0
  • 聊天消息
  • 系統(tǒng)消息
  • 評論與回復(fù)
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學(xué)習(xí)在線課程
  • 觀看技術(shù)視頻
  • 寫文章/發(fā)帖/加入社區(qū)
會員中心
創(chuàng)作中心

完善資料讓更多小伙伴認(rèn)識你,還能領(lǐng)取20積分哦,立即完善>

3天內(nèi)不再提示

沒有它,你的手機(jī)可能造不出來!高精度減速機(jī)在半導(dǎo)體設(shè)備的應(yīng)用

蘇州璟豐機(jī)電 ? 2025-04-02 13:25 ? 次閱讀
加入交流群
微信小助手二維碼

掃碼添加小助手

加入工程師交流群

你知道嗎?我們每天使用的手機(jī)、電腦、智能手表,甚至新能源汽車,都離不開一個核心——芯片。而芯片的制造,又依賴一臺精密到極致的機(jī)器:光刻機(jī)。

但你知道嗎?光刻機(jī)的"心臟"里,藏著一個低調(diào)卻至關(guān)重要的部件——減速機(jī)。

wKgZO2fsyc6AOndiAAH_2wuHJRY046.png

半導(dǎo)體制造過程中,光刻機(jī)需要在納米級精度下移動晶圓(硅片),誤差不能超過幾納米。而減速機(jī)的作用,就是精準(zhǔn)控制機(jī)械臂的運(yùn)動速度和位置,確保每一次曝光、每一次刻蝕都分毫不差。

速度控制:將電機(jī)的高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換為工作端需要的低速高扭矩運(yùn)動

定位精準(zhǔn):確保機(jī)械臂每一次移動都精確到位

運(yùn)動穩(wěn)定:消除傳動過程中的振動和回程間隙

如果沒有高精度減速機(jī),光刻機(jī)的機(jī)械臂可能會抖動、偏移,導(dǎo)致芯片良率暴跌,甚至直接報廢??梢哉f,減速機(jī)的精度,直接決定了芯片的成敗。

wKgZPGfsyc6AVQmoAAH9iv13KNM479.png

在芯片工廠里,EUV光刻機(jī)要對準(zhǔn)、晶圓機(jī)器人要搬運(yùn)、檢測設(shè)備要掃描...這些動作都離不開減速機(jī)的精準(zhǔn)控制。目前全球能生產(chǎn)高端減速機(jī)的企業(yè)屈指可數(shù),這些精密部件需要滿足近乎苛刻的要求。

材料要求極高:需要超強(qiáng)耐磨、抗疲勞的合金材料,否則高速運(yùn)轉(zhuǎn)下容易磨損。

加工精度變態(tài):齒輪嚙合誤差必須控制在微米級,否則會影響整體運(yùn)動精度。

長期穩(wěn)定性:半導(dǎo)體設(shè)備24小時運(yùn)轉(zhuǎn),減速機(jī)必須經(jīng)得起數(shù)萬小時高強(qiáng)度工作而不退化。

正是這些嚴(yán)苛的標(biāo)準(zhǔn),使得高精度減速機(jī)成為衡量一個國家高端制造水平的重要標(biāo)志之一。

wKgZO2fsyc-AEEtgAAFl4yCAyg8039.png

蘇州璟豐機(jī)電——自動化領(lǐng)域高速高精度系統(tǒng)集成商,為客戶提供自動化產(chǎn)品,系統(tǒng)集成,控制系統(tǒng)的設(shè)計研發(fā),提供成套解決方案。美國派克parker,日本哈默納科Harmonic,陶氏等品牌授權(quán)代理經(jīng)銷商。提供美國派克伺服電機(jī)、防爆電機(jī)、直線電機(jī)、驅(qū)動器、減速機(jī),日本哈默納科減速機(jī)、執(zhí)行元件,陶氏減速機(jī),臺灣apex減速機(jī)系列產(chǎn)品的銷售及技術(shù)支持。

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報投訴
收藏 人收藏
加入交流群
微信小助手二維碼

掃碼添加小助手

加入工程師交流群

    評論

    相關(guān)推薦
    熱點(diǎn)推薦

    減速機(jī)的安裝

    報廢?! “惭b以后我們一個要可以使工作人員能夠去找到排油塞,油標(biāo),通氣塞、然后就要依次去檢查我們安裝的位置是不是對的各個固定件的可靠性,是不是可以很輕松很的旋轉(zhuǎn),減速機(jī)一般是用油池里面的潤滑油飛濺去潤滑的,工作
    發(fā)表于 04-20 14:35

    行星減速機(jī)速配電機(jī)

    處理,相對于普通減速機(jī)的齒輪,硬度更高,壽命更長,精度也更加準(zhǔn)確。隨著技術(shù)的不斷提高,生產(chǎn)力的不斷發(fā)展,為了方便行星減速匹配更多種類的電機(jī),現(xiàn)在的行星減速機(jī)廠家基本上都是模塊化生產(chǎn)。何
    發(fā)表于 09-05 09:08

    行星減速機(jī)的使用技巧

    行星減速機(jī)廣泛應(yīng)用在自動化行業(yè)領(lǐng)域中,那么我們正常的使用時應(yīng)該掌握什么樣子的使用技巧呢?行星減速機(jī)使用技巧: 在運(yùn)轉(zhuǎn)210~295小時后,行星減速機(jī)應(yīng)進(jìn)行油的第一次更換,并且會在以后
    發(fā)表于 09-11 10:25

    減速機(jī)工業(yè)機(jī)器人的應(yīng)用

    生產(chǎn)企業(yè)近年來盡管加大了投入,但距離量產(chǎn)仍有一段距離。未來或許要靠國內(nèi)機(jī)器人企業(yè)帶動,才有可能打破日本企業(yè)的壟斷。綜上所述,工業(yè)機(jī)器人帶動下,我國機(jī)器人減速機(jī)行業(yè)有望迎來快速發(fā)展,市場需求不斷釋放。深圳市華科星電氣有限公司
    發(fā)表于 09-18 10:03

    彈簧機(jī)應(yīng)用行星減速機(jī)的優(yōu)勢

    對于彈簧制造的高精度制造工藝,行星減速機(jī)以優(yōu)良的低噪音;高精度;高剛性、高扭矩;高效率;免維護(hù)等性能實(shí)現(xiàn)了彈簧機(jī)設(shè)備快速度高質(zhì)量的生產(chǎn)要求。易安裝:標(biāo)準(zhǔn)化法蘭,可與各伺服品牌電機(jī)完美
    發(fā)表于 09-26 10:29

    行星減速機(jī)入門

    負(fù)載。行星減速機(jī)與伺服電機(jī)合體以后是醬嬸兒的。行星減速機(jī)機(jī)械設(shè)備的運(yùn)控系統(tǒng)中起到的作用主要包括:傳輸電機(jī)動力和扭矩;傳輸和匹配動力轉(zhuǎn)速;調(diào)整應(yīng)用端機(jī)械負(fù)載與驅(qū)動側(cè)電機(jī)之間的慣量匹配;
    發(fā)表于 10-18 11:34

    齒輪減速機(jī)是什么

    降低轉(zhuǎn)速了. 齒輪減速機(jī)一般用于低轉(zhuǎn)速大扭矩的傳動設(shè)備,把電動機(jī).內(nèi)燃機(jī)或其它高速運(yùn)轉(zhuǎn)的動力通過減速機(jī)的輸入軸上的齒數(shù)少的齒輪嚙合輸出軸上的大齒輪來達(dá)到
    發(fā)表于 07-12 06:20

    WSCE行星減速機(jī)

    高精度減速機(jī)的代表者,擁有著高精度,高效率的性能特性,同時穩(wěn)定性,壽命,防護(hù)等級都是減速機(jī)里最優(yōu)的,所以行星減速機(jī)一般應(yīng)用在
    發(fā)表于 09-03 07:54

    電機(jī)為什么要使用減速機(jī)?

    1、工業(yè)自動化應(yīng)用的過程中,很多時候都會用到,低速大扭矩精準(zhǔn)控制,這種場合一般都會用到減速機(jī),高速小扭矩的工況下,一般不用加減速機(jī)。  2、電機(jī)配
    發(fā)表于 03-06 17:20

    美國芯片對中國的影響是沒有美國技術(shù)華為手機(jī)不出來

    美國芯片對中國的影響是什么?難道沒有美國技術(shù)我們連手機(jī)不出來?難道真像俞敏洪說的那樣? 俞敏洪表示,即使是華為現(xiàn)在造出了自己的芯片,但沒有
    的頭像 發(fā)表于 11-09 16:05 ?1.7w次閱讀

    齒輪減速機(jī)正常溫度多少

    齒輪減速機(jī)的工作溫度一般80攝氏度以內(nèi)。齒輪減速機(jī)應(yīng)用在我們生活中的各個領(lǐng)域,一般用于低轉(zhuǎn)速大扭矩的傳動設(shè)備,隨著
    的頭像 發(fā)表于 04-04 15:48 ?3.3w次閱讀

    臺灣精銳APEX精密行星減速機(jī)與普通減速機(jī)有什么區(qū)別

    臺灣精銳APEX減速機(jī)主要結(jié)構(gòu)是行星齒輪,利用行星齒輪實(shí)現(xiàn)功率分流、多齒嚙合獨(dú)用的效果,具有高剛性、高精度、高傳動效率、高的扭矩、體積小、終身免維護(hù)等特點(diǎn),多數(shù)安裝在步進(jìn)電機(jī)和伺服電機(jī)上,用來降低
    的頭像 發(fā)表于 07-06 14:52 ?1659次閱讀
    臺灣精銳APEX精密行星<b class='flag-5'>減速機(jī)</b>與普通<b class='flag-5'>減速機(jī)</b>有什么區(qū)別

    DynaDrv行星減速機(jī)特性及應(yīng)用場景全解析

    DynaDrv行星減速機(jī)以其體積小、傳動效率高、減速范圍廣、精度高等特點(diǎn)在傳動系統(tǒng)中占據(jù)重要地位。提供了多種減速方式和豐富的規(guī)格選擇,廣泛
    的頭像 發(fā)表于 06-20 09:30 ?687次閱讀
    DynaDrv行星<b class='flag-5'>減速機(jī)</b>特性及應(yīng)用場景全解析

    臺灣精銳APEX減速機(jī)半導(dǎo)體制造設(shè)備中的應(yīng)用案例

    半導(dǎo)體制造設(shè)備對傳動系統(tǒng)的精度、可靠性和穩(wěn)定性要求極高,臺灣精銳APEX減速機(jī)憑借其低背隙、高精度和高剛性等優(yōu)勢,
    的頭像 發(fā)表于 02-06 13:12 ?366次閱讀
    臺灣精銳APEX<b class='flag-5'>減速機(jī)</b><b class='flag-5'>在</b><b class='flag-5'>半導(dǎo)體</b>制造<b class='flag-5'>設(shè)備</b>中的應(yīng)用案例

    Apex高精度減速機(jī)光伏行業(yè)的應(yīng)用案例

    Apex高精度減速機(jī)光伏恒力繞線機(jī)和數(shù)控光伏玻璃設(shè)備上應(yīng)用,提升生產(chǎn)效率和加工精度,降低生產(chǎn)成
    的頭像 發(fā)表于 02-26 13:15 ?413次閱讀
    Apex<b class='flag-5'>高精度</b><b class='flag-5'>減速機(jī)</b><b class='flag-5'>在</b>光伏行業(yè)的應(yīng)用案例