準(zhǔn)確測量半導(dǎo)體制造過程中的水分、濕度和溫度

半導(dǎo)體制造業(yè)流傳著一句話：“這不是火箭科學(xué)，但比火箭科學(xué)難多了！”這句玩笑話背后，實則蘊(yùn)含了行業(yè)的真實寫照：半導(dǎo)體制造不僅過程錯綜復(fù)雜，而且耗時冗長，一個完整的制造周期往往跨越12至20周。

制造半導(dǎo)體初期投入資金浩大，制造流程所需設(shè)備價格更是高昂無比。于新一輪投資周期啟動前夕，單一制造周期常持續(xù)約六年之久，且整體生產(chǎn)流程利潤率偏低，這意味著只有通過實現(xiàn)高產(chǎn)量方能確保盈利穩(wěn)固。因此，嚴(yán)控生產(chǎn)質(zhì)量，力避廢品與不良品至關(guān)重要。

水分作為半導(dǎo)體制造中的重大污染源之一，其不當(dāng)?shù)臐穸葪l件據(jù)估算可造成高達(dá)25%的收入損失。為確保產(chǎn)品質(zhì)量與產(chǎn)量的穩(wěn)定，半導(dǎo)體制造流程中對濕度與溫度的監(jiān)控必須尤為謹(jǐn)慎。維薩拉公司提供的高精度測量解決方案，專為制造工藝中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)量身打造，不僅響應(yīng)迅捷，更能靈活適應(yīng)各類極端環(huán)境。本文將著重介紹濕度、水分、微量水分、相關(guān)濕度、露點及霜點等關(guān)鍵參數(shù)。

高科技納米級半導(dǎo)體制造

在高科技納米級半導(dǎo)體制造等超純應(yīng)用中，即便在嚴(yán)格去除了灰塵、油脂及其他污染元素后，微量水分的殘留仍可能成為潛在威脅，對產(chǎn)品質(zhì)量與產(chǎn)量造成不容忽視的負(fù)面影響。鑒于完全去除流程中每一個水分子幾近不可能，我們需依賴高精度的測量工具，力求將水分含量影響降至最低。通過這些工具，我們能夠?qū)崿F(xiàn)對水分含量的精準(zhǔn)監(jiān)控與有效管理，確保半導(dǎo)體制造過程達(dá)到極致的純凈與穩(wěn)定。

潔凈室暖通空調(diào)

潔凈室中的暖通空調(diào)（HVAC）系統(tǒng)，通常被安裝在空氣處理裝置與風(fēng)扇過濾裝置中。在這些系統(tǒng)中，水分的潛在威脅不容忽視，它可能污染工藝過程，并與工藝過程中的化學(xué)品發(fā)生反應(yīng)，甚至?xí)觿§o電放電（ESD）問題，對半導(dǎo)體等精密制造構(gòu)成重大挑戰(zhàn)。在特定場景下，對相對濕度的測量精度需嚴(yán)格控制在+/?2%以內(nèi)，同時溫度測量則需達(dá)到+/?0.25°C的準(zhǔn)確度。

維薩拉變送器，憑借其可靠的性能，成為調(diào)控潔凈室內(nèi)空調(diào)機(jī)的理想選擇。無論是安裝在通風(fēng)機(jī)內(nèi)部還是墻壁上，它們都能準(zhǔn)確地監(jiān)測并調(diào)節(jié)環(huán)境參數(shù)，為高科技制造提供穩(wěn)定可靠的支持。

針對潔凈室多樣化的工藝需求，目標(biāo)濕度與溫度設(shè)定靈活多變。而維薩拉的HUMICAP?傳感器技術(shù)，正是這一需求的高效響應(yīng)者。該技術(shù)基于先進(jìn)的聚合物薄膜，不僅響應(yīng)迅速、測量準(zhǔn)確度高，更展現(xiàn)出可靠的長期穩(wěn)定性與低維護(hù)需求。在維薩拉自家嚴(yán)格控制的潔凈室環(huán)境中生產(chǎn)，每一款HUMICAP?傳感器都承載著良好的品質(zhì)保證與可靠承諾，為半導(dǎo)體等高科技制造領(lǐng)域保駕護(hù)航。

工藝管線氣體質(zhì)量

潔凈室操作需要高質(zhì)量的過程氣體，監(jiān)測工藝管線氣體中的濕度水平是防止水分侵蝕、保護(hù)材料免遭損失的關(guān)鍵。其目標(biāo)在于最大限度地降低含水率，因此，精確追蹤露點成為不可或缺的環(huán)節(jié)。在選擇傳感器時，迅速響應(yīng)與可靠的耐冷凝性能至關(guān)重要。它們共同構(gòu)筑了可靠運行的基石，確保即便歷經(jīng)長時間停機(jī)，也能助力工藝過程無縫銜接、迅速恢復(fù)高效運轉(zhuǎn)。

維薩拉DRYCAP?技術(shù)，依托獨家的聚合物薄膜創(chuàng)新技術(shù)，展現(xiàn)了高靈敏度與可靠的環(huán)境適應(yīng)性，能夠靈活應(yīng)對各類應(yīng)用挑戰(zhàn)，即便在極端環(huán)境下亦能具有長期穩(wěn)定性。其內(nèi)置的凈化機(jī)制，巧妙清除薄膜中不必要的殘留雜質(zhì)，確保即便在次優(yōu)條件下，測量準(zhǔn)確度依然能高效保持。

維薩拉自動校準(zhǔn)功能使用專有設(shè)計和算法，可消除環(huán)境老化對傳感器結(jié)構(gòu)的影響。長期監(jiān)測傳感器性能有助于傳感器即時修正靈敏度波動，提高長期穩(wěn)定性，從而大幅延長傳感器壽命，遠(yuǎn)超傳統(tǒng)同類產(chǎn)品，并顯著削弱惡劣環(huán)境條件的負(fù)面影響。維薩拉傳感器以其快捷的響應(yīng)速度，能夠在系統(tǒng)發(fā)生故障時迅速做出反應(yīng)，有效預(yù)防材料損失，確保生產(chǎn)過程的安全與高效。

壓縮空氣質(zhì)量

對維護(hù)大多數(shù)工業(yè)潔凈室的嚴(yán)苛環(huán)境而言，壓縮空氣的潔凈度至關(guān)重要。因此，對多余水分的控制標(biāo)準(zhǔn)會被設(shè)定在極低閾值，力求達(dá)到露點溫度低于-80°C。通常系統(tǒng)會設(shè)置多個警報級別，一旦超出此目標(biāo)水平即發(fā)出警報。維薩拉產(chǎn)品在整個測量范圍內(nèi)都經(jīng)過嚴(yán)格測試和校準(zhǔn)，以確保傳感器讀數(shù)高度準(zhǔn)確，降低高昂的過度干燥成本。而維薩拉濕度傳感器單元響應(yīng)迅捷，即時預(yù)警，助力客戶快速識別和解決問題，保障生產(chǎn)環(huán)境的純凈與高效。

審核編輯 黃宇