0
  • 聊天消息
  • 系統(tǒng)消息
  • 評論與回復(fù)
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學(xué)習(xí)在線課程
  • 觀看技術(shù)視頻
  • 寫文章/發(fā)帖/加入社區(qū)
會(huì)員中心
电子发烧友
开通电子发烧友VIP会员 尊享10大特权
海量资料免费下载
精品直播免费看
优质内容免费畅学
课程9折专享价
創(chuàng)作中心

完善資料讓更多小伙伴認(rèn)識(shí)你,還能領(lǐng)取20積分哦,立即完善>

3天內(nèi)不再提示

多晶氧化物中的晶界和異質(zhì)界面概念、形成機(jī)理以及如何表征

中科院半導(dǎo)體所 ? 來源:老千和他的朋友們 ? 2024-12-06 16:31 ? 次閱讀

本文介紹了多晶氧化物中的晶界和異質(zhì)界面的概念、形成機(jī)理以及如何表征。

固-固界面是材料科學(xué)領(lǐng)域的核心研究對象,這些界面不僅存在于多晶體材料中,還廣泛分布于各類薄膜結(jié)構(gòu)中。由于界面處存在原子尺度的結(jié)構(gòu)差異、成分變化以及獨(dú)特的化學(xué)和電子特性,它們顯著影響著材料的綜合性能,包括機(jī)械、光學(xué)、熱學(xué)、磁學(xué)、電學(xué)及電化學(xué)特性。

在陶瓷材料,尤其是氧化物材料中,晶界效應(yīng)尤為突出。傳統(tǒng)上,通過高溫處理來減少晶界數(shù)量的方法往往需要在1000°C以上進(jìn)行,這不僅造成巨大的能源消耗和經(jīng)濟(jì)成本,還可能導(dǎo)致器件損壞。因此,深入理解界面行為規(guī)律對于優(yōu)化陶瓷材料在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的性能具有重要意義。

隨著納米技術(shù)的發(fā)展,界面效應(yīng)在納米晶陶瓷中表現(xiàn)得更為明顯,這是由于納米材料具有更高的界面體積分?jǐn)?shù)。然而,要準(zhǔn)確表征這些納米尺度的界面特征仍面臨著巨大挑戰(zhàn),需要依賴先進(jìn)的高分辨分析技術(shù)。

1 界面類型

1.1晶界Grain Boundary

界面是分隔兩個(gè)相或物質(zhì)區(qū)域的平面特征,可能具有與兩側(cè)“本體”材料不同的性質(zhì)。本文討論晶態(tài)陶瓷,特別是金屬氧化物(無論是單相還是多相形式)之間的界面。在這種情況下,晶界(GB)是兩個(gè)相具有相同材料(即相同化學(xué)計(jì)量比和晶體結(jié)構(gòu))的界面。晶界的研究至少可以追溯到20世紀(jì)40年代,Burgers將其描述為“過渡表面”——現(xiàn)在我們稱之為位錯(cuò)陣列(圖1)。

圖1. 由一組平行的刃型位錯(cuò)線組成的兩個(gè)區(qū)域之間的過渡表面示意圖,所有位錯(cuò)都位于x=0平面。Burgers, J.M. Geometrical considerations concerning the structural irregularities to be assumed in a crystal. Proc. Phys. Soc. 1940

1.2 異質(zhì)界面 Heterogeneous Interface

異質(zhì)界面(Heterogeneous Interface, HI)是材料科學(xué)中一個(gè)重要的研究課題,它代表了不同結(jié)構(gòu)或化學(xué)成分的相之間的交界區(qū)域。

異質(zhì)界面結(jié)構(gòu)的復(fù)雜性體現(xiàn)在其獨(dú)特的二維和三維特征上。從結(jié)構(gòu)角度來看,異質(zhì)界面具有明顯的層次性。其核心區(qū)域呈現(xiàn)出近似二維的特征,厚度大約為一個(gè)單位晶胞,這個(gè)區(qū)域內(nèi)的原子排列方式與相鄰晶體存在顯著差異。這種結(jié)構(gòu)上的不連續(xù)性是異質(zhì)界面最基本的特征之一。

在核心區(qū)域之外,存在著一個(gè)更為廣泛的空間電荷區(qū)。這個(gè)區(qū)域具有三維特性,可向晶體內(nèi)部延伸數(shù)納米。其特征主要取決于點(diǎn)缺陷的分布情況,形成了一個(gè)化學(xué)組分逐漸過渡的區(qū)域。這種梯度變化的特性對材料的整體性能有著重要影響。

圖2. 包含單相和多相多晶氧化物中晶界和異質(zhì)界面(a)相同材料(晶界)和(b)不同材料(異質(zhì)界面)在原子尺度下的界面示意圖;紅色和藍(lán)色的晶粒表示具有不同化學(xué)成分和晶體結(jié)構(gòu)的不同材料。(c)多晶Gd/Pr共摻雜CeO2中晶界的明場TEM照片;(d)多晶多相氧化物MgAl2O4、YSZ和Al2O3中異質(zhì)界面和晶界的明場TEM照片。Electrical conductivity, and grain boundary composition of Gd-doped and Gd/Pr co-doped ceria 2014Correlations of grain boundary segregation to sintering techniques in a three-phase ceramic. Materialia 2020

1.3 相干/非相干界面Coherent/Incoherent Interface

當(dāng)兩個(gè)固體具有相同或非常相似的晶體結(jié)構(gòu)時(shí),原子柱將沿界面平面連續(xù)。在這種情況下,界面將具有最小可能的應(yīng)變,稱為相干界面。如果與相干界面相關(guān)的錯(cuò)配應(yīng)變足夠高,特別是在存在大的原子錯(cuò)配的情況下,系統(tǒng)的總能量會(huì)增加,直到表面被能量上更有利的半相干界面取代,其中過剩能量通過產(chǎn)生錯(cuò)配位錯(cuò)得到補(bǔ)償。

相干界面與晶界的區(qū)別

晶界是多晶體中不同晶粒之間的邊界。晶粒的晶體結(jié)構(gòu)相同,但取向不同。在孿晶或小角度晶界的情況下,晶界處原子排列有一定的規(guī)律,相鄰晶粒之間存在位向差,通過位錯(cuò)網(wǎng)絡(luò)來協(xié)調(diào)這種差異,這和相干界面有相似之處。然而,當(dāng)晶界是大角度晶界時(shí),原子排列的錯(cuò)亂程度較高,和相干界面有較大差異。

相干界面強(qiáng)不一定是不同晶粒之間的邊界,也可能是在薄膜-襯底等特殊結(jié)構(gòu)中的界面。例如,在分子束外延生長的半導(dǎo)體薄膜與襯底之間,GaAs/AlAs異質(zhì)界面,當(dāng)薄膜和襯底的晶格匹配良好時(shí)(失配度<1%),形成的是相干界面,這不是傳統(tǒng)意義上的晶界。

當(dāng)界面兩側(cè)的原子結(jié)構(gòu)完全不同時(shí),界面處不可能存在連續(xù)晶格。即使原子結(jié)構(gòu)匹配,原子間距可能相差約25%或更多。在這兩種情況下,界面都稱為非相干界面。Surfaces, grain boundaries and interfaces. In Modern Physical Metallurgy

非相干界面與異質(zhì)界面的區(qū)別

異質(zhì)界面可以是相干的,也可以是非相干的。非相干界面?zhèn)戎赜诿枋鼋缑鎯蓚?cè)原子排列沒有明顯匹配關(guān)系,原子點(diǎn)陣在跨越界面時(shí)不連續(xù)的情況。比如,當(dāng)把金屬和陶瓷結(jié)合在一起時(shí),由于它們的晶體結(jié)構(gòu)和原子排列差異很大,形成的界面通常是非相干界面,同理,Si/SiO2界面:晶體硅和非晶氧化硅之間,原子排列完全不連續(xù),也屬于非相干界面。但如果兩種材料有相似的原子排列和結(jié)構(gòu),即使是異質(zhì)材料,也可能形成相干界面。

判斷一個(gè)界面是相干還是非相干,關(guān)鍵的判斷標(biāo)準(zhǔn)是:1晶格失配度,2原子排列的連續(xù)性和規(guī)律性,3界面處的結(jié)構(gòu)關(guān)系。不是看是否同種材料(晶界),而是看界面處原子排列的對應(yīng)關(guān)系。

1.4 晶界特征

晶界作為多晶材料中的重要界面結(jié)構(gòu),其幾何特征的準(zhǔn)確描述對理解材料性能具有重要意義。從晶體學(xué)角度來看,完整描述晶界結(jié)構(gòu)需要考慮宏觀和微觀兩個(gè)層面的自由度。

在宏觀層面,晶界具有五個(gè)自由度。其中三個(gè)自由度用于描述相鄰晶粒間的相對取向關(guān)系:包括旋轉(zhuǎn)軸的兩個(gè)方向分量以及繞該軸的旋轉(zhuǎn)角度。另外兩個(gè)自由度則用于確定晶界面的空間取向,即界面法線的方向。這些宏觀特征可以通過晶界特征分布函數(shù)λ(Δg,n)來統(tǒng)計(jì)描述,其中Δg表示取向差,n代表晶界平面法線方向。

在微觀層面,還需要考慮三個(gè)額外的自由度,這些自由度與晶粒在界面處的相對位移有關(guān)。具體包括兩個(gè)平行于界面的平移分量和一個(gè)垂直于界面的平移分量。這些微觀自由度對晶界的原子結(jié)構(gòu)和能量狀態(tài)起著決定性作用。

綜上所述,完整描述晶界結(jié)構(gòu)需要總計(jì)八個(gè)自由度,這種多維度的描述方法為深入理解晶界結(jié)構(gòu)與材料性能的關(guān)系提供了重要基礎(chǔ)。

晶界能和性質(zhì)取決于這些自由度,通過晶界工程和設(shè)計(jì)將晶界能/性質(zhì)與自由度聯(lián)系起來至關(guān)重要。晶界可以根據(jù)晶界是否為鏡面平面分為對稱和非對稱晶界(圖3a,b)。傾斜、扭轉(zhuǎn)和混合晶界取決于旋轉(zhuǎn)軸與晶界平面之間的相對位置。例如,傾斜晶界的旋轉(zhuǎn)軸垂直于晶界平面(圖3a,b),而扭轉(zhuǎn)晶界的旋轉(zhuǎn)軸平行于晶界平面(圖3d)?;旌暇Ы绲男D(zhuǎn)軸既不垂直也不平行于晶界平面(圖3c),但通常可以分解為幾個(gè)對稱特殊晶界進(jìn)行分析,如對稱扭轉(zhuǎn)界面。

多晶材料包含具有廣泛晶體學(xué)取向和特征的晶粒。研究人員已合成并研究了孿晶,以以手動(dòng)改變晶界特征并研究其對性能的影響。

備注:孿晶界屬于特殊的晶界類型,可看作是小角度晶界的一種特殊情況,也可以歸類為相干晶界。

圖3. 宏觀晶界幾何示意圖 (a)對稱傾斜晶界(STGB); (b)非對稱傾斜晶界(ATGB); (c)混合晶界(MGB); (d)扭轉(zhuǎn)晶界(孿晶界); (e)(b)的小面結(jié)構(gòu); (f)(c)的小面結(jié)構(gòu)。Han, J.; Thomas, S.L.; Srolovitz, D.J. Grain-Boundary Kinetics: A Unified Approach. Prog. Mater. Sci. 2018

1.5 小角晶界

晶界是根據(jù)相鄰兩個(gè)晶粒的取向來分類的。兩個(gè)晶粒通過旋轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)角相互關(guān)聯(lián),并在一個(gè)平面上相遇。當(dāng)取向差角小于10-15°時(shí),該晶界被稱為小角晶界。傾斜和扭轉(zhuǎn)晶界屬于這一類,而大多數(shù)實(shí)際晶界是傾斜和扭轉(zhuǎn)的混合類型。

1.6 大角晶界

大角晶界的取向差角大于10-15°。與小角晶界相比,它們的結(jié)構(gòu)更加無序和開放。它們通常出現(xiàn)在含有兩種或多種離子的陶瓷材料中,導(dǎo)致氧亞晶格上的完全位錯(cuò)以及陰離子亞晶格上的堆垛層錯(cuò)。

堆垛層錯(cuò)(Stacking Fault)

堆垛層錯(cuò)是一種常見的面缺陷,例如在密排面上,原子的正常堆垛順序被打亂形成的缺陷。最常見于面心立方(FCC)和六方密堆(HCP)結(jié)構(gòu)。

例如:FCC結(jié)構(gòu)正常堆垛序列是ABCABC.。.

如果變成ABCABABC.。. (刪除一層),形成內(nèi)稟層錯(cuò)

如果變成ABCABCBABC.。. (插入一層),形成外稟層錯(cuò)

HCP結(jié)構(gòu)正常堆垛序列是ABABAB.。.

如果出現(xiàn)ABABCAB.。.,就形成了層錯(cuò)

堆垛層錯(cuò)可能會(huì)影響位錯(cuò)運(yùn)動(dòng),改變材料的局部結(jié)構(gòu),影響材料的力學(xué)性能。

堆垛層錯(cuò)形成原因

塑性變形過程中,比如,在金屬的冷軋過程中,位錯(cuò)的滑移和交互作用可能會(huì)使原子層的堆垛順序發(fā)生改變。材料生長過程,例如在溶液法生長晶體時(shí),如果溶液的濃度或者溫度在局部區(qū)域發(fā)生變化,新生長的原子層可能無法按照正常的順序堆積,從而產(chǎn)生堆垛層錯(cuò)。相變過程中,例如馬氏體相變,剪切變形導(dǎo)致。

1.7 特殊晶界、孿晶界和共格點(diǎn)晶格(Coincident Site Lattice,CSL)晶界

在材料科學(xué)領(lǐng)域中,特殊晶界因其獨(dú)特的結(jié)構(gòu)特征和性質(zhì)而得名,在晶界工程應(yīng)用中具有重要意義。其中,共格點(diǎn)晶格(CSL)是最具代表性的特殊晶界類型之一。

CSL晶界的形成源于相鄰晶粒間的特定取向關(guān)系。當(dāng)兩個(gè)晶粒以特定角度相對排列時(shí),會(huì)出現(xiàn)部分原子位置重合的現(xiàn)象,形成規(guī)則的周期性結(jié)構(gòu)。這種結(jié)構(gòu)的特征可以通過∑值來量化描述,∑值代表了兩個(gè)晶格結(jié)構(gòu)的匹配程度。值得注意的是,∑值越小,表明晶界的對稱性越高,結(jié)構(gòu)越規(guī)整。

在眾多CSL晶界中,相干孿晶界尤為特殊。這種晶界呈現(xiàn)出完美的鏡像對稱結(jié)構(gòu),是晶界工程中的理想研究對象。Coincidence-site-lattice twist boundaries in bicrystalline α-Fe2O3 nanoblades. J. Phys. Chem. C 2014

孿晶是材料科學(xué)領(lǐng)域中一種獨(dú)特的晶體結(jié)構(gòu)形式,它由兩個(gè)具有特定取向關(guān)系的單晶通過界面連接而成。這種結(jié)構(gòu)的特殊性在于其界面具有可控性和規(guī)則性,使其成為研究晶界特性的理想模型系統(tǒng)。

在材料研究中,孿晶的重要性主要體現(xiàn)在兩個(gè)方面。首先,由于商業(yè)化單晶的廣泛可得性,研究人員可以相對容易地制備具有預(yù)定界面結(jié)構(gòu)的孿晶樣品。其次,孿晶提供了研究特定晶界性質(zhì)的簡化模型,特別是在研究CSL晶界時(shí),可以在原子尺度上深入分析界面結(jié)構(gòu)與材料性能之間的關(guān)聯(lián)。

然而,需要注意的是,孿晶作為研究模型存在一定局限性。在實(shí)際的多晶材料中,晶粒取向呈現(xiàn)多樣性,晶界結(jié)構(gòu)遠(yuǎn)比孿晶中的界面復(fù)雜。因此,雖然孿晶研究能夠提供重要的科學(xué)認(rèn)識(shí),但其結(jié)論在推廣到多晶材料時(shí)需要謹(jǐn)慎對待。

1.8 晶界相態(tài)(GB Complexions)

晶界相態(tài)是一種特殊的準(zhǔn)二維狀態(tài),主要存在于材料的界面和表面區(qū)域。晶界相態(tài)也可以理解為晶界的熱力學(xué)狀態(tài),類似于材料的相變。晶界可以發(fā)生類似體相的相變現(xiàn)象,存在臨界溫度和轉(zhuǎn)變過程,具備有序-無序轉(zhuǎn)變特,比如低溫原子有序排列,高溫原子無序排列。

從結(jié)構(gòu)特征來看,晶界相態(tài)可以分為多個(gè)不同類型。最基本的是清潔或未摻雜晶界,這種狀態(tài)下的晶界不含有其他元素的富集。隨著其他原子的引入,可以形成不同程度的偏析結(jié)構(gòu),從亞單層到多層不等。其中,亞單層偏析是最簡單的偏析形式,而雙層和多層偏析則展現(xiàn)出更復(fù)雜的結(jié)構(gòu)特征。

在更大尺度上,還可以觀察到納米級(jí)晶界膜和潤濕膜的形成。這些結(jié)構(gòu)往往具有獨(dú)特的性質(zhì)和功能,能顯著影響材料的整體性能。納米級(jí)晶界膜通常具有確定的厚度和組成,而潤濕膜則可能表現(xiàn)出更加動(dòng)態(tài)的特征。

Dillon, S.J.; Tang, M.; Carter, W.C.; Harmer, M.P. Complexion: A new concept for kinetic engineering in materials science. Acta Mater. 2007

2 多晶氧化物中的晶界和異質(zhì)界面是如何形成的?

晶界的形成與材料科學(xué)中的熱力學(xué)和動(dòng)力學(xué)過程密切相關(guān)。從熱力學(xué)角度來看,晶界的形成必然導(dǎo)致吉布斯自由能的增加,這似乎與系統(tǒng)追求最低能量狀態(tài)的趨勢相悖。然而,由于動(dòng)力學(xué)和幾何因素的限制,完全消除晶界的理想狀態(tài)在實(shí)際中難以實(shí)現(xiàn),因此在研究中常常采用局部平衡的概念。

晶界和異質(zhì)界面的形成可以通過多種途徑實(shí)現(xiàn)。(i)多晶陶瓷燒結(jié)產(chǎn)生晶界和異質(zhì)界面;界面在致密化和晶粒生長過程中的相對穩(wěn)定性決定了可能形成哪些晶界。(ii)相變、反應(yīng)和腐蝕可能導(dǎo)致異質(zhì)界面的形成。(iii)涂層工藝,即在基材表面施加一種材料以形成厚層(》1μm)或薄膜(《1μm),在材料之間形成異質(zhì)界面。(iv)厚層涂層工藝通常涉及漿料(液體中懸浮的陶瓷前驅(qū)體顆粒),并包括燒結(jié)步驟,通過(i)在涂層材料中形成晶界/異質(zhì)界面。

值得注意的是,雖然涂層技術(shù)產(chǎn)生的基材-涂層異質(zhì)界面研究頗豐,但這主要集中在氧化物薄膜和半導(dǎo)體器件領(lǐng)域。在薄膜中——通過濺射、分子束外延或脈沖激光沉積(PLD)等方法制備,晶界/異質(zhì)界面可能在生長過程中根據(jù)生長條件在薄膜內(nèi)形成。相比之下,通過燒結(jié)、相變和厚層涂層工藝形成的多晶氧化物中的晶界特性,仍然是一個(gè)值得深入探討的研究課題。

這些不同的形成機(jī)制及其產(chǎn)生的界面特性,對材料的最終性能具有重要影響,因此理解和控制晶界的形成過程對材料科學(xué)的發(fā)展具有重要意義。

3 如何表征晶界和異質(zhì)界面?

在材料科學(xué)領(lǐng)域中,晶界和異質(zhì)界面的表征一直是一個(gè)具有挑戰(zhàn)性的研究課題。這些界面的研究需要同時(shí)滿足納米尺度的精確觀測和統(tǒng)計(jì)學(xué)意義上的大量采樣兩個(gè)看似矛盾的要求。

目前,科研人員主要依靠透射電鏡(TEM)、原子探針斷層掃描(APT)等高精度儀器進(jìn)行單個(gè)界面的表征工作。這些先進(jìn)技術(shù)能夠提供原子級(jí)別的分辨率,使我們得以深入了解界面的結(jié)構(gòu)特征和化學(xué)組成。同時(shí),X射線光電子能譜(XPS)、電化學(xué)應(yīng)變顯微鏡(ESM)、掃描隧道顯微鏡(STM)、原子力顯微鏡(AFM)技術(shù)也為界面研究提供了不同維度的信息。

然而,這些表征方法都面臨著一個(gè)共同的局限:在保證高空間分辨率的同時(shí),難以在合理的時(shí)間周期內(nèi)完成大量樣本的分析。這種權(quán)衡制約了我們對界面行為的全面認(rèn)識(shí)。為了推進(jìn)該領(lǐng)域的發(fā)展,開發(fā)能夠同時(shí)兼顧精度和效率的新型表征技術(shù)顯得尤為重要。

在這些技術(shù)中,電鏡技術(shù)幾十年來在界面表征方面做出了重要貢獻(xiàn)。例如,TEM相襯成像是識(shí)別影響氧離子導(dǎo)電性的晶界非晶相的關(guān)鍵。球差校正STEM的環(huán)形明場(ABF)成像被用來直接觀察氧和氧空位。這些信息有助于闡明驅(qū)動(dòng)晶界/異質(zhì)界面缺陷化學(xué)的潛在機(jī)制,為未來建模晶界及其性質(zhì)鋪平道路。

除了電鏡,APT由于其足夠的空間分辨率和化學(xué)敏感性,對于定量探測晶界/異質(zhì)界面也很有用。APT是場離子顯微鏡和質(zhì)譜儀的結(jié)合,能夠在納米尺度上準(zhǔn)確重建樣品的三維形貌和化學(xué)成分。APT的檢測效率(即檢測到的信號(hào)與產(chǎn)生的信號(hào)的比率)約為30-80%,這在其他技術(shù)中是合理的(STEM-EELS在低計(jì)數(shù)率下最高可達(dá)80%,STEM-EDXS低于1%)。

APT技術(shù)已被用于測量氧化物晶界中缺陷的偏析,以及了解電荷密度和靜電勢。這種技術(shù)在包括氧化物在內(nèi)的陶瓷材料中特別有益,這是由于高電場下的表面能帶彎曲和/或表面缺陷的組合,使表面電荷積累成為可能,較低能量的光子可以被吸收。然而,數(shù)據(jù)重建可能是一個(gè)限制因素,因?yàn)樗赡墚a(chǎn)生偽影。

APT已與STEM成像和光譜技術(shù)結(jié)合,為理解Hf和La摻雜氧化鋁以及Y摻雜氧化鈰中的晶界結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分提供了互補(bǔ)的認(rèn)識(shí)。就像S/TEM一樣,獲得可靠的APT結(jié)果需要對樣品進(jìn)行廣泛的優(yōu)化。在Diercks等人的工作中,使用APT觀察到10%和30%Nb摻雜氧化鈰(NDC10和NDC30)中的晶界偏析。

APT本質(zhì)上是一種破壞性方法,如圖4a所示的APT前后TEM圖疊加圖所示。圖4b顯示了Nd%圖,為清晰起見,顯示了Nd離子的分?jǐn)?shù)。在晶界處與晶粒本體相比,Nd濃度明顯增加。圖4c顯示與圖4b相同的體積,但突出顯示了含氧量至少為66原子%的區(qū)域(這些區(qū)域的邊界被稱為等濃度表面)。該圖說明了晶界處化學(xué)成分的變化,這次顯示氧濃度明顯降低。

圖4. (a)原子探針NDC10樣品在原子探針分析前后的TEM圖像疊加。在分析前的圖像中可以觀察到晶界。分析后的圖像表明原子探針分析包含了整個(gè)晶界區(qū)域。原子探針數(shù)據(jù)重建顯示(b) Nd,和(c) 66%氧等濃度表面。Three-dimensional quantification of composition and electrostatic potential at individual grain boundaries in doped ceria. J. Mater. Chem. A 2016

圖5中展示了元素的定量三維分布圖以及Nd、Al和Si在晶界處的偏析與O的耗竭。這些信息被用于對界面建模,并與電化學(xué)阻抗譜數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián),得出晶界處的三維電勢。在30% Nb時(shí),三維電勢的局部間隙表明存在通過晶界勢壘的傳導(dǎo)通道。

圖5. (a)顯示Nd離子的Nd0.30Ce0.70O2 (NCD30)原子探針數(shù)據(jù)重建,以及圍繞晶界提取用于進(jìn)一步分析的三維感興趣區(qū)域。(b)從所示感興趣區(qū)域獲得的各物種原子百分比濃度的二維投影。晶界在氧缺陷和Nd富集處特別明顯。在晶界處還有Al和Si富集的證據(jù)。Three-dimensional quantification of composition and electrostatic potential at individual grain boundaries in doped ceria. J. Mater. Chem. A 2016

多晶氧化物中的晶界也已使用XPS這一廣泛使用的表面分析方法進(jìn)行了研究。研究人員使用XPS分析鎂摻雜氧化鋁的斷裂表面以評估Mg的晶界偏析。圖6顯示了晶界處及其附近Mg和Ca的濃度。雖然與Ca相比,Mg在體相中具有更高的濃度,但Ca在晶界處的偏析更為顯著。

圖6. (a)Mg和Ca濃度(原子%)隨晶界距離(nm)的變化,(b)電化學(xué)應(yīng)變顯微鏡(EMS)檢測多晶釤摻雜氧化鈰中的空間電荷。±3V擾動(dòng)的ESM響應(yīng)幅度圖,顯示晶界處響應(yīng)增強(qiáng)。Taylor, R.I.; Coad, J.P.; Brook, R.J. Grain Boundary Segregation in Al2O3. J. Am. Ceram. Soc. 1974Gregori, G.; Merkle, R.; Maier, J. Ion conduction and redistribution at grain boundaries in oxide systems. Prog. Mater. Sci. 2017

掃描探針技術(shù)如ESM和AFM測量多晶氧化物表面形貌的局部變化,已被證明對量化晶界能和映射功能性質(zhì)很有用。晶界能在偏析現(xiàn)象中起重要作用。晶界偏析通常發(fā)生以降低晶界能。實(shí)驗(yàn)和模擬研究都表明晶界能會(huì)隨溫度變化并對微觀結(jié)構(gòu)發(fā)展有強(qiáng)烈影響。

AFM是一種可測量相對晶界能(?GB/?S)的常用掃描探針技術(shù)。當(dāng)固體表面被拋光和蝕刻時(shí),由于晶界附近材料的優(yōu)先去除,界面會(huì)顯現(xiàn)出來。然后可以通過AFM表征蝕刻形成的溝槽幾何形狀來測量平均晶界能。已經(jīng)對單相氧化物進(jìn)行了許多晶界能測量研究。Rohrer, G.S. Grain boundary energy anisotropy: A review. J. Mater. Sci. 2011Munoz, N.E.; Gilliss, S.R.; Carter, C.B. Remnant grooves on alumina surfaces. Surf. Sci. 2004


聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報(bào)投訴
  • 納米
    +關(guān)注

    關(guān)注

    2

    文章

    704

    瀏覽量

    37810
  • 氧化物
    +關(guān)注

    關(guān)注

    0

    文章

    23

    瀏覽量

    8221

原文標(biāo)題:多晶氧化物中的晶界和異質(zhì)界面

文章出處:【微信號(hào):bdtdsj,微信公眾號(hào):中科院半導(dǎo)體所】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

收藏 人收藏

    評論

    相關(guān)推薦

    芯片制造多晶硅介紹

    多晶硅(Polycrystalline Silicon,簡稱Poly)是由無數(shù)微小硅晶粒組成的非單晶硅材料。與單晶硅(如硅襯底)不同,多晶硅的晶粒尺寸通常在幾十到幾百納米之間,晶粒間存在
    的頭像 發(fā)表于 04-08 15:53 ?351次閱讀
    芯片制造<b class='flag-5'>中</b>的<b class='flag-5'>多晶</b>硅介紹

    關(guān)于超寬禁帶氧化異質(zhì)結(jié)的新研究

    (Ga2O3)異質(zhì)結(jié)(Phase Heterojunction)的新研究發(fā)表在《Advanced Materials》上。 論文第一作者為陸義博士 。文章首次在實(shí)驗(yàn)展示了β相和κ相Ga2O3之間
    的頭像 發(fā)表于 01-22 14:12 ?338次閱讀
    關(guān)于超寬禁帶<b class='flag-5'>氧化</b>鎵<b class='flag-5'>晶</b>相<b class='flag-5'>異質(zhì)</b>結(jié)的新研究

    蘋果著手開發(fā)新款MacBook Air,將采用氧化物TFT LCD

    近日,據(jù)知情人士透露,蘋果已悄然啟動(dòng)了一項(xiàng)新項(xiàng)目,旨在為其MacBook Air系列開發(fā)配備氧化物薄膜晶體管(TFT)液晶顯示屏(LCD)的新款筆記本。自2024年底以來,蘋果一直在與零部件制造商
    的頭像 發(fā)表于 01-21 14:09 ?351次閱讀

    深入剖析半導(dǎo)體濕法刻蝕過程殘留形成機(jī)理

    半導(dǎo)體濕法刻蝕過程殘留形成,其背后的機(jī)制涵蓋了化學(xué)反應(yīng)、表面交互作用以及側(cè)壁防護(hù)等多個(gè)層面,下面是對這些機(jī)制的深入剖析: 化學(xué)反應(yīng)層面 1 刻蝕劑與半導(dǎo)體材料的交互:濕法刻蝕技術(shù)
    的頭像 發(fā)表于 01-08 16:57 ?678次閱讀

    基于高熵工程策略的新型P2型錳基層狀氧化物正極材料

    、減輕應(yīng)力集中和加速Na?傳輸動(dòng)力學(xué)。這種創(chuàng)新方法顯著提升了結(jié)構(gòu)完整性,減少了內(nèi)裂紋的形成,使得HE-NMCO在100個(gè)深度循環(huán)(充/放電)后仍能保持93.5%的容量,并展現(xiàn)出在
    的頭像 發(fā)表于 12-31 11:27 ?601次閱讀
    基于高熵工程策略的新型P2型錳基層狀<b class='flag-5'>氧化物</b>正極材料

    金屬氧化物和柔性石墨烯MOS的區(qū)別

    半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(MOSFET)的基礎(chǔ)材料,但它們在材料特性、性能、制造工藝以及應(yīng)用領(lǐng)域上存在顯著差異。這里對金屬氧化物和柔性石墨烯MOS的主要區(qū)別做以下分享:1.
    的頭像 發(fā)表于 12-19 15:23 ?836次閱讀
    金屬<b class='flag-5'>氧化物</b>和柔性石墨烯MOS的區(qū)別

    有什么方法可以去除圓鍵合邊緣缺陷?

    )的氧化物薄膜。 對氧化物薄膜進(jìn)行致密化工藝。 對經(jīng)致密化工藝后的氧化物薄膜進(jìn)行平坦化工藝,確保平坦化的研磨量和氧化物薄膜的剩余量滿足一定條件(如平坦化的研磨量大于0.9
    的頭像 發(fā)表于 12-04 11:30 ?548次閱讀
    有什么方法可以去除<b class='flag-5'>晶</b>圓鍵合邊緣缺陷?

    使用Keithley 4200-SCS半導(dǎo)體表征系統(tǒng)進(jìn)行氧化物可靠性測試

    for wafer-level Testing of Thin Dielectrics) 描述了通常用于監(jiān)測氧化物完整性的兩種圓級(jí)測試技術(shù):電壓斜坡 (V-Ramp)和電流斜坡 (J-Ramp )。這兩種技術(shù)都為氧化物評估提
    的頭像 發(fā)表于 11-18 10:22 ?936次閱讀
    使用Keithley 4200-SCS半導(dǎo)體<b class='flag-5'>表征</b>系統(tǒng)進(jìn)行<b class='flag-5'>氧化物</b>可靠性測試

    Salicide工藝的制造流程

    Salicide 工藝是指在沒有氧化物覆蓋的襯底硅和多晶硅上形成金屬硅化物,從而得到低阻的有源區(qū)和多晶硅。
    的頭像 發(fā)表于 11-11 09:20 ?1016次閱讀
    Salicide工藝的制造流程

    振焊盤氧化該怎么辦

    在焊接過程振焊盤的氧化會(huì)影響焊接質(zhì)量,可能導(dǎo)致焊接不良或虛焊等問題。?KOAN凱擎小妹將介紹振焊盤氧化的處理方法
    的頭像 發(fā)表于 09-06 11:13 ?618次閱讀

    金屬化薄膜電容氧化時(shí)方阻會(huì)變大嗎

    導(dǎo)致電容器的方阻增大。 具體來說,氧化物膜的電阻通常比金屬本身的電阻大幾個(gè)數(shù)量級(jí),這意味著當(dāng)氧化物形成或增厚時(shí),電容器的表面電阻會(huì)顯著增加。這可能會(huì)影響電容器在電路的性能,特別是在
    的頭像 發(fā)表于 08-05 14:13 ?894次閱讀

    多晶硅柵耗盡效應(yīng)簡述

    當(dāng)柵與襯底之間存在壓差時(shí),它們之間存在電場,靜電邊界條件使多晶硅靠近氧化界面附近的能帶發(fā)生彎曲,并且電荷耗盡,從而形成多晶硅柵耗盡區(qū)。該耗
    的頭像 發(fā)表于 08-02 09:14 ?4524次閱讀
    <b class='flag-5'>多晶</b>硅柵耗盡效應(yīng)簡述

    氧化物布局格局一覽 氧化物電解質(zhì)何以撐起全固態(tài)?

    今年以來,各式各樣的半固態(tài)、全固態(tài)電池開始愈發(fā)頻繁且高調(diào)地現(xiàn)身,而背后均有氧化物電解質(zhì)的身影。
    的頭像 發(fā)表于 05-16 17:41 ?1487次閱讀

    金屬氧化物異質(zhì)結(jié)光電探測器研究進(jìn)展綜述

    金屬氧化物(MO)因其具有易于制備、高穩(wěn)定性、對載流子的選擇性傳輸?shù)葍?yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于光電探測領(lǐng)域。
    的頭像 發(fā)表于 05-13 09:09 ?1634次閱讀
    金屬<b class='flag-5'>氧化物</b><b class='flag-5'>異質(zhì)</b>結(jié)光電探測器研究進(jìn)展綜述

    研究人員開發(fā)出高性能p型非氧化物半導(dǎo)體

    和 107 的開/關(guān)電流比,與早期 n 型氧化物薄膜晶體管的關(guān)鍵電氣屬性非常相似。此外,薄膜晶體管在長時(shí)間偏置應(yīng)力下表現(xiàn)出顯著的穩(wěn)定性以及大面積薄膜的均勻性。 圖源:浦項(xiàng)工科大學(xué) 研究人員合作開發(fā)了碲硒復(fù)合氧化物半導(dǎo)體材料。他們
    的頭像 發(fā)表于 04-30 14:58 ?745次閱讀
    研究人員開發(fā)出高性能p型非<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>氧化物</b>半導(dǎo)體

    電子發(fā)燒友

    中國電子工程師最喜歡的網(wǎng)站

    • 2931785位工程師會(huì)員交流學(xué)習(xí)
    • 獲取您個(gè)性化的科技前沿技術(shù)信息
    • 參加活動(dòng)獲取豐厚的禮品