本文就芯片測試做一個詳細介紹。
芯片的測試大致可以分成兩大部分。CP(chip probering)和FT(final test)。某些芯片還會進行SLT(system leve test)。還有一些特定要求的芯片,需要一些可靠性測試。
CP測試
CP(Chip Probing)測試也叫晶圓測試(wafer test),也就是在芯片未封裝之前對wafer進行測試,這樣就可以把有問題的芯片在封裝之前剔除出來,節(jié)約封裝FT的成本。CP測試在整個芯片制作流程中處于晶圓制造和封裝之間。晶圓(Wafer)制作完成之后,成千上萬的裸DIE(未封裝的芯片)規(guī)則地布滿整個Wafer。由于尚未進行劃片封裝,芯片的管腳全部裸露在外,這些極微小的管腳需要通過更細的探針(Probe)來與測試機臺(Tester)連接。
下圖為CP自動化測試系統(tǒng)示意圖。
可以把CP想成下圖的測試樣子,用探針Probe來進行測試晶圓:
但應用中,探針的數(shù)量非常的多,會使用幾千上萬個探針做的探針臺。探針臺,是用來承載wafer的平臺,讓wafer內(nèi)的每顆die每個bond pads 都能連接到Probe card的探針上,同時能夠精確地移位,每次測試之后,換另外的die再一次連接到Probe card的探針上,從而保證wafer上的每一個die都被測試到。高端探針臺目前大部分為國外品牌壟斷,中低端市場基本由國內(nèi)探針臺廠家占據(jù),也有部分中高端市場逐漸被國產(chǎn)替代。
CP測試主要測以下幾方面的內(nèi)容:
- SCAN。SCAN用于檢測芯片邏輯功能是否正確。
- Boundary SCAN。Boundary SCAN用于檢測芯片管腳功能是否正確。
- 存儲器。芯片往往集成著各種類型的存儲器(例如ROM/RAM/Flash),為了測試存儲器讀寫和存儲功能,通常在設計時提前加入BIST(Built-In SelfTest)邏輯,用于存儲器自測。芯片通過特殊的管腳配置進入各類BIST功能,完成自測試后BIST模塊將測試結(jié)果反饋給Tester。
- DC/AC Test。DC測試包括芯片Signal PIN的Open/Short測試,電源PIN的PowerShort測試,以及檢測芯片直流電流和電壓參數(shù)是否符合設計規(guī)格
- RF Test。對于無線通信芯片,RF的功能和性能至關(guān)重要。CP中對RF測試來檢測RF模塊邏輯功能是否正確。FT時還要對RF進行更進一步的性能測試。
其他Function Test。芯片其他功能測試,用于檢測芯片其他重要的功能和性能是否符合設計規(guī)格。
測試機需要根據(jù)測試的內(nèi)容進行選擇,有很多品牌和產(chǎn)品系列:例如存儲器芯片Advantest T55xx 系列等、數(shù)字混合信號或SoC芯片Teradyne J750 系列等,RF射頻芯片Credence ASL-3000 系列等。
FT(final test)測試
FT(final test)測試就是最終測試,在芯片完成封裝之后進行的測試。FT測試屬于芯片級測試,是通過測試板(Loadboard)和測試插座(Socket)使自動化測試設備(ATE)到封裝后的芯片之間建立電氣連接。FT測試的目的是篩選出滿足設計規(guī)格的產(chǎn)品賣給客戶。
FT的測試系統(tǒng)結(jié)構(gòu)如下圖:
FT測試需要的硬件設備包括測試板、測試插座、ATE(Automation Test Equi[pment)測試機臺、Handler。其中Handler也稱為自動化分類機,是用來實現(xiàn)FT測試自動化的設備。
handler與tester相結(jié)合以及連上了interface之后才能測試。動作就是handler的手臂將芯片放進socket,然后contact pusher下壓。使芯片的引腳正確的和socket的接觸送出start信號,透過interface 給tester,測試完成之后tester送回binning及EOT(end of test)訊號。handler再做出分類的動作。
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FT測試項目也是根據(jù)芯片的功能和特性決定的。常見的FT測試項一般有:
Open/short test,也就是檢查芯片引腳是否有開路或者短路,
DC test也就是檢查器件直流的電流和電壓的參數(shù)。
Eflash test也就是檢查內(nèi)嵌的flash功能和性能,包含讀寫參數(shù)動作功耗和速度等各種參數(shù)。
Function test就是測試芯片的邏輯功能,
AC test就是驗證交流的規(guī)格,包括交流輸出信號的質(zhì)量和信號的實際參數(shù)。
RF test這個就是針對有射頻模塊的芯片,主要驗證射頻模塊的功能和性能參數(shù)。
還有就是DFT test,DFT(Design forTest) test主要包括scan掃描設計和內(nèi)件的自測,也就是BIST(Build In Self Test)。
SLT測試
SLT是System Level Test的縮寫。SLT一種是在其他測試覆蓋率無法滿足時使用。還有一種就是為了控制成本,因為ATE的測試成本比較高。SLT的測試把芯片放在測試板上,測試板可以用于驗證芯片的各個功能。因為他們控制多臺測試機,這樣可以實現(xiàn)批量的測試。
SLT測試需要的硬件設備包括測試板、測試插座、Handler、Change Kit以及測試主機與連接線等。SLT測試屬于定制化測試,軟件部分靈活度比較高,不需要基于自動化測試平臺開發(fā),完全由測試工程師自主開發(fā)。SLT測試內(nèi)容通常包括芯片功能測試、高速接口測試以及DDR內(nèi)存相關(guān)的測試等。與FT測試相同,程序會根據(jù)測試結(jié)果Pass或者Fail對芯片進行物理分Bin。
以上三種主要測試之外 ,有的芯片可能還要進行一些可靠性測試,包括以下內(nèi)容:
ESD,也就是靜電抗擾度測試
Lateh up就是閂鎖測試
HTOL就是高溫工作壽命測試
LTOL就是低溫工作壽命測試
TCT溫度循環(huán)測試
HAST高加速溫度溫濕度應力測試
其他特殊要求的測試
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