我國半導(dǎo)體用鎳鉑靶材的制備關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化獲突破

經(jīng)過刻苦攻關(guān)，云南省國際合作計(jì)劃專項(xiàng)——“半導(dǎo)體器件用鎳鉑靶材的制備關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化”取得重大突破，建立了生產(chǎn)線并取得良好經(jīng)濟(jì)效益，鎳鉑靶材替代了進(jìn)口產(chǎn)品并遠(yuǎn)銷海外。近日，由貴研鉑業(yè)股份有限公司承擔(dān)的該項(xiàng)目通過驗(yàn)收，總體評價(jià)為優(yōu)秀。

項(xiàng)目實(shí)施過程中，技術(shù)團(tuán)隊(duì)開展了鎳鉑靶的真空熔鑄及塑性加工等方面的研究，在鎳鉑靶的微觀結(jié)構(gòu)及擇優(yōu)取向控制、含脆性相靶材的塑性加工技術(shù)、異型靶材的沖壓成型技術(shù)；刀具的選型、裝夾工具設(shè)計(jì)及機(jī)加工優(yōu)化技術(shù)；靶材與背板的高可靠性焊接技術(shù)；加工過程中產(chǎn)生的邊角料清洗再利用技術(shù)、Pt的綠色高效化學(xué)提純技術(shù)4個方面取得重大突破。該技術(shù)團(tuán)隊(duì)先后入選昆明市科技創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)，云南省創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)培育對象、云南省工人先鋒號。

據(jù)悉，項(xiàng)目實(shí)施以來，取得了良好經(jīng)濟(jì)社會效益。貴研鉑業(yè)股份有限公司建成了年產(chǎn)1000片鎳鉑靶產(chǎn)品示范生產(chǎn)線，形成了長方狀、碗狀和圓形3種外形，5種不同Pt含量的鎳鉑靶材產(chǎn)品，技術(shù)性能指標(biāo)及尺寸精度滿足了用戶使用要求。產(chǎn)品不但實(shí)現(xiàn)了替代進(jìn)口，還出口至美國知名半導(dǎo)體公司。累計(jì)銷售各類鎳鉑靶材1300片，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)值1.05億元，銷售利潤1946.39萬元，其中出口創(chuàng)匯517.2萬美元。2017年，產(chǎn)品獲得第19屆深圳高交會優(yōu)秀產(chǎn)品獎。期間，技術(shù)團(tuán)隊(duì)申請發(fā)明專利20件，授權(quán)9件，發(fā)表論文22篇；引進(jìn)海歸博士1人，培養(yǎng)在職博士生4人，培養(yǎng)碩士研究生3人。