晶圓的TTV，BOW，WARP，TIR是什么？

晶圓的TTV、BOW、WARP、TIR是評(píng)估晶圓質(zhì)量和加工精度的重要指標(biāo)，以下是它們的詳細(xì)介紹：

TTV（Total Thickness Variation，總厚度偏差）

定義：晶圓的總厚度變化，指晶圓在其直徑范圍內(nèi)的最大和最小厚度之間的差異。

測(cè)量方法：晶圓在未緊貼狀態(tài)下，測(cè)量晶圓中心點(diǎn)表面距離參考平面的最小值和最大值之間的偏差，偏差包括凹形和凸形的情況。凹形彎曲度為負(fù)值，凸形彎曲度為正值。

重要性：TTV用于評(píng)估晶圓的厚度均勻性，確保晶圓在加工過(guò)程中厚度分布均勻，避免影響后續(xù)工藝步驟和最終產(chǎn)品的性能。

BOW（彎曲度）

定義：晶圓的彎曲度，表示晶圓中心與邊緣之間的垂直距離變化。

測(cè)量方法：晶圓在未緊貼狀態(tài)下，通常以晶圓背面為參考平面，測(cè)量的晶圓表面距離參考平面的最小值和最大值之間的偏差。偏差同樣包括凹形和凸形的情況。

重要性：BOW是衡量晶圓制造質(zhì)量和可靠性的重要參數(shù)，較低的BOW值通常意味著晶圓表面更清潔、更平整，加工過(guò)程中的瑕疵更少，這有助于提高芯片的良品率，降低生產(chǎn)成本。

WARP（翹曲度）

定義：晶圓的扭曲度，與BOW類(lèi)似，但WARP通常是指晶圓表面整體的不規(guī)則扭曲或變形，而不是局部的彎曲。

測(cè)量方法：晶圓在夾緊緊貼情況下，以晶圓表面合格質(zhì)量區(qū)內(nèi)或規(guī)定的局部區(qū)域內(nèi)的所有的點(diǎn)的截距之和最小的面為參考平面，測(cè)量晶圓表面與參考平面最大距離和最小距離的偏差值。

重要性：WARP是衡量晶圓整體平整度的關(guān)鍵指標(biāo)，對(duì)后續(xù)的光刻、刻蝕等工藝有重要影響。

TIR（Total Indicated Reading，總指示讀數(shù)）

定義：通常用于描述晶圓或其他表面的平面度或平整度，即表面的全局平坦度。

測(cè)量方法：需要使用專(zhuān)業(yè)的測(cè)量?jī)x器，如激光干涉儀等。測(cè)量時(shí)，將晶圓夾緊在測(cè)量?jī)x器上，然后測(cè)量晶圓表面與參考平面的距離差。

重要性：TIR是半導(dǎo)體制造中非常重要的指標(biāo)之一，因?yàn)榫A表面的平整度直接影響到芯片的性能和可靠性。通過(guò)測(cè)量TIR，可以確保晶圓表面的平整度符合要求，從而保證芯片的性能和可靠性。

高通量晶圓測(cè)厚系統(tǒng)

高通量晶圓測(cè)厚系統(tǒng)以光學(xué)相干層析成像原理，可解決晶圓/晶片厚度TTV（Total Thickness Variation，總厚度偏差）、BOW（彎曲度）、WARP（翹曲度），TIR（Total Indicated Reading 總指示讀數(shù)，STIR（Site Total Indicated Reading 局部總指示讀數(shù)），LTV（Local Thickness Variation 局部厚度偏差）等這類(lèi)技術(shù)指標(biāo)。

高通量晶圓測(cè)厚系統(tǒng)，全新采用的第三代可調(diào)諧掃頻激光技術(shù)，傳統(tǒng)上下雙探頭對(duì)射掃描方式，可兼容2英寸到12英寸方片和圓片，一次性測(cè)量所有平面度及厚度參數(shù)。

1,靈活適用更復(fù)雜的材料，從輕摻到重?fù)?P 型硅 (P++)，碳化硅，藍(lán)寶石，玻璃，鈮酸鋰等晶圓材料。

重?fù)叫凸瑁◤?qiáng)吸收晶圓的前后表面探測(cè)）

粗糙的晶圓表面，（點(diǎn)掃描的第三代掃頻激光，相比靠光譜探測(cè)方案，不易受到光譜中相鄰單位的串?dāng)_噪聲影響，因而對(duì)測(cè)量粗糙表面晶圓）

低反射的碳化硅(SiC)和鈮酸鋰(LiNbO3)；（通過(guò)對(duì)偏振效應(yīng)的補(bǔ)償，加強(qiáng)對(duì)低反射晶圓表面測(cè)量的信噪比）

絕緣體上硅（SOI)和MEMS，可同時(shí)測(cè)量多層結(jié)構(gòu)，厚度可從μm級(jí)到數(shù)百μm 級(jí)不等。

可用于測(cè)量各類(lèi)薄膜厚度，厚度最薄可低至4μm ，精度可達(dá)1nm。

1，可調(diào)諧掃頻激光的“溫漂”處理能力，體現(xiàn)在極端工作環(huán)境中抗干擾能力強(qiáng)，一改過(guò)去傳統(tǒng)晶圓測(cè)量對(duì)于“主動(dòng)式減震平臺(tái)”的重度依賴，成本顯著降低。

2，靈活的運(yùn)動(dòng)控制方式，可兼容2英寸到12英寸方片和圓片測(cè)量。

綜上所述，TTV、BOW、WARP、TIR這四個(gè)參數(shù)在晶圓制造和加工過(guò)程中起著至關(guān)重要的作用，它們共同構(gòu)成了評(píng)估晶圓質(zhì)量和加工精度的重要標(biāo)準(zhǔn)。