以下文章來源于Semika ,作者Semika
本文解釋了封裝技術的不同級別、不同制造,和封裝技術演變過程。
制造完成的裸芯片是非常易碎的。所以,使用合適的包裝以確保包裹完好,可以進行無損地移動和使用,是至關重要的步驟。聚苯乙烯泡沫塑料、泡沫包裝和金屬外殼都可以用作包裹芯片的材料。
封裝是半導體制造過程的關鍵階段,可以保護芯片免受機械和化學損傷。然而,半導體封裝的作用并不局限于保護,與外部進行線路連接,對多種芯片進行重新組合裝配,這些同樣非常重要。
封裝工藝的四個層次
電子封裝技術關系到器件的硬件結構。這些硬件結構由有源元件(如半導體)和無源元件(包括電阻器和電容器)組成。
有源元件:由于電路實現(xiàn)而執(zhí)行某種功能的器件,如半導體存儲器或邏輯半導體。
無源元件:一種沒有主動功能的裝置,如放大或轉換電能。
電子封裝是一項非常廣泛的技術,可以分為四個不同的級別,從0級到3級封裝。如下圖所示:
圖1
0級封裝:整個半導體封裝過程的開始,其中包括通過鋸片分離芯片。
1級封裝:芯片級封裝
2級封裝:將芯片安裝到模塊或卡上
3級封裝:將與芯片和模塊安裝在一起的卡安裝到系統(tǒng)板上。
從廣義上講,這整個過程通常被稱為“封裝”或“組裝”。然而,在半導體行業(yè),半導體封裝一般只指晶圓鋸切和芯片級封裝的過程。
封裝通常采用細間距球柵陣列(FBGA)或薄小輪廓封裝(TSOP)的形式,如圖2所示。當FBGA上的焊料和TSOP上的引線充當引腳時,這些封裝允許芯片與外部組件進行電氣和機械連接。
焊料:一種能在低溫下熔化的金屬,既能電結合又能機械結合。
引線:從電子電路或元件的端子上伸出來連接到電路板上的導線。
圖2
封裝的功能和作用
半導體封裝的四個主要作用:機械保護、電氣連接、機械連接和散熱。
圖3
芯片是由數(shù)百種晶圓工藝制成的,以實現(xiàn)各種功能,但它們的基礎材料是硅。硅本身就像一塊玻璃一樣容易破碎,經過多次晶圓加工后形成的結構也同樣容易受到機械和化學損傷。因此,封裝材料對保護芯片至關重要。
此外,半導體封裝負責將芯片與系統(tǒng)進行電氣和機械連接。該封裝將芯片與系統(tǒng)電連接起來,為芯片提供電力,同時也為信號的輸入和輸出創(chuàng)造了一條途徑。同時,芯片需要外界進行可靠的機械連接,以確保它們在使用過程中與系統(tǒng)保持物理連接。
同時,封裝需要快速散熱半導體芯片和器件產生的熱量。當半導體產品工作時,電流就會流動。這不可避免地會產生阻力,然后產生熱量。如果半導體封裝不能有效地散熱,芯片可能會過熱,導致內部晶體管過熱而無法工作。因此,半導體封裝有效散熱是必不可少的。隨著半導體產品的發(fā)展速度越來越快,功能越來越多,封裝的冷卻功能變得越來越重要。
半導體封裝的發(fā)展趨勢
半導體封裝技術多年來的六大發(fā)展趨勢如下圖。
圖4
首先,由于散熱(thermal Dissipation)已經成為封裝過程中的一個重要因素,導熱性好的材料和能有效散熱的封裝結構已經被開發(fā)出來。
導熱系數(shù):一種測量熱量從高溫區(qū)域轉移到鄰近的較低溫度區(qū)域而不涉及物質運動的方法。
能夠支持高速電信號傳輸(Hight-Speed Signal Transmission)的封裝技術也是一個重要的趨勢,因為封裝可以限制半導體產品的速度。例如,如果可以達到每秒20千兆比特(Gbps)速度的半導體芯片或設備與只能支持2gbps的半導體封裝連接,系統(tǒng)將感知到半導體具有2gbps的速度。無論芯片的速度有多快,半導體產品的速度都受到封裝的極大影響,因為通往系統(tǒng)的電子路徑是在封裝中創(chuàng)建的。這強調了芯片速度的提高需要遵循半導體封裝的技術進步,以實現(xiàn)高傳輸速度。這尤其適用于人工智能和5G無線通信技術。鑒于此,諸如倒裝芯片封裝和硅通孔(TSV)等封裝技術已被開發(fā)出來,以支持高速電信號傳輸。
倒裝芯片:一種將芯片和襯底電連接起來的互連技術。
硅通孔(TSV):一種垂直互連通道,完全穿過硅晶片或硅片,使硅晶片堆疊。
3D封裝技術已成為半導體封裝領域的革命性發(fā)展。3D封裝是將多個芯片組合成一個封裝來實現(xiàn)一個系統(tǒng)的一種封裝方式。
小型化也是一種趨勢,即縮小半導體器件尺寸。隨著半導體產品在移動甚至可穿戴產品中的應用,小型化正成為客戶的重要要求。為了滿足這一需求,已經開發(fā)了許多技術來減小包裝尺寸。
此外,半導體產品越來越多地用于各種環(huán)境。除了健身房、辦公室或家庭等日常環(huán)境外,它們還用于熱帶雨林、極地地區(qū)、深海甚至太空。由于封裝的基本作用是保護半導體芯片和器件,因此有必要開發(fā)高可靠性的封裝技術,使這些半導體產品能夠在這些極端環(huán)境中正常工作。
最后,由于半導體封裝是最終產品,因此開發(fā)制造成本低且能滿足所需功能的封裝技術非常重要。
除了上面提到的專注于推進封裝技術特定作用的趨勢外,封裝發(fā)展背后的另一個驅動力是半導體行業(yè)的整體發(fā)展。下圖中,紅線表示自20世紀70年代以來組裝過程中PCB10特征尺寸的變化,綠線表示晶圓上CMOS晶體管特征尺寸的變化。特征尺寸的減小允許在PCB和晶圓上繪制更小的圖案。
圖5
在20世紀70年代,pcb和晶圓的特征尺寸差異相對較小。然而,今天的晶圓正在大規(guī)模生產,CMOS晶體管的特征尺寸正在發(fā)展到小于10納米(nm),而pcb的特征尺寸仍然在100微米(um)范圍內。這一差距在過去幾十年里顯著擴大。
由于PCB的特征尺寸沒有太大變化。而光刻技術的進步,CMOS晶體管的特征尺寸急劇縮小,擴大了與pcb的尺寸差距。半導體封裝必須補償PCB和晶圓之間的這種差異。在過去,這種特征尺寸的差異并不顯著,因此可以使用通孔技術,即半導體封裝的引線插入pcb的插座中,例如雙列直插式封裝(DIP)。隨著差距越來越大,出現(xiàn)了引線連接到電路板表面的技術,例如TSOP,這是一種表面貼裝技術(SMT)。隨后,諸如球柵陣列(BGA)、倒裝芯片、扇形晶圓級芯片級封裝(WLCSP)14和通硅孔(TSV)等封裝技術相繼開發(fā)出來,以彌補晶圓和板尺寸之間日益擴大的差距。
芯片封裝的開發(fā)過程
下圖顯示了一個新芯片的封裝開發(fā)過程。
圖6
通常,在制造半導體產品時,芯片和封裝的設計是一起開發(fā)的,因此它們的特性可以全面優(yōu)化。出于這個原因,封裝部門在設計芯片之前要考慮芯片是否可封裝。在可行性研究期間,對封裝的設計進行了粗略的測試,因此可以分析電氣,熱學和結構評估,以確保在實際的批量生產階段不會出現(xiàn)問題。
封裝部門根據(jù)封裝的臨時設計和分析結果,向芯片設計者反饋封裝的可行性。完成封裝可行性研究后,芯片設計才算完成。這個過程之后是晶圓制造。當晶圓正在制造時,封裝部門設計封裝生產所需的基板或引線框架,并通過執(zhí)行后端工藝的公司進行生產。同時,封裝工藝的工具也會提前準備好,在晶圓測試完成后,當晶圓送到封裝部門后,立即開始封裝生產。
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原文標題:半導體后端制造程之一:半導體封裝的作用、制程和演化
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