于 12-07 13:43 ?1w次閱讀

光立方制作方法

光立方制作方法詳情
發(fā)表于 12-09 16:25 ?16次下載

LED顯示屏制作方法

LED顯示屏制作方法
發(fā)表于 02-08 02:17 ?30次下載

LED光立方焊接制作方法

制作方法
發(fā)表于 09-04 09:20 ?0次下載

倒車?yán)走_(dá)的制作方法

本文圖文介紹了倒車?yán)走_(dá)的制作方法。
發(fā)表于 11-15 15:39 ?13次下載

天線結(jié)構(gòu)及天線的制作方法詳解

本文詳解了天線結(jié)構(gòu)及天線的制作方法
發(fā)表于 11-15 15:50 ?45次下載

簡易聲控延時(shí)燈制作方法

簡易聲控延時(shí)燈制作方法
的頭像 發(fā)表于 08-15 18:16 ?1.5w次閱讀

遙控光盤鼠標(biāo)臺(tái)燈制作方法

遙控光盤鼠標(biāo)臺(tái)燈制作方法
的頭像 發(fā)表于 09-18 09:35 ?3770次閱讀

純直流混血功放制作方法

純直流混血功放的制作方法說明。
發(fā)表于 04-08 14:50 ?14次下載

倒裝芯片凸點(diǎn)制作方法

倒裝芯片技術(shù)正得到廣泛應(yīng)用 ,凸點(diǎn)形成是其工藝過程的關(guān)鍵。介紹了現(xiàn)有的凸點(diǎn)制作方法 ,包括蒸發(fā)沉積、印刷、電鍍、球法、黏點(diǎn)轉(zhuǎn)移法、SB2 - Jet 法、金屬液滴噴射法等。每種方法
發(fā)表于 04-08 15:35 ?26次下載
倒裝<b class='flag-5'>芯片</b>凸點(diǎn)<b class='flag-5'>制作方法</b>

OTP語音芯片電路的制作方法介紹

語音芯片大致分為OTP語音芯片和MASK語音芯片,那么你知道OTP語音芯片電路的制作方法呢?
發(fā)表于 12-13 11:30 ?1096次閱讀

OTP語音芯片電路制作方法步驟

語音芯片大致分為OTP語音芯片和MASK語音芯片,那么你知道OTP語音芯片電路的制作方法呢?下面九芯電子小編就和大家分享下OTP語音
的頭像 發(fā)表于 11-29 15:33 ?2038次閱讀
OTP語音<b class='flag-5'>芯片</b>電路<b class='flag-5'>制作方法</b>步驟

控SU8掩膜版的制作方法

控SU8掩膜版的制作是一個(gè)復(fù)雜的工藝過程,涉及到多個(gè)步驟。以下是詳細(xì)的制作流程: 1. 掩膜版設(shè)計(jì) 原理圖設(shè)計(jì):根據(jù)
的頭像 發(fā)表于 11-20 16:07 ?658次閱讀

電子發(fā)燒友

中國電子工程師最喜歡的網(wǎng)站

  • 2931785位工程師會(huì)員交流學(xué)習(xí)
  • 獲取您個(gè)性化的科技前沿技術(shù)信息
  • 參加活動(dòng)獲取豐厚的禮品