特點(diǎn):
● 光源直接成像
● 1-200nm 平場光譜儀
● 無狹縫設(shè)計(jì)提供高效率: 沒有對對準(zhǔn)敏感的入射狹縫
● ~20倍于常規(guī)光譜儀的光線收集能力,并成比例的提高信噪比
高精度/高效率
● 光柵絕對位置監(jiān)測確保光柵準(zhǔn)直
● 高效率像差校正平場光柵
● 集成波束分析儀
● 雙雜光濾波片
● 便捷的軟件控制
可定制
● 每套光譜儀完美匹配客戶特殊應(yīng)用
● 實(shí)驗(yàn)室設(shè)備對接接口
● 特定的設(shè)備尺寸
● 用戶自定義過濾器安裝件
信號增強(qiáng)樣本測試結(jié)果,在相同的光源強(qiáng)度下,maxLIGHT (實(shí)線)的分辨率明顯高于標(biāo)準(zhǔn)光譜儀(虛線)。在相同的分辨率下,標(biāo)準(zhǔn)光譜儀需要加載細(xì)小的狹縫,這樣會(huì)明顯降低信號強(qiáng)度。而無狹縫技術(shù)能同時(shí)提高信號分辨率和強(qiáng)度。(data courtesy of Prof. C. Hauri, Paul Scherrer Inst.)
maxLIGHT高分辨率樣品測試結(jié)果,該高次諧波信號是由單個(gè)飛秒脈沖與固體目標(biāo)作用后濾波得到的,而諧波產(chǎn)生過程中的內(nèi)在子結(jié)構(gòu)被XUV光譜儀清晰的記錄下來。Plasma Phys. Control. Fusion 53 124021 (2011)
規(guī)格參數(shù):
審核編輯 黃宇
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