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IV測試助力解芯片失效原因

中科院半導(dǎo)體所 ? 來源:半導(dǎo)體工程師 ? 2024-11-21 17:13 ? 次閱讀

芯片這個微觀而又復(fù)雜的世界里,失效分析如同一場解謎之旅,旨在揭開芯片出現(xiàn)故障的神秘面紗。而 IV(電流-電壓)測試作為一種重要的分析手段,在芯片失效分析領(lǐng)域發(fā)揮著不可或缺的作用,為我們深入了解芯片失效原因提供了關(guān)鍵線索。

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窺探芯片電學(xué)特性的窗口

IV 測試,簡單來說,就是通過對芯片施加不同的電壓,并測量相應(yīng)的電流變化,從而繪制出芯片的電流-電壓特性曲線。這條曲線就像是芯片電學(xué)特性的 “指紋”,蘊含著豐富的信息,能夠反映出芯片在不同工作狀態(tài)下的性能表現(xiàn)。

對于正常工作的芯片,其 IV 特性曲線通常具有特定的形狀和規(guī)律。例如,在半導(dǎo)體器件中,常見的二極管在正向偏置時電流隨電壓迅速增加,而在反向偏置時電流極小,呈現(xiàn)出典型的非線性特性。通過與標準的 IV 特性曲線進行對比,我們可以快速判斷芯片是否存在電學(xué)性能方面的異常。

IV測試的具體應(yīng)用場景

2.1 檢測短路和開路故障

芯片內(nèi)部的電路連接出現(xiàn)短路或開路情況是導(dǎo)致芯片失效的常見原因之一。IV 測試在檢測這類故障時表現(xiàn)得尤為出色。

當芯片存在短路故障時,在施加一定電壓后,電流會出現(xiàn)異常的大幅增加。這是因為短路使得電流繞過了正常的電路路徑,直接從短路點通過,導(dǎo)致電阻急劇減小,根據(jù)歐姆定律(I=V/R),電流就會顯著升高。通過 IV 測試,我們可以觀察到這種電流的異常變化,進而確定短路故障的存在,并根據(jù)測試數(shù)據(jù)大致推測出短路發(fā)生的區(qū)域。

相反,當芯片出現(xiàn)開路故障時,電路被切斷,電流無法正常流通。在進行 IV 測試時,無論施加多大的電壓,電流都將趨近于零。這種電流始終為零的特征可以幫助我們明確判斷芯片存在開路故障,然后結(jié)合其他分析工具(如顯微鏡等)進一步確定開路點的具體位置。

例如,在一款復(fù)雜的集成電路芯片中,出現(xiàn)了部分功能失效的情況。通過 IV 測試,發(fā)現(xiàn)某一模塊在施加正常工作電壓時,電流異常高,初步判斷存在短路故障。隨后,利用顯微鏡對該模塊進行詳細檢查,最終找到了短路發(fā)生在兩條相鄰金屬布線之間的具體位置,為修復(fù)工作指明了方向。

2.2 評估晶體管性能

晶體管作為芯片的核心元件之一,其性能的好壞直接影響著芯片的整體性能。IV 測試可以通過測量晶體管在不同柵極電壓下的源極 - 尾極電流,來評估晶體管的各項性能指標,如跨導(dǎo)、閾值電壓等。

跨導(dǎo)反映了晶體管對輸入信號的放大能力,通過 IV 測試得到的電流 - 電壓數(shù)據(jù),可以計算出晶體管的跨導(dǎo)值。如果跨導(dǎo)值偏離了正常范圍,說明晶體管的放大能力出現(xiàn)了問題,可能是由于制造工藝缺陷、老化等原因?qū)е碌摹?/p>

閾值電壓則是晶體管從截止狀態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)閷?dǎo)通狀態(tài)所需的最小柵極電壓。IV 測試能夠準確測量出晶體管的閾值電壓,當閾值電壓發(fā)生變化時,也意味著晶體管的工作狀態(tài)可能受到了影響。例如,在一批芯片生產(chǎn)過程中,發(fā)現(xiàn)部分芯片性能下降,通過 IV 測試對芯片內(nèi)的晶體管進行評估,發(fā)現(xiàn)有些晶體管的閾值電壓明顯升高,經(jīng)過進一步調(diào)查,原來是制造工藝中的雜質(zhì)摻入問題導(dǎo)致的,這為改進生產(chǎn)工藝提供了重要依據(jù)。

2.3 分析芯片功耗異常

在芯片的實際應(yīng)用中,功耗問題一直是備受關(guān)注的焦點。過高的功耗不僅會影響芯片的續(xù)航能力(針對移動設(shè)備等應(yīng)用場景),還可能導(dǎo)致芯片過熱,進而引發(fā)一系列性能問題甚至失效。

IV 測試可以通過測量芯片在不同工作狀態(tài)下的電流和電壓,計算出芯片的功耗(P=IV)。當芯片出現(xiàn)功耗異常時,通過對比正常芯片的功耗數(shù)據(jù)以及分析 IV 測試得到的電流 - 電壓特性曲線,可以找出導(dǎo)致功耗異常的原因。

例如,某款移動設(shè)備中的芯片在使用過程中出現(xiàn)了電池續(xù)航時間明顯縮短的情況,懷疑是芯片功耗過高所致。通過 IV 測試,發(fā)現(xiàn)該芯片在某些工作狀態(tài)下的電流明顯高于正常芯片,進一步分析發(fā)現(xiàn)是因為芯片內(nèi)部的部分電路存在漏電現(xiàn)象,使得電流白白流失,從而導(dǎo)致功耗增加。通過定位到漏電問題,就可以采取相應(yīng)的措施進行修復(fù)或改進設(shè)計。

與其他分析工具的協(xié)同作戰(zhàn)

在芯片失效分析的“戰(zhàn)場”上,IV 測試并非孤軍奮戰(zhàn),它常常與其他分析工具協(xié)同配合,發(fā)揮出更強大的分析能力。

例如,與顯微鏡結(jié)合使用。顯微鏡可以提供芯片表面和內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)的圖像,幫助我們了解芯片的物理形態(tài)和結(jié)構(gòu)布局。當 IV 測試發(fā)現(xiàn)芯片存在電學(xué)性能異常時,結(jié)合顯微鏡觀察到的芯片結(jié)構(gòu),可以更全面地分析出導(dǎo)致異常的原因。比如,IV 測試發(fā)現(xiàn)晶體管性能下降,通過顯微鏡觀察到晶體管的外觀可能存在缺陷(如金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管(MOSFET)的柵極氧化層有破損等),這樣就可以確定是由于物理結(jié)構(gòu)問題導(dǎo)致的電學(xué)性能下降,從而為修復(fù)工作提供更準確的指導(dǎo)。

又如,與熱分析工具協(xié)同。熱分析工具可以測量芯片在工作狀態(tài)下的溫度分布情況。當 IV 測試發(fā)現(xiàn)芯片存在功耗異常時,結(jié)合熱分析工具測量的溫度數(shù)據(jù),可以更深入地了解功耗異常對芯片溫度的影響,進而判斷是否因為過熱導(dǎo)致了芯片的進一步失效。例如,通過 IV 測試確定芯片功耗過高,結(jié)合熱分析工具發(fā)現(xiàn)芯片的某一區(qū)域溫度過高,這就提示我們需要關(guān)注該區(qū)域的散熱問題,可能需要對散熱設(shè)計進行調(diào)整或改進。

IV 應(yīng)用的挑戰(zhàn)與未來展望

盡管 IV 在芯片失效分析中有著諸多重要應(yīng)用,但它也面臨著一些挑戰(zhàn)。

一方面,IV 測試結(jié)果的解讀需要一定的專業(yè)知識和經(jīng)驗。不同的芯片失效模式可能會導(dǎo)致相似的電流-電壓特性曲線變化,如何準確地區(qū)分這些變化所對應(yīng)的真正失效原因,是擺在分析人員面前的一道難題。

另一方面,對于復(fù)雜的芯片系統(tǒng),進行 IV 測試時需要考慮到各種因素的影響,如不同模塊之間的相互作用、外部電路的影響等。要想獲得準確的測試結(jié)果,就需要精心設(shè)計測試方案,確保測試環(huán)境的穩(wěn)定性和測試數(shù)據(jù)的準確性。

然而,隨著科技的不斷發(fā)展,我們有理由相信這些挑戰(zhàn)都將逐步得到解決。未來,IV 測試有望在智能化結(jié)果解讀、優(yōu)化測試方案設(shè)計、與更多分析工具深度融合等方面取得更大的突破,從而在芯片失效分析領(lǐng)域發(fā)揮更加重要的作用。

IV 作為芯片失效分析的重要手段,通過測量芯片的電流-電壓特性,為我們檢測短路和開路故障、評估晶體管性能、分析芯片功耗異常等提供了極為重要的手段。盡管目前還存在一些挑戰(zhàn),但隨著技術(shù)的不斷進步,它必將在保障芯片質(zhì)量、推動芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展方面做出更大的貢獻。

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原文標題:IV 測試:照亮芯片失效分析之路

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