Monaco 新款 50W 紫外飛秒激光器，助力晶圓和堆疊 OLED 屏的高效切割

工業(yè)級(jí)材料加工激光器的領(lǐng)導(dǎo)者 Coherent 高意(NYSE: COHR)近日宣布推出新款 Monaco 工業(yè)級(jí)紫外(UV)飛秒激光器。新產(chǎn)品配置 50W 的輸出功率，尤其適合晶圓和堆疊 OLED 顯示屏的高速、高效、大批量切割。

面向新一代移動(dòng) IT 設(shè)備，晶圓開槽和堆疊顯示屏精密切割等應(yīng)用場(chǎng)景正在快速增多和發(fā)展。這加速推動(dòng)了對(duì)新性能激光切割工具的需求——即可提供更高輸出功率，完成材料的高精密度、高速加工。新推出的 Monaco 345-25-50，是首款技術(shù)參數(shù)達(dá)到 50W、400fs 且具備全天候工業(yè)級(jí)作業(yè)性能的 UV 激光器。其極易適配集成，可完美支持大批量高精密切割。

Monaco 工業(yè)激光器平臺(tái)是我們非常成功的一個(gè)產(chǎn)品系列，而 Monaco 345-25-50 正是該系列的最新成員，它也是市場(chǎng)上尺寸很小的 50 W 飛秒激光器。Monaco 產(chǎn)品系列已在應(yīng)用現(xiàn)場(chǎng)得到證明，目前已有 800 多個(gè) Monaco 系統(tǒng)部署于世界各地的工廠之中，它們可全天候運(yùn)行，大規(guī)模量產(chǎn)醫(yī)療器械和應(yīng)用于尖端消費(fèi)品的 OLED 顯示屏。Allan Ashmead北---美微電子設(shè)備和儀表事業(yè)部高級(jí)副總裁

Monaco 345-25-50 在紫外線波長(zhǎng)以最高達(dá) 25μJ 的能量提供脈沖，其重復(fù)率最高可達(dá) 2MHz，脈沖寬度小于 400fs。它具備 Monaco 平臺(tái)的所有標(biāo)準(zhǔn)功能，包括可控按需脈沖模式、可變脈沖寬度調(diào)制、可變重復(fù)率和靈活的種子光源爆發(fā)(Seeder Burst)模式。依賴自身的緊湊尺寸和真正的單盒設(shè)計(jì)，新產(chǎn)品能夠輕松集成到各種機(jī)床之中。它進(jìn)一步擴(kuò)展了 Coherent 的 Monaco 紅外和綠光激光器系列，是緊隨 Coherent 在美國(guó)西部光電展(Photonics West 2023)上推出高功率、高能 Monaco 1035-150-150 紅外激光器之后的又一力作。整個(gè) Monaco 系列均可以直接燒蝕方式切割各種晶圓材料，碳化硅晶圓也不例外。

審核編輯 黃宇