芯片清洗機(jī)工藝介紹

芯片制造難，真的很難。畢竟這個(gè)問題不是一朝一夕，每次都是涉及不少技術(shù)。那么，我們說到這里也得提及的就是芯片清洗機(jī)工藝。你知道在芯片清洗機(jī)中涉及了哪些工藝嗎？

芯片清洗機(jī)的工藝主要包括以下幾種，每種工藝都有其特定的目的和方法，以確保芯片的清潔度和質(zhì)量：

預(yù)處理工藝

去離子水預(yù)沖洗：芯片首先經(jīng)過去離子水的預(yù)沖洗，以去除表面的大顆粒雜質(zhì)和灰塵。這一步通常是初步的清潔，為后續(xù)的清洗工藝做準(zhǔn)備。

表面活性劑處理：有些清洗機(jī)可能會(huì)在預(yù)處理階段使用表面活性劑，以幫助去除芯片表面的有機(jī)污染物。表面活性劑能夠降低水的表面張力，使水更容易滲透到微小的縫隙中，從而更徹底地清洗芯片表面。

標(biāo)準(zhǔn)清洗工藝（RCA 清洗）

堿性過氧化氫洗液（SC-1）：這是一種常用的清洗液，由去離子水、氫氧化銨和過氧化氫按一定比例混合而成。其主要作用是去除芯片表面的有機(jī)污染物，如光刻膠、有機(jī)物等。氫氧化銨提供了堿性環(huán)境，有助于分解有機(jī)物，而過氧化氫則具有強(qiáng)氧化性，能夠進(jìn)一步氧化和去除有機(jī)物。

酸性過氧化氫洗液（SC-2）：用于去除芯片表面的無機(jī)污染物，如金屬離子、氧化物等。SC-2 清洗液由去離子水、鹽酸和過氧化氫組成。鹽酸可以溶解金屬離子和一些無機(jī)氧化物，過氧化氫則起到氧化和輔助清洗的作用。

稀釋的氫氟酸洗液（DHF）：主要用于去除芯片表面的自然氧化層和一些無機(jī)污染物。DHF 是一種弱酸，能夠溫和地腐蝕硅氧化物，同時(shí)對(duì)硅基底的損傷較小。

其他特殊清洗工藝

兆聲波清洗：利用高頻聲波（通常在 0.5MHz 至 5MHz 之間）在液體中產(chǎn)生的空化效應(yīng)來清洗芯片。當(dāng)聲波在液體中傳播時(shí)，會(huì)產(chǎn)生微小的氣泡，這些氣泡在破裂時(shí)會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)烈的沖擊力，能夠有效地去除芯片表面的污垢和雜質(zhì)。兆聲波清洗可以提高清洗效率，同時(shí)減少對(duì)芯片的損傷。

紫外線 - 臭氧清洗：使用紫外線照射和臭氧處理來去除芯片表面的有機(jī)污染物和微生物。紫外線具有殺菌和分解有機(jī)物的作用，而臭氧則是一種強(qiáng)氧化劑，能夠進(jìn)一步氧化和去除有機(jī)物。這種清洗方法通常用于對(duì)清洗要求較高的場(chǎng)合，如半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵工藝步驟。

超臨界流體清洗：利用超臨界流體（如超臨界二氧化碳）的特殊性質(zhì)進(jìn)行清洗。超臨界流體具有液體和氣體的雙重性質(zhì)，能夠更好地滲透到芯片的微小縫隙中，去除難以清洗的污垢和雜質(zhì)。這種清洗方法通常用于對(duì)傳統(tǒng)清洗方法難以達(dá)到的區(qū)域進(jìn)行清洗，或者對(duì)芯片的表面質(zhì)量要求極高的場(chǎng)合。

干燥工藝

旋轉(zhuǎn)干燥：在清洗完成后，通過高速旋轉(zhuǎn)芯片將表面的水分甩干。這種方法簡(jiǎn)單快捷，但可能會(huì)導(dǎo)致芯片表面的水斑和殘留。

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真空干燥：將芯片置于真空環(huán)境中，使表面的水分在低壓下迅速蒸發(fā)。真空干燥可以避免氮?dú)獯祾呖赡軒淼念w粒污染問題，但設(shè)備成本較高。

審核編輯 黃宇