制備出國際一流的SOI晶圓片 王曦發(fā)布豪杰壯語

在許多人眼中，中科院院士、中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長王曦既是一位具有全球視野的戰(zhàn)略科學(xué)家，也是一位開拓創(chuàng)新而又務(wù)實(shí)的企業(yè)家。他帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)制備出了國際最先進(jìn)水平的SOI晶圓片，解決了我國航天電子器件急需SOI產(chǎn)品的“有無”問題，孵化出我國唯一的SOI產(chǎn)業(yè)化基地。

他在上海牽頭推進(jìn)了一批半導(dǎo)體重大項(xiàng)目——12英寸集成電路硅片項(xiàng)目有望填補(bǔ)我國大尺寸硅片產(chǎn)業(yè)空白。3月23日，王曦榮獲上海市科技功臣獎(jiǎng)。

從下圍棋中得到啟發(fā)

空間輻射會(huì)對(duì)衛(wèi)星造成影響，王曦團(tuán)隊(duì)制備出國際一流的SOI晶圓片，解決了這一問題。SOI技術(shù)被稱為“21世紀(jì)的硅集成電路技術(shù)”，王曦打了個(gè)比方：“這就像是三明治，在兩層硅的中間，包裹著一層二氧化硅?！弊钌厦娴墓杓纫。€要均勻，比如12英寸硅片的均勻度，相當(dāng)于從巴黎到上海的一次飛行，其振動(dòng)幅度不能超過1.5厘米。2001年7月，王曦提出把這一技術(shù)推向市場，建成了我國第一條SOI生產(chǎn)線。這引起了美國硅谷《半導(dǎo)體商業(yè)新聞》的注意，他們驚呼：中國出現(xiàn)了一個(gè)現(xiàn)代化的SOI工廠。

王曦喜歡下圍棋，因?yàn)橹灰朴谥\篇布局，做的“勢(shì)”就會(huì)越來越大。在推進(jìn)上海半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展這盤“棋”時(shí)，王曦一直在應(yīng)勢(shì)布局。目前全球僅五家企業(yè)有能力量產(chǎn)12英寸大硅片，我國市場100%依賴進(jìn)口。缺少這一材料，我國集成電路產(chǎn)業(yè)就還只是停留在中低端水平。2013年6月，王曦和中芯國際創(chuàng)始人張汝京共同建言，在上海啟動(dòng)12英寸大硅片的研發(fā)。應(yīng)運(yùn)而生的上海新升科技有限公司，去年實(shí)現(xiàn)大硅片量產(chǎn)，銷售近10萬片。

跨越科技成果轉(zhuǎn)化“死亡之谷”

曾經(jīng)在硅谷創(chuàng)辦了兩家公司的楊瀟在創(chuàng)建上海微技術(shù)工業(yè)研究院時(shí)，為是否要企業(yè)化運(yùn)作感到糾結(jié)，當(dāng)時(shí)最大的困難就是經(jīng)費(fèi)問題，而最簡單的辦法是成立事業(yè)單位。王曦卻下定決心要探索企業(yè)化的新路徑，來跨越科技成果與產(chǎn)業(yè)界之間的“死亡之谷”。如今這一共性化技術(shù)平臺(tái)，已實(shí)現(xiàn)85%的收入來自產(chǎn)業(yè)化。

上海硅產(chǎn)業(yè)投資有限公司執(zhí)行副總裁李煒與王曦共事20年，對(duì)其運(yùn)籌帷幄的能力感佩不已。2001年王曦帶領(lǐng)6個(gè)博士創(chuàng)立新傲公司，當(dāng)時(shí)的家底是1300萬，現(xiàn)在的市值是13億，增加了100倍；2016年，占全球高端硅材料市場70%份額的法國公司Soitec，由于副業(yè)經(jīng)營不善瀕臨破產(chǎn)，王曦看中其硅材料的生產(chǎn)能力，由上海硅產(chǎn)業(yè)投資有限公司對(duì)其參股。當(dāng)時(shí)的股價(jià)成本是9.2歐元，現(xiàn)在最高時(shí)漲到了70歐元，投資回報(bào)率達(dá)600%。

讓科學(xué)家心無旁騖做研究

去年9月26日，張江實(shí)驗(yàn)室掛牌成立，王曦?fù)?dān)任主任?！拔乙恢庇袀€(gè)夢(mèng)想，讓科學(xué)家心無旁騖做研究。接下來，張江實(shí)驗(yàn)室會(huì)有許多體制機(jī)制創(chuàng)新，包括科研經(jīng)費(fèi)的使用?！蓖蹶乇冗^去更忙碌了，同事們形容他的工作節(jié)奏是“5+2”“白加黑”，凌晨兩三點(diǎn)收到他發(fā)來的郵件再正常不過。

“中國的蓬勃發(fā)展成就了上海微系統(tǒng)所走過的傳奇之路?！蓖蹶卣f，當(dāng)年為了把SOI晶圓片賣出去，他們想和法國公司Soitec談合作，結(jié)果對(duì)方不予理睬，只能在對(duì)方公司門口留個(gè)合影。如今，王曦成為了這家公司的董事。過往已經(jīng)歸零，明日征途漫漫?！拔乙郧笆菬o知無畏，現(xiàn)在雖然有困難，但看到了方向，也就更加有激情。”