集成電路測試卡位產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵節(jié)點,貫穿設(shè)計、制造、封裝以及應(yīng)用的全過程。
從整個制造流程上來看,集成電路測試具體包括設(shè)計階段的設(shè)計驗證、晶圓制造階段的過程工藝檢測、封裝前的晶圓測試以及封裝后的成品測試,貫穿設(shè)計、制造、封裝以及應(yīng)用的全過程,在保證芯片性能、提高產(chǎn)業(yè)鏈運轉(zhuǎn)效率方面具有重要作用。
IC測試貫穿整個集成電路產(chǎn)業(yè)鏈
資料來源:基業(yè)常青
IC測試是確保產(chǎn)品良率和成本控制的重要環(huán)節(jié),在IC生產(chǎn)過程中起著舉足輕重的作用。IC測試是集成電路生產(chǎn)過程中的重要環(huán)節(jié),測試的主要目的是保證芯片在惡劣環(huán)境下能完全實現(xiàn)設(shè)計規(guī)格書所規(guī)定的功能及性能指標(biāo),每一道測試都會產(chǎn)生一系列的測試數(shù)據(jù),由于測試程序通常是由一系列測試項目組成的,從各個方面對芯片進(jìn)行充分檢測,不僅可以判斷芯片性能是否符合標(biāo)準(zhǔn),是否可以進(jìn)入市場,而且能夠從測試結(jié)果的詳細(xì)數(shù)據(jù)中充分、定量地反映出每顆芯片從結(jié)構(gòu)、功能到電氣特性的各種指標(biāo)。因此,對集成電路進(jìn)行測試可有效提高芯片的成品率以及生產(chǎn)效率。
設(shè)計驗證和過程工藝控制測試難以獨立分工,晶圓測試和芯片成品測試環(huán)節(jié)是專業(yè)測試公司主要業(yè)務(wù)形態(tài)。設(shè)計驗證部分由于涉及到信息保密以及市場需求不高的問題,難以外包,而過程工藝控制測試則對潔凈程度和生產(chǎn)過程中穩(wěn)定性上的高要求,因此也難以獨立分工。晶圓測試和芯片成品測試分屬中道和后道測試部分,其信息保密及生產(chǎn)環(huán)境控制要求相對均不是太高,再加上第三方測試廠商的獨立性和專業(yè)性,可保證測試結(jié)果的有效性并能及時向上游反饋,提升芯片生產(chǎn)效率,因此,目前多數(shù)設(shè)計及代工廠商將晶圓測試和芯片成品測試外包給第三方專業(yè)測試廠商。
分為wafer test(晶圓測試)、chip test(芯片測試)和package test(封裝測試)。wafer test 是在晶圓從晶圓廠生產(chǎn)出來后,切割減薄之前的檢測。其設(shè)備通常是測試廠商自行開發(fā)制造或定制的,一般是將晶圓放在測試平臺上,用探針探到芯片中事先確定的檢測點,探針上可以通過直流電流和交流信號,可以對其進(jìn)行各種電氣參數(shù)檢測。
對于光學(xué)IC,還需要對其進(jìn)行給定光照條件下的電氣性能檢測。wafer test 主要設(shè)備:探針平臺。wafer test 輔助設(shè)備:無塵室及其全套設(shè)備。wafer test 是效率最高的測試,因為一個晶圓上常常有幾百個到幾千個甚至上萬個芯片,而這所有芯片可以在測試平臺上一次性檢測。
chip test 是在晶圓經(jīng)過切割、減薄工序,成為一片片獨立的chip之后的檢測。其設(shè)備通常是測試廠商自行開發(fā)制造或定制的,一般是將晶圓放在測試平臺上,用探針探到芯片中事先確定的檢測點,探針上可以通過直流電流和交流信號,可以對其進(jìn)行各種電氣參數(shù)檢測。chip test和wafer test設(shè)備最主要的區(qū)別是因為被測目標(biāo)形狀大小不同因而夾具不同。
對于光學(xué)IC,還需要對其進(jìn)行給定光照條件下的電氣性能檢測。chip test 主要設(shè)備:探針平臺(包括夾持不同規(guī)格chip的夾具)chip test 輔助設(shè)備:無塵室及其全套設(shè)備。chip test 能檢測的范圍和wafer test是差不多的,由于已經(jīng)經(jīng)過了切割、減薄工序,還可以將切割、減薄工序中損壞的不良品挑出來。但chip test效率比wafer test要低不少。
package test 是在芯片封裝成成品之后進(jìn)行的檢測。由于芯片已經(jīng)封裝,所以不再需要無塵室環(huán)境,測試要求的條件大大降低。
一般 package test 的設(shè)備也是各個廠商自己開發(fā)或定制的,通常包含測試各種電子或光學(xué)參數(shù)的傳感器,但通常不使用探針探入芯片內(nèi)部(多數(shù)芯片封裝后也無法探入),而是直接從管腳連線進(jìn)行測試。
由于 package test 無法使用探針測試芯片內(nèi)部,因此其測試范圍受到限制,有很多指標(biāo)無法在這一環(huán)節(jié)進(jìn)行測試。但 package test 是最終產(chǎn)品的檢測,因此其檢測合格即為最終合格產(chǎn)品。
IC的測試是一個相當(dāng)復(fù)雜的系統(tǒng)工程,無法簡單地告訴你怎樣判定是合格還是不合格。
一般說來,是根據(jù)設(shè)計要求進(jìn)行測試,不符合設(shè)計要求的就是不合格。而設(shè)計要求,因產(chǎn)品不同而各不相同,有的IC需要檢測大量的參數(shù),有的則只需要檢測很少的參數(shù)。
事實上,一個具體的IC,并不一定要經(jīng)歷上面提到的全部測試,而經(jīng)歷多道測試工序的IC,具體在哪個工序測試哪些參數(shù),也是有很多種變化的,這是一個復(fù)雜的系統(tǒng)工程。
例如對于芯片面積大、良率高、封裝成本低的芯片,通??梢圆贿M(jìn)行wafer test,而芯片面積小、良率低、封裝成本高的芯片,最好將很多測試放在wafer test環(huán)節(jié),及早發(fā)現(xiàn)不良品,避免不良品混入封裝環(huán)節(jié),無謂地增加封裝成本。
IC的測試是IC生產(chǎn)流程中一個非常重要的環(huán)節(jié),在目前大多數(shù)的IC中,測試環(huán)節(jié)所占成本常常要占到總成本的1/4到一半。
本文來源:CICsemi
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