國(guó)內(nèi)首條！光子芯片中試線，無(wú)錫啟用

來(lái)源：無(wú)錫日?qǐng)?bào)

在全鏈條推進(jìn)量子科技這一未來(lái)產(chǎn)業(yè)技術(shù)攻關(guān)和成果應(yīng)用上無(wú)錫再迎重磅動(dòng)作
25日，由上海交通大學(xué)無(wú)錫光子芯片研究院建設(shè)的國(guó)內(nèi)首條光子芯片中試線正式啟用，這標(biāo)志著光子芯片正式步入產(chǎn)業(yè)化快車道，將突破原有的計(jì)算范式限制，為大規(guī)模智算帶來(lái)新的想象空間。

光子芯片

是新一代信息技術(shù)的核心，能滿足新一輪科技革命中人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、云計(jì)算、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域?qū)鬏?、?jì)算、存儲(chǔ)、顯示的技術(shù)需求，已成為經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)新動(dòng)能，全球競(jìng)速的產(chǎn)業(yè)高地。但一直以來(lái)，國(guó)內(nèi)光子芯片行業(yè)面臨中試平臺(tái)缺位、工藝技術(shù)壁壘高、良品率驗(yàn)證低、產(chǎn)能轉(zhuǎn)化不足、國(guó)外平臺(tái)流片周期長(zhǎng)等困境，嚴(yán)重制約了創(chuàng)新成果轉(zhuǎn)化落地的“黃金期”。

2021年，上海交通大學(xué)無(wú)錫光子芯片研究院項(xiàng)目正式在濱湖區(qū)啟動(dòng)，2023年10月，項(xiàng)目載體結(jié)構(gòu)封頂，2024年1月首批設(shè)備入場(chǎng)，在經(jīng)過(guò)8個(gè)月的設(shè)備調(diào)試后，國(guó)內(nèi)首條光子芯片中試線宣告啟用。

25日，記者在光子芯片中試線近6000平方米的高等級(jí)微納加工超凈間看到，一臺(tái)臺(tái)設(shè)備整齊排列，身穿潔凈服的技術(shù)人員熟練操作各類設(shè)備，觀察產(chǎn)品各項(xiàng)參數(shù)運(yùn)行情況。為使微塵數(shù)量達(dá)標(biāo)，超凈間層高9米的一樓分為3層，主要設(shè)備在中間層，看不見的上夾層、下夾層除了鋪設(shè)供應(yīng)氣體和化學(xué)品的管道外，還布滿了新風(fēng)系統(tǒng)，輸送清潔空氣，以保持室內(nèi)正壓，再通過(guò)鋪設(shè)的通風(fēng)孔向外排氣，使車間的潔凈程度達(dá)到了百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。

據(jù)介紹，中試平臺(tái)總面積為1.7萬(wàn)平方米，集科研、生產(chǎn)、服務(wù)于一體，覆蓋了薄膜鈮酸鋰光子芯片從光刻、薄膜沉積、刻蝕、濕法、切割、量測(cè)到封裝的全閉環(huán)工藝，不僅可為高校、科研院所、創(chuàng)新企業(yè)提供全流程技術(shù)服務(wù)，還可以為光子產(chǎn)業(yè)孵化項(xiàng)目，與產(chǎn)業(yè)基金高效聯(lián)動(dòng)，打通從產(chǎn)品研發(fā)到市場(chǎng)化的完整鏈條，加速科技成果的商業(yè)化轉(zhuǎn)化。

“中試線正式啟用后，預(yù)計(jì)年產(chǎn)能達(dá)10000片晶圓，2025年第一季度將正式提供對(duì)外流片服務(wù)?！睋?jù)上海交大無(wú)錫光子芯片研究院院長(zhǎng)金賢敏介紹，技術(shù)的高速迭代與創(chuàng)新是推動(dòng)光子芯片產(chǎn)業(yè)化的核心關(guān)鍵，硬件配套、設(shè)備精密、工藝閉環(huán)是支撐光子芯片產(chǎn)業(yè)化的三大核心要素，中試平臺(tái)不僅能加速技術(shù)迭代的飛輪效應(yīng)，還能促進(jìn)工藝流程的持續(xù)優(yōu)化和產(chǎn)品創(chuàng)新能力的提升。為光子芯片領(lǐng)域貢獻(xiàn)更多新質(zhì)生產(chǎn)力，研究院未來(lái)持續(xù)開展在量子科技前沿技術(shù)、共性關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域的探索，依托光子芯片中試線，進(jìn)行“平臺(tái)+孵化+基金”三位一體戰(zhàn)略布局，圍繞芯、光、智、算等新一代信息技術(shù)進(jìn)行科技成果轉(zhuǎn)化及孵投一體的創(chuàng)業(yè)孵化，打造“光子芯谷”，探索硬科技創(chuàng)新孵化的新范式，助力無(wú)錫創(chuàng)建集群化、規(guī)?；l(fā)展的世界級(jí)光子芯谷創(chuàng)新生態(tài)體系。

光子芯片中試線的順利建成是濱湖區(qū)校地?cái)y手打造科創(chuàng)平臺(tái)、實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)突圍的生動(dòng)縮影。進(jìn)入新階段，無(wú)錫“465”現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)集群中的未來(lái)產(chǎn)業(yè)版圖持續(xù)擴(kuò)大。當(dāng)前，在全面推動(dòng)低空經(jīng)濟(jì)、量子科技、深海裝備、人形機(jī)器人、合成生物等未來(lái)產(chǎn)業(yè)發(fā)展上，濱湖區(qū)有一大批與產(chǎn)業(yè)相匹配的創(chuàng)新平臺(tái)正持續(xù)落地。截至目前，濱湖已擁有9個(gè)國(guó)家級(jí)創(chuàng)新平臺(tái)，8個(gè)省級(jí)科技公共服務(wù)平臺(tái)和3個(gè)新型研發(fā)機(jī)構(gòu)，這些平臺(tái)與區(qū)域未來(lái)產(chǎn)業(yè)方向高度契合，科技創(chuàng)新的“關(guān)鍵變量”正持續(xù)轉(zhuǎn)化為高質(zhì)量發(fā)展的“最大增量”。統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，2024年上半年，濱湖區(qū)院所經(jīng)濟(jì)稅收貢獻(xiàn)3.92億元。連續(xù)3年，區(qū)域高新技術(shù)產(chǎn)值超76%的比重居無(wú)錫第一。

【近期會(huì)議】

10月30-31日，由寬禁帶半導(dǎo)體國(guó)家工程研究中心主辦的“化合物半導(dǎo)體先進(jìn)技術(shù)及應(yīng)用大會(huì)”將首次與大家在江蘇·常州相見，邀您齊聚常州新城希爾頓酒店，解耦產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)袌?chǎng)布局！https://w.lwc.cn/s/uueAru

11月28-29日，“第二屆半導(dǎo)體先進(jìn)封測(cè)產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新大會(huì)”將再次與各位相見于廈門，秉承“延續(xù)去年，創(chuàng)新今年”的思想，仍將由云天半導(dǎo)體與廈門大學(xué)聯(lián)合主辦，雅時(shí)國(guó)際商訊承辦，邀您齊聚廈門·海滄融信華邑酒店共探行業(yè)發(fā)展！誠(chéng)邀您報(bào)名參會(huì)：https://w.lwc.cn/s/n6FFne

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審核編輯 黃宇