HyperRapid NXT 266——精密材料加工領(lǐng)域的巨大飛躍

Coherent高意新推出的HyperRapid NXT 266可以燒蝕玻璃、聚合物、半導(dǎo)體等材料中尺寸小至5μm的孔洞、溝槽、貫穿切口和其他結(jié)構(gòu)。皮秒級超短脈沖(USP)輸出、266nm波長和10W平均功率組合使這款激光器能夠以出色的深度控制水平可靠地加工材料，并且?guī)缀醪粫a(chǎn)生熱影響區(qū)，此外，HyperRapid NXT 266高達(dá)5MHz的重復(fù)頻率和出色的可靠性意味著這款激光器支持大規(guī)模生產(chǎn)并能大幅度縮短停機(jī)時(shí)間。

當(dāng)用于有機(jī)薄膜切割時(shí)，HyperRapid NXT 266幾乎不產(chǎn)生熱影響區(qū)，超過了HyperRapid NXT 355已經(jīng)取得的出色成果。

借助 HyperRapid NXT 266提供的卓越精度，許多以前無法完成或者依賴于其他方法(例如化學(xué)蝕刻，這些方法的成本較高、加工時(shí)間長且環(huán)境特征不理想)的精密微結(jié)構(gòu)成型任務(wù)現(xiàn)在均可輕松完成。其中包括用于制造顯示屏、有機(jī)電子產(chǎn)品、半導(dǎo)體集成電路、量子計(jì)算波導(dǎo)、醫(yī)療植入物和生物分析儀器組件的工藝。

Coherent 高意憑借其獨(dú)有的兩項(xiàng)能力成功推出了這一基準(zhǔn)產(chǎn)品。第一項(xiàng)能力是能夠在內(nèi)部培養(yǎng)和涂覆質(zhì)量卓越的非線性晶體，以便將激光器原始紅外輸出的頻率提高四倍，達(dá)到深紫外266nm波長。目前尚未有其他組織能夠持續(xù)生產(chǎn)可以在 HyperRapid NXT 266功率水平下可靠運(yùn)行并保證5,000小時(shí)生命周期的非線性晶體。

第二項(xiàng)關(guān)鍵能力是Coherent 高意在制造深紫外激光器方面的豐富經(jīng)驗(yàn)。這需要潔凈室制造設(shè)施以及生產(chǎn)工作流程和組裝方法，以保持最終激光器包裝所需的原始清潔度。

熔融石英微打標(biāo)(線寬：~ 8μm，吞吐量：100個(gè)字符/秒)。Coherent 高意研發(fā)的HyperRapid NXT 266微結(jié)構(gòu)材料具有出色的精度和非常小的熱影響區(qū) (HAZ)。

除了高功率、深紫外輸出外，這款新型激光器還提供其他 HyperRapid NXT系列產(chǎn)品的所有功能。其中包括穩(wěn)定的DUV功率調(diào)制、按需脈沖和可變重復(fù)頻率操作。

審核編輯 黃宇