友思特方案 精密制程的光影貼合：半導體制造中的高功率紫外光源

導讀

為新能源鋰電行業(yè)賦能第四站：半導體制造中的高功率紫外光源！穩(wěn)定輸出、靈活控制的曝光設備是新能源/半導體行業(yè)高端生產(chǎn)中減少誤差、提高效率的核心技術，友思特 ALE 系列 UV LED 紫外光源集合6大優(yōu)勢，為精密制造的健康發(fā)展提供了全新的選擇。

應用背景：新能源與半導體行業(yè)的光刻曝光需求

紫外光刻和曝光是新能源和半導體行業(yè)生產(chǎn)各種高端芯片、微觀電路結構的核心技術。在紫外光刻過程中，光源發(fā)射的紫外線通過掩模上的微小透鏡或光柵投射到光刻膠層上，形成所需的微小圖案，如圖1所示。

圖1. 紫外光刻曝光示意圖

長期以來，半導體制造領域通常使用傳統(tǒng)的大功率汞燈技術作為光刻設備中的紫外光源。這種汞燈光源雖然輸出功率高，但輸出光譜范圍過寬，制造和生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生對環(huán)境有害的物質，并且工作壽命較短、更換周期頻繁。

相比之下，UV LED 具有獨特的技術優(yōu)勢和成本優(yōu)勢，它能夠輸出穩(wěn)定且超高功率的紫外輻射，還能保證長時間運作和長工作壽命，為半導體的制造提供了一種理想的解決方案。

圖2. UVLED光譜

基于 UV LED 獨特優(yōu)勢的廣泛傳播，越來越多的研究實驗使用 UV LED 光源代替?zhèn)鹘y(tǒng)的汞燈燈箱。然而，設備的更新?lián)Q代并不是簡單的“鑰匙開門”過程，還需要考慮更換成本、設備體積和設備兼容性，更關鍵的是必須保證光刻曝光的效果穩(wěn)定。

友思特ALE：用于改造光刻設備的優(yōu)異性

友思特高功率 UV LED 紫外光源 ALE 1 可以與準直泛光曝光光學器件相結合，不僅是將傳統(tǒng)掩模對準器燈箱升級到 UV LED 技術的多功能和靈活的選擇，也是一種經(jīng)濟實惠的解決方案，對學術領域小型研究實驗室和工業(yè)領域的技術開發(fā)具有很強的吸引力。

1. 高能量效率

友思特 ALE 1 紫外光源比傳統(tǒng)的汞燈耗費更少的能源。從長遠來看，這不僅有助于降低能源支出，而且使 UV LED 成為減少碳足跡的實驗環(huán)境的更環(huán)保的選擇。

2.長使用壽命

友思特 ALE 1 紫外光源比傳統(tǒng)汞燈具有更長的使用壽命，這意味著它們需要更少的更換和維護頻率，從而為實驗室節(jié)省資源成本、提高使用效率。

3.穩(wěn)定的輸出

友思特 ALE 1 紫外光源可隨著時間的推移提供一致的紫外線輸出，無需調整燈泡強度或頻繁更換燈泡。這確保了實驗中更高的一致性和準確性，減少了由于不均勻照明而導致的錯誤風險。

4.靈活的傳輸控制

友思特 ALE 1 紫外光源能夠完美地集成到現(xiàn)代實驗室設置中。完全可調的輸出光譜和最先進的控制接口為高級曝光開辟了可能性，同時易于收集數(shù)據(jù)和分析結果。

5.減少熱量

友思特 ALE 1 紫外光源比傳統(tǒng)汞燈散發(fā)的熱量更少，在對溫度變化敏感的實驗中，這一優(yōu)勢將發(fā)揮很大的作用，避免產(chǎn)生誤差。

6.更安全的使用環(huán)境

友思特 ALE 1 紫外光源是比傳統(tǒng)汞燈更安全的選擇，因為它們不含汞這種有毒物質，減少了對人體健康和環(huán)境的危害，在傳統(tǒng)燈具中使用汞會帶來潛在的暴露風險。

利用 UV LED 進行光刻設備的升級

標準或定制的高透射率液體 LED 光導用于連接光源和曝光設備，可以自由選擇最適合的連接方式，將光源和曝光光學器件放置在任何位置。友思特支持有關紫外曝光集成的各種解決方案的定制設計，用于完美貼合原有設備及實驗需求。

圖3. 大面積聚光元件集成方式 圖4. 透鏡組集成方式

作為曝光光源的 ALE 1 紫外光源為實驗室研究和工廠技術開發(fā)提供了許多好處。它們不僅更節(jié)能、使用壽命更長，還提供一致的紫外線輸出，散發(fā)更少的熱量，對研究人員來說更安全。

憑借與數(shù)字技術集成的能力，經(jīng)濟實惠的 ALE 1 紫外光源正成為與新能源/半導體行業(yè)最新技術同步發(fā)展進步的首選。

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審核編輯 黃宇