據(jù)傳感器專家網(wǎng)獲悉,據(jù)日本日刊工業(yè)新聞11月25日報(bào)道,日本住友精密工業(yè)將正式進(jìn)入微小電氣機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)的代工(Foundry)業(yè)務(wù)領(lǐng)域。
據(jù)新聞介紹,住友精密工業(yè)接收了此前與美國企業(yè)共同運(yùn)營的合資公司相關(guān)業(yè)務(wù)。通過整合MEMS設(shè)備及制造技術(shù)的專業(yè)知識,以及母公司住友商事的銷售網(wǎng)絡(luò)等資源,公司計(jì)劃切入預(yù)計(jì)增長迅速的MEMS市場,目標(biāo)瞄準(zhǔn)汽車高性能傳感器(LiDAR)及高性能揚(yáng)聲器等領(lǐng)域,到2030年實(shí)現(xiàn)超過100億日元的營業(yè)收入。
早在1999年,住友精密工業(yè)通過與美國科林斯航空系統(tǒng)公司(Collins Aerospace)的合資企業(yè)“英國硅感系統(tǒng)公司”(Silicon Sensing Systems),從事陀螺儀和加速度傳感器等MEMS設(shè)備的生產(chǎn)與銷售,同時也涉足MEMS代工業(yè)務(wù)。
Silicon Sensing Systems Ltd 是位于英國英格蘭西南部普利茅斯,Collins Aerospace 在陀螺儀和慣性傳感器方面的傳統(tǒng)可以追溯到 Sperry Gyroscope Company,該公司成立于 1913 年,這使得企業(yè)在復(fù)雜慣性系統(tǒng)及其在實(shí)際應(yīng)用中的部署領(lǐng)域擁有深厚的專業(yè)知識。住友精密工業(yè)總部位于日本尼崎,在硅 MEMS 制造領(lǐng)域擁有獨(dú)特的專業(yè)知識。經(jīng)過 20 年的成功合作,Silicon Sensing Systems 已成為全球市場上備受推崇的可靠優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品供應(yīng)商。
此次,公司將代工業(yè)務(wù)獨(dú)立出來,并移交至住友精密工業(yè)。
2023年12月,公司成立了“MEMS Infinity部門”,專注于承接新業(yè)務(wù),而合資公司時期的訂單則將繼續(xù)由該部門承接。
MEMS Infinity是一家150毫米和200毫米MEMS晶圓代工廠,通過原型設(shè)計(jì)和大規(guī)模生產(chǎn),滿足客戶對MEMS概念設(shè)計(jì)和評估的不斷增長的需求。
MEMS Infinity位于日本尼崎市(Amagasaki)的工業(yè)和技術(shù)中心,擁有一個20,000平方英尺的潔凈室,可以制造多種MEMS器件,包括靜電式和電磁式傳感器和執(zhí)行器。MEMS Infinity也是該行業(yè)為數(shù)不多的提供PZT薄膜組合的MEMS代工廠之一。PZT薄膜是一種可將電能轉(zhuǎn)換為機(jī)械能的壓電材料,反之亦然。PZT薄膜非常適合用于高性能執(zhí)行器、微機(jī)械超聲換能器(MUT)和聲學(xué)傳感器等新興技術(shù)。
epi-PZT晶圓 為擴(kuò)大MEMS代工業(yè)務(wù),公司將充分利用在MEMS設(shè)備設(shè)計(jì)、生產(chǎn)技術(shù)開發(fā)、制造和市場營銷等方面的經(jīng)驗(yàn)優(yōu)勢。住友精密工業(yè)的全資子公司SPP Technologies(總部位于東京都千代田區(qū))專注于MEMS制造設(shè)備如硅深刻蝕裝置的開發(fā),這使公司在設(shè)備利用方面具有明顯優(yōu)勢。
量產(chǎn)的MEMS設(shè)備將委托英國硅感系統(tǒng)公司生產(chǎn),同時住友精密工業(yè)計(jì)劃逐步提升自身的生產(chǎn)能力。到2030年,公司預(yù)計(jì)投入數(shù)十億日元,將產(chǎn)能擴(kuò)充至現(xiàn)有水平的數(shù)倍,同時將員工人數(shù)從現(xiàn)有的約20人增加到100人以上。
公司高管表示,“同時擁有MEMS設(shè)備和設(shè)備制造技術(shù)的代工廠在行業(yè)中非常少見。”MEMS設(shè)備由于其小型化、高功能化及節(jié)能特性,市場需求預(yù)計(jì)將持續(xù)增長。
來源:上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院
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