《圖說本源產(chǎn)品》系列之三：量子芯片“火眼金睛” · 無損探針臺

科技自立自強不能停留在論文中、匯報中和總結(jié)中，而是要一個一個產(chǎn)品制造出來。本源，擁有中國第一條超導(dǎo)量子計算機制造鏈。《圖說本源產(chǎn)品》以圖片形式，系列展示中國自主量子計算系列產(chǎn)品。

產(chǎn)品簡介：

“無損探針臺”全稱為“無損探針電學(xué)測量平臺”，是本源量子自主研發(fā)的一款用于超導(dǎo)量子芯片常溫電參數(shù)精密測量的半自動化工業(yè)母機產(chǎn)品，可以在不影響量子比特性能的情況下，實現(xiàn)量子比特常溫電參數(shù)的測量，像孫悟空的“火眼金睛”一樣近乎零損傷地識別量子芯片的質(zhì)量優(yōu)劣，從而進一步地提高量子芯片的良品率。

工作人員正在使用國內(nèi)首個專用于量子芯片生產(chǎn)的無損探針電學(xué)測量平臺對量子芯片進行檢測。

該產(chǎn)品最小測量范圍縮至微米級，探針造成的薄膜傷痕直徑最小在1微米以內(nèi)，測量過程不影響超導(dǎo)量子比特相干性能，具備高穩(wěn)定性和高運動精度的優(yōu)勢。（孫超攝）

正在使用本源量子自主研發(fā)的無損探針臺工業(yè)母機設(shè)備檢測量子芯片。（孫超攝）

該產(chǎn)品可實現(xiàn)量子比特電阻的快速精準(zhǔn)測量，對量子芯片的生產(chǎn)具有重要作用，能快速、精準(zhǔn)識別量子芯片上哪些量子比特是合格的，哪些是不合格的。（孫超攝）

該產(chǎn)品最大的特點就是在不影響量子比特性能的情況下，實現(xiàn)量子比特常溫電參數(shù)的測量，同樣適用于半導(dǎo)體行業(yè)的晶圓精密電參數(shù)測試。（孫超攝）