RFID技術(shù),簡單來說,就是一種自動識別技術(shù),通過無線電波實(shí)現(xiàn)對標(biāo)簽信息的讀取和寫入。而這些標(biāo)簽,就像給物品貼上的小標(biāo)簽,上面存儲著它們的身份信息。當(dāng)標(biāo)簽通過裝有RFID讀寫器的區(qū)域時,讀寫器就能瞬間獲取標(biāo)簽上的信息,無需建立機(jī)械或光學(xué)的直接接觸。
在半導(dǎo)體行業(yè),這個技術(shù)的重要性不言而喻。半導(dǎo)體制造流程復(fù)雜,涉及多個工序和高度潔凈的環(huán)境。想象一下,一顆小小的芯片,是如何從無到有,經(jīng)歷無數(shù)道工序,最終變成我們手中的智能手機(jī)、電腦的一部分。這個過程中,RFID技術(shù)起著至關(guān)重要的作用。
RFID半導(dǎo)體產(chǎn)線的應(yīng)用
RFID標(biāo)簽附著在晶圓盒、載具或其他容器上,記錄著晶圓的身份、規(guī)格、批次以及經(jīng)過的每一步生產(chǎn)工藝等關(guān)鍵信息。在生產(chǎn)線的不同節(jié)點(diǎn)部署RFID讀寫器,可以實(shí)時追蹤晶圓的位置、狀態(tài)和生產(chǎn)進(jìn)度,減少人工干預(yù),降低錯誤率,提高生產(chǎn)效率。
還可以將RFID讀寫器部署在機(jī)械手臂,晶圓盒部署RFID載碼體,當(dāng)機(jī)械手臂開始工作時,讀寫器自動采集載碼體信息,及時了解是什么產(chǎn)品、如何加工、何時加工,并跟蹤晶圓在加工流程中的具體位置,可顯著減少晶圓的供應(yīng)時間,并充分減少該工序的工作量,倉儲管理系統(tǒng)將RFID的信息與生產(chǎn)控制系統(tǒng) (MES) 的信息關(guān)聯(lián)在一起,可實(shí)時監(jiān)測所有晶圓
設(shè)備配置
CK-S650-PA60S是一款基于射頻識別技術(shù)的低頻RFID標(biāo)簽讀卡器,讀卡器工作頻率134.2kHz。該讀卡器支持標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)半導(dǎo)體SECS協(xié)議和 Modbus RTU協(xié)議,同時還支持1和N協(xié)議,方便用戶應(yīng)用到半導(dǎo)體加工控制器或PLC等系統(tǒng)中。設(shè)備外置了三個模式開關(guān)選擇器,方便用戶直接設(shè)置工作模式、通信速率以及設(shè)備地址。讀卡器內(nèi)部集成了射頻部分通信協(xié)議,用戶只需通過RS232/RS485通信接口發(fā)送接收數(shù)據(jù)便可完成標(biāo)簽的讀取操作,無需理解復(fù)雜的射頻通信協(xié)議。
審核編輯 黃宇
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