三星、SK海力士探索激光解鍵合技術

在半導體技術的浩瀚星空中，三星電子與SK海力士正攜手點亮一顆璀璨的新星——高帶寬存儲器（HBM）晶圓工藝技術的重大革新。據(jù)韓媒最新報道，這兩家行業(yè)巨頭已正式邁入下一代HBM的技術探索之旅，其核心在于引入一種旨在防止晶圓翹曲的新技術，這一變革預示著HBM制造領域的新篇章。

技術革新：激光解鍵合技術的崛起

在半導體制造的精密工藝中，晶圓解鍵合是一項至關重要的環(huán)節(jié)，它關乎到最終產(chǎn)品的質(zhì)量與性能。傳統(tǒng)上，這一過程依賴于機械方式，即使用刀片將主晶圓與載體晶圓分離。然而，隨著HBM層數(shù)的不斷增加，如12層乃至16層的堆疊設計，晶圓變得越來越薄，傳統(tǒng)機械解鍵合方法逐漸顯露出其局限性。當晶圓厚度降至30微米以下時，機械剝離不僅效率低下，更存在損壞晶圓的風險，從而增加了后續(xù)蝕刻、拋光、布線等工藝步驟的復雜性和成本。

正是在這一背景下，三星電子與SK海力士攜手合作伙伴，共同探索激光解鍵合技術的新路徑。激光解鍵合，顧名思義，是利用激光的高能量密度特性，以非接觸的方式精確地將晶圓從載體上分離，從而避免了機械剝離可能帶來的損傷。這一技術的引入，不僅解決了超薄晶圓剝離的難題，更為HBM的進一步小型化、高性能化提供了有力支撐。

供應鏈變革：新材料與新設備的涌現(xiàn)

技術革新往往伴隨著供應鏈的重塑。隨著激光解鍵合技術的逐步應用，相關的材料和設備供應鏈也將發(fā)生深刻變化。傳統(tǒng)的機械解鍵合設備市場，主要由日本東京電子和德國SüSS MicroTec等少數(shù)幾家企業(yè)主導，而激光解鍵合技術的興起，則有望吸引更多新玩家加入，形成更為激烈的競爭格局。

同時，針對激光解鍵合的特殊需求，晶圓解鍵合粘合劑也需進行相應升級。美國3M、日本信越化學、日產(chǎn)化學等業(yè)界領先企業(yè)，正積極研發(fā)適應激光解鍵合工藝的新型粘合材料，以確保晶圓在剝離過程中的穩(wěn)定性和安全性。

展望未來：HBM4與更廣闊的應用前景

作為下一代HBM的標志性產(chǎn)品，HBM4在堆疊DRAM存儲器的底部采用了基于系統(tǒng)半導體的“基礎芯片”，這一設計對工藝精度和晶圓厚度提出了更高要求。因此，激光解鍵合技術被視為HBM4制造過程中的理想選擇。隨著技術的不斷成熟和供應鏈的逐步完善，HBM4有望在AI服務器、高性能計算等領域得到廣泛應用，進一步推動相關產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。

綜上所述，三星電子與SK海力士在HBM晶圓工藝技術上的這一重大革新，不僅展現(xiàn)了企業(yè)在技術創(chuàng)新方面的卓越實力，更為整個半導體行業(yè)帶來了新的發(fā)展機遇和挑戰(zhàn)。隨著激光解鍵合技術的深入研究和廣泛應用，我們有理由相信，未來的HBM將更加小型化、高性能化，為人類社會帶來更加豐富的科技體驗。