通過聲光介質(zhì)的聲光效應(yīng),實現(xiàn)白光干涉中的聲光調(diào)制相移原理,是一個涉及光學(xué)和聲學(xué)交叉領(lǐng)域的技術(shù)。以下是對這一原理的詳細解釋:
一、聲光效應(yīng)與聲光調(diào)制
聲光效應(yīng)是指超聲波在介質(zhì)中傳播時,會引起介質(zhì)折射率的周期性變化,這種變化可以看作是一個動態(tài)的光柵。當(dāng)光波通過這個動態(tài)光柵時,會發(fā)生衍射現(xiàn)象,衍射光的強度、頻率和方向都會隨著超聲波場的變化而變化。聲光調(diào)制則是利用這種聲光效應(yīng),將信息加載到光波上的一種物理過程。
二、聲光調(diào)制器與白光干涉
聲光調(diào)制器是實現(xiàn)聲光調(diào)制的關(guān)鍵元件,它由聲光介質(zhì)和壓電換能器構(gòu)成。當(dāng)驅(qū)動源的某種特定載波頻率驅(qū)動壓電換能器時,換能器會產(chǎn)生同一頻率的超聲波并傳入聲光介質(zhì),形成折射率的變化。這樣,當(dāng)白光通過聲光調(diào)制器時,其相位會受到調(diào)制,從而實現(xiàn)白光干涉中的聲光調(diào)制相移。
三、聲光調(diào)制相移原理
在白光干涉測量中,通過聲光調(diào)制器實現(xiàn)的聲光調(diào)制相移原理可以概括為以下幾個步驟:
超聲波的產(chǎn)生與傳播:由壓電換能器產(chǎn)生超聲波,并傳入聲光介質(zhì)中。超聲波在介質(zhì)中傳播時,會引起介質(zhì)折射率的周期性變化。
光波的衍射與相位調(diào)制:當(dāng)白光通過聲光介質(zhì)時,由于折射率的周期性變化,光波會發(fā)生衍射現(xiàn)象。衍射光的強度、頻率和方向都會隨著超聲波場的變化而變化,從而實現(xiàn)光波的相位調(diào)制。
干涉條紋的觀測與分析:在干涉儀的接收屏上觀測干涉條紋的變化。由于光波的相位受到調(diào)制,干涉條紋的位置和形態(tài)會發(fā)生變化。通過測量干涉條紋的變化量,可以計算出相位差,進而得到待測物體的相關(guān)信息。
四、應(yīng)用實例
基于聲光調(diào)制相移原理的白光干涉測量技術(shù)在多個領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用:
表面形貌測量:通過測量干涉條紋的變化量,可以精確計算出待測物體表面的微小起伏和缺陷。
薄膜厚度測量:利用白光干涉測量技術(shù)可以精確測量薄膜的厚度和均勻性。通過聲光調(diào)制相移原理,可以實現(xiàn)對薄膜厚度的非接觸式、高精度測量。
光學(xué)元件檢測:白光干涉測量技術(shù)還可用于檢測光學(xué)元件的缺陷、應(yīng)力分布等。通過觀測干涉條紋的形態(tài)和變化,可以判斷光學(xué)元件的質(zhì)量和性能。
五、技術(shù)特點與優(yōu)勢
高精度:聲光調(diào)制相移原理可以實現(xiàn)納米級別的測量精度,滿足高精度測量的需求。
非接觸式測量:該技術(shù)是一種非接觸式的測量方法,不會對被測物體造成損傷,適用于脆弱或易損材料的測量。
靈活性:通過調(diào)整超聲波的頻率和強度,可以實現(xiàn)對光波相位的精確控制,從而適應(yīng)不同測量需求。
綜上所述,通過聲光介質(zhì)的聲光效應(yīng)實現(xiàn)白光干涉中的聲光調(diào)制相移原理是一種高精度、非接觸式且靈活多樣的測量方法。它在表面形貌測量、薄膜厚度測量和光學(xué)元件檢測等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景和重要的研究價值。
TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀
一款可以“實時”動態(tài)/靜態(tài) 微納級3D輪廓測量的白光干涉儀
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2)系統(tǒng)集成CST連續(xù)掃描技術(shù),Z向測量范圍高達100mm,不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率,為復(fù)雜形貌測量提供全面解決方案。
3)可搭載多普勒激光測振系統(tǒng),實現(xiàn)實現(xiàn)“動態(tài)”3D輪廓測量。
實際案例
1,優(yōu)于1nm分辨率,輕松測量硅片表面粗糙度測量,Ra=0.7nm
2,毫米級視野,實現(xiàn)5nm-有機油膜厚度掃描
3,卓越的“高深寬比”測量能力,實現(xiàn)光刻圖形凹槽深度和開口寬度測量。
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