半導(dǎo)體配電工程母線弧光保護(hù)方案

半導(dǎo)體配電工程為什么能用到弧光保護(hù)？

1.快速切除故障

半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備對(duì)供電連續(xù)性和穩(wěn)定性要求極高。例如在芯片制造的光刻工序中，突然斷電可能導(dǎo)致正在加工的芯片報(bào)廢。弧光保護(hù)系統(tǒng)能在弧光故障發(fā)生的瞬間（通常在幾毫秒內(nèi)）快速檢測并切除故障，減少停電范圍，降低對(duì)生產(chǎn)的影響。

2.保護(hù)人員安全

半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境中存在大量的電氣設(shè)備和復(fù)雜的電路?；」夤收习l(fā)生時(shí)，會(huì)瞬間釋放出巨大的能量，產(chǎn)生強(qiáng)光、高溫和強(qiáng)烈的沖擊波。弧光保護(hù)可以及時(shí)切斷電源，防止人員被弧光傷害。

3.減少設(shè)備損壞

半導(dǎo)體制造設(shè)備昂貴且精密?；」猱a(chǎn)生的高溫和強(qiáng)大的電磁力可能損壞設(shè)備的電氣元件和機(jī)械結(jié)構(gòu)?；」獗Ｗo(hù)能夠有效避免故障電弧對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備造成進(jìn)一步損壞。

什么是弧光：

1、空氣被電離時(shí)，溫度隨之急劇上升產(chǎn)生電弧，這種放電稱之為電弧光放電

2、電流增大，光強(qiáng)增大

3、主要集中在200-400nm的紫外區(qū)、部分紫光。

弧光產(chǎn)生的原因：

1、設(shè)備元件老化、絕緣損壞

2、過電壓

3、人為失誤

4、污染、腐蝕

5、柜體結(jié)構(gòu)不合理、維護(hù)不到位

弧光保護(hù)的意義：

1、在燃弧初期快速斷開故障點(diǎn)

2、使得快速恢復(fù)供電成為可能

3、延長一次設(shè)備的使用壽命

4、避免人員傷亡

5、可以實(shí)現(xiàn)中低壓母線保護(hù)功能

6、有效補(bǔ)充中低壓系統(tǒng)母線保護(hù)缺陷

（母差保護(hù)接線復(fù)雜、對(duì)CT要求高，安裝于中低壓母線上較為困難，且保護(hù)范圍受CT安裝位置限制）

弧光保護(hù)與傳統(tǒng)母線保護(hù)方案的比較：

環(huán)流原理的高阻抗母線保護(hù)

方案特點(diǎn)：是專用的母線保護(hù)方案，保護(hù)動(dòng)作時(shí)間一般為35 ～ 60 ms。

方案缺點(diǎn)：接線復(fù)雜、對(duì)CT 要求高，安裝在中低壓開關(guān)柜有很多困難，也不經(jīng)濟(jì)；

由于其保護(hù)范圍受到CT 安裝位置的限制，不能保護(hù)發(fā)生故障幾率較高的電纜接頭處的故障；

不能提供故障定位，實(shí)用性差。

弧光保護(hù)

方案特點(diǎn)：用于保護(hù)中低壓開關(guān)柜（母線室、手車室、電纜室）：

方案優(yōu)點(diǎn)：動(dòng)作時(shí)間快，相比于傳統(tǒng)的保護(hù)系統(tǒng)更具優(yōu)越性；

采用弧光和電流過流雙重判據(jù)，增加了可靠性和安全性；

能對(duì)故障點(diǎn)準(zhǔn)確地定位，可減少維修人員查找故障點(diǎn)的時(shí)間，大大減短了維修時(shí)間，從而保障事故檢修之后快速恢復(fù)供電。

弧光保護(hù)原理：

弧光保護(hù)裝置通過檢測母線室弧光、進(jìn)線電流（母聯(lián)柜電流）判據(jù)啟動(dòng)。

弧光保護(hù)裝置產(chǎn)品

性能特點(diǎn)：

每臺(tái)裝置可選采集6/12/18/24/30路探頭

弧光探頭通過塑料光纖直接傳輸光信號(hào)至弧光保護(hù)裝置

單判據(jù)動(dòng)作時(shí)間3.8ms，雙判據(jù)動(dòng)作時(shí)間7.8ms

高可靠性，通過國家權(quán)威檢測機(jī)構(gòu)認(rèn)證

弧光探頭：檢測范圍：角度≥180°半徑≥0.5m

感光類型：可見光/紫外光

功能特點(diǎn)：自帶濾光功能，無源型弧光傳感器探頭及光纖鏈路實(shí)時(shí)自檢，弧光光纖：雙股、阻燃不含金屬件，沒有電氣安全隱患

說明書（分ARB6和ARB4兩種）：

安裝實(shí)例

產(chǎn)品資質(zhì)

審核編輯 黃宇