鉻版掩膜版介紹及制作方法

鉻版掩膜版在IC生產(chǎn)中會大量使用，現(xiàn)社會因為LCD生產(chǎn)的檔次提高了，也加大了生產(chǎn)量，鉻板也逐漸由IC行業(yè)給推薦至LCD行業(yè)。鉻板的優(yōu)點(diǎn)很多，比如：線條精細(xì)、邊緣銳利、刻蝕均勻、加工簡單、抗環(huán)境變化、硬度高抗劃傷、經(jīng)久耐用等諸多優(yōu)點(diǎn)。在LCD生產(chǎn)中使用廣泛。
鉻版掩膜版屬于光掩膜的一種，具有高精度和耐用性，但價格相對較高。?鉻版掩膜版是光掩膜的一種，根據(jù)其特性可以分為不同的類型。鉻版掩膜版的主要特點(diǎn)是高精度和耐用性，這使得它在需要高精度制造的領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。然而，由于其制作工藝和材料的特殊性，鉻版掩膜版的價格通常較高。除了鉻版之外，光掩膜還包括其他幾種類型，如干版、液體凸版和菲林。這些不同類型的掩膜版各有特點(diǎn)，適用于不同的應(yīng)用場景。

汶顥鉻版掩膜版

鉻版（Chrome）?：具有高精度和耐用性，適用于需要高精度制造的領(lǐng)域。
?干版?：精度適中，耐用性適中，價格適中，適用于一般精度要求的制造。
?液體凸版?：精度低，耐用性也不高，但價格低，適用于對精度要求不高的應(yīng)用。
?菲林?：主要用于轉(zhuǎn)移PI液等，適用于特定的工藝流程。
鉻版掩膜版的基板通常采用高純度、低反射率、低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃，而不透光層則是通過濺射的方法鍍在玻璃下方厚約0.1um的鉻層。這種結(jié)構(gòu)使得鉻版掩膜版能夠在芯片制造等高精度制造領(lǐng)域中發(fā)揮重要作用。此外，鉻材料本身具有高硬度、高熔點(diǎn)、化學(xué)性質(zhì)相對穩(wěn)定等特性，進(jìn)一步保證了鉻版掩膜版的耐用性和可靠性?。
?鉻版掩膜的制作方法主要包括以下幾個步驟?：
準(zhǔn)備基底?：首先，需要準(zhǔn)備一個清洗干凈的透明基底。這個基底可以是玻璃或其他透明的材料，其作用是作為掩膜版的支撐。
涂覆光致抗蝕劑?：在基底上表面涂覆正性光致抗蝕劑。光致抗蝕劑是一種對光敏感的材料，它在后續(xù)的光刻過程中起到保護(hù)和轉(zhuǎn)移圖形的作用。
?曝光和顯影?：根據(jù)設(shè)計的版圖，使用曝光設(shè)備對光致抗蝕劑進(jìn)行曝光和顯影。曝光過程中，光致抗蝕劑會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而形成所需的光致抗蝕劑圖案。
?堅膜處理?：對曝光和顯影后的基底進(jìn)行堅膜處理，以增強(qiáng)光致抗蝕劑的穩(wěn)定性和耐腐蝕性。
?淀積掩膜金屬層?：在透明基底上淀積形成掩膜金屬層。這一步是為了在光刻過程中提供所需的金屬圖案。
剝離光致抗蝕劑?：最后，剝離未曝光的光致抗蝕劑，使得金屬層上的圖案得以保留，從而完成鉻版掩膜的制作。
這種方法省去了鉻版掩膜制作時鉻膜的濕法或干法刻蝕工藝，縮短了制備工藝流程，節(jié)約了生產(chǎn)和設(shè)備成本。同時，制備的掩膜版的線條邊緣更加整齊筆直，提高了器件的圖形質(zhì)量，也拓寬了制版工藝窗口?。
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審核編輯 黃宇