干法刻蝕使用脈沖電源有什么好處

本文簡(jiǎn)單介紹了連續(xù)波和脈沖波的概念、連續(xù)波電流與脈沖波電源的定義以及脈沖波電源相對(duì)于連續(xù)波的電源模式的優(yōu)勢(shì)。

相對(duì)于連續(xù)波的電源模式，脈沖模式的優(yōu)勢(shì)有哪些？什么是脈沖與連續(xù)波電源模式？

如上圖，

第一個(gè)為CW，Continuous Wave，連續(xù)波。連續(xù)波（CW）是指在時(shí)間上連續(xù)、恒定的波形，其功率和強(qiáng)度保持不變。它通常表現(xiàn)為單一頻率信號(hào)，頻譜窄且輸出穩(wěn)定。CW 的平均功率與峰值功率相等，信號(hào)特性簡(jiǎn)單且容易控制。CW 的主要優(yōu)點(diǎn)是其高穩(wěn)定性，非常適合對(duì)信號(hào)連續(xù)性要求高的應(yīng)用場(chǎng)景。同時(shí)，CW 信號(hào)具有較低的噪聲水平，便于進(jìn)行精確測(cè)量和分析。此外，CW 系統(tǒng)設(shè)計(jì)相對(duì)簡(jiǎn)單，控制參數(shù)如功率和頻率可以很方便地調(diào)節(jié)。CW模式下，電源輸出是一個(gè)連續(xù)的波形，沒(méi)有斷斷續(xù)續(xù)的脈沖。

第二個(gè)為PW，Pulsed Power，脈沖波。脈沖波是一種在時(shí)間上間斷的波形，由一系列短時(shí)高強(qiáng)度的信號(hào)組成。脈沖的持續(xù)時(shí)間有限，間隔一定周期后再重復(fù)出現(xiàn)。脈沖波具有瞬時(shí)峰值功率遠(yuǎn)高于平均功率的特點(diǎn)，輸出頻譜寬，包含更多頻率分量。脈沖波的最大優(yōu)勢(shì)是其瞬時(shí)高峰值功率，在短時(shí)間內(nèi)可以釋放極高的能量。此外，由于信號(hào)的間歇性輸出，脈沖波的平均功率較低，有效降低了設(shè)備的熱負(fù)載壓力。因此，它非常適合需要高時(shí)間分辨率或瞬時(shí)高功率的應(yīng)用場(chǎng)景。PW模式下，電源的輸出功率部分時(shí)間內(nèi)處于關(guān)閉狀態(tài)，部分時(shí)間屬于打開(kāi)狀態(tài)。

脈沖電源的特點(diǎn)？

1，間隔性工作，可以及時(shí)將熱量等散出，能夠使反應(yīng)物有時(shí)間運(yùn)輸?shù)骄A表面。

2，輸出功率能夠加到很大，持續(xù)時(shí)間極短，能夠很精確地控制脈沖功率，頻率，時(shí)間等。

使用脈沖模式的好處？

1，消除微負(fù)載效應(yīng)。在高深寬比的結(jié)構(gòu)刻蝕中，如深孔或深槽。較小尺寸的孔或槽刻蝕速率小于較大尺寸的孔或槽。如果使用CW模式，通過(guò)減少壓力，增大偏壓可以改善微負(fù)載效應(yīng)，但是改善的能力有限，而使用脈沖模式，可以大大改善微負(fù)載效應(yīng)。

2，減少晶圓表面損傷。如果在偏置電源上使用脈沖，可以減少等離子體攻擊晶圓的時(shí)間，進(jìn)而減少表面的損傷。