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純度達(dá)到99.999999999%,江蘇鑫華半導(dǎo)體成功量產(chǎn)電子級多晶硅

半導(dǎo)體動態(tài) ? 來源:網(wǎng)絡(luò)整理 ? 作者:工程師吳畏 ? 2018-06-08 09:45 ? 次閱讀

中國正在半導(dǎo)體行業(yè)奮起直追,但整體差距依然非常大,比如用來制造芯片的硅晶圓,就掌握在日本、德國、韓國等的極少數(shù)企業(yè)手中。

不過我們也在一個個地突破!據(jù)報道,江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司已經(jīng)成功量產(chǎn)純度要求達(dá)到99.999999999%的電子級多晶硅,在在經(jīng)過一系列嚴(yán)格驗證、檢測之后,不但供應(yīng)給國內(nèi)市場,還出口到了韓國。

這標(biāo)志著,我國半導(dǎo)體集成電路用硅料已經(jīng)達(dá)到國際一流質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn),這也是我國多晶硅制造企業(yè)首次向國際市場出口集成電路用高純度硅料。過去中國基本完全依賴進(jìn)口。

電子級多晶硅材料是集成電路的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料,也是純度最高的多晶硅材料。太陽能級多晶硅的純度要求只有99.9999%,電子級則多了五個9。

更形象地說,5000噸電子級多晶硅里的雜質(zhì)含量,只有大約6克,相當(dāng)于一枚1元硬幣的重量。

2015年12月,鑫華半導(dǎo)體由國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金聯(lián)手保利協(xié)鑫共同投資38億元,建設(shè)國內(nèi)首條5000噸半導(dǎo)體集成電路專用電子級多晶硅生產(chǎn)線,2017年11月8日正式發(fā)布電子級多晶硅產(chǎn)品

目前,該電子級多晶硅已通過客戶驗證,并形成規(guī)?;N售,打破長期以來國外高純度材料壟斷,填補(bǔ)該產(chǎn)業(yè)國內(nèi)技術(shù)空白。

鑫華半導(dǎo)體的電子級多晶硅產(chǎn)能可保證國內(nèi)企業(yè)3-5年內(nèi)不缺貨,產(chǎn)品質(zhì)量滿足40nm工藝及以下極大規(guī)模集成電路用300mm尺寸單晶制造需求,同時還將規(guī)劃再上一條5000噸生產(chǎn)線,更好地滿足國際國內(nèi)市場。

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