你知道嗎?我們每天使用的手機(jī)、電腦、智能手表,甚至新能源汽車,都離不開一個核心——芯片。而芯片的制造,又依賴一臺精密到極致的機(jī)器:光刻機(jī)。
但你知道嗎?光刻機(jī)的"心臟"里,藏著一個低調(diào)卻至關(guān)重要的部件——減速機(jī)。

在半導(dǎo)體制造過程中,光刻機(jī)需要在納米級精度下移動晶圓(硅片),誤差不能超過幾納米。而減速機(jī)的作用,就是精準(zhǔn)控制機(jī)械臂的運(yùn)動速度和位置,確保每一次曝光、每一次刻蝕都分毫不差。
速度控制:將電機(jī)的高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換為工作端需要的低速高扭矩運(yùn)動
定位精準(zhǔn):確保機(jī)械臂每一次移動都精確到位
運(yùn)動穩(wěn)定:消除傳動過程中的振動和回程間隙
如果沒有高精度減速機(jī),光刻機(jī)的機(jī)械臂可能會抖動、偏移,導(dǎo)致芯片良率暴跌,甚至直接報廢??梢哉f,減速機(jī)的精度,直接決定了芯片的成敗。

在芯片工廠里,EUV光刻機(jī)要對準(zhǔn)、晶圓機(jī)器人要搬運(yùn)、檢測設(shè)備要掃描...這些動作都離不開減速機(jī)的精準(zhǔn)控制。目前全球能生產(chǎn)高端減速機(jī)的企業(yè)屈指可數(shù),這些精密部件需要滿足近乎苛刻的要求。
材料要求極高:需要超強(qiáng)耐磨、抗疲勞的合金材料,否則高速運(yùn)轉(zhuǎn)下容易磨損。
加工精度變態(tài):齒輪嚙合誤差必須控制在微米級,否則會影響整體運(yùn)動精度。
長期穩(wěn)定性:半導(dǎo)體設(shè)備24小時運(yùn)轉(zhuǎn),減速機(jī)必須經(jīng)得起數(shù)萬小時高強(qiáng)度工作而不退化。
正是這些嚴(yán)苛的標(biāo)準(zhǔn),使得高精度減速機(jī)成為衡量一個國家高端制造水平的重要標(biāo)志之一。

蘇州璟豐機(jī)電——自動化領(lǐng)域高速高精度系統(tǒng)集成商,為客戶提供自動化產(chǎn)品,系統(tǒng)集成,控制系統(tǒng)的設(shè)計研發(fā),提供成套解決方案。美國派克parker,日本哈默納科Harmonic,陶氏等品牌授權(quán)代理經(jīng)銷商。提供美國派克伺服電機(jī)、防爆電機(jī)、直線電機(jī)、驅(qū)動器、減速機(jī),日本哈默納科減速機(jī)、執(zhí)行元件,陶氏減速機(jī),臺灣apex減速機(jī)系列產(chǎn)品的銷售及技術(shù)支持。
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