北方華創(chuàng)微電子發(fā)布專利：承載裝置與半導(dǎo)體工藝設(shè)備
中國企業(yè)北京北方華創(chuàng)微電子裝備公布“承載裝置及半導(dǎo)體工藝設(shè)備”發(fā)明專利（專利號：CN117987807A），申請日為2024年5月7日。該專利提供了一種新型承載裝置和配套半導(dǎo)體工藝設(shè)備， 應(yīng)用在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。
此項新實用新型的承載裝置主要由承載件、第一氣道和限位組件組成。承載件設(shè)有晶圓容納槽，底部為承載面，第一氣道的出氣口設(shè)在此面上，用于通氣使晶圓保持懸浮狀態(tài)。同時，承載件邊緣設(shè)置有多個滑道，環(huán)繞著容納槽排列，內(nèi)部還設(shè)有多個第二氣道，與滑道相連。而限位組件則包含多個與晶圓外緣周面接觸的限位件，這些限位件可以沿著滑道滑動，通過控制第二氣道的氣流方向來調(diào)整其位置。
此外，該專利還提出了一種配套的半導(dǎo)體工藝設(shè)備，其中就包括了上述承載裝置。這種設(shè)計能有效解決因托盤與晶圓間間隙不均導(dǎo)致的晶圓膜厚不均等問題。
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題，請聯(lián)系本站處理。
舉報投訴
-
晶圓
+關(guān)注
關(guān)注
52文章
4912瀏覽量
127981 -
半導(dǎo)體技術(shù)
+關(guān)注
關(guān)注
3文章
238瀏覽量
60714
發(fā)布評論請先 登錄
相關(guān)推薦
北方華創(chuàng)自研射頻電源批量應(yīng)用于多款產(chǎn)品
近日，北方華創(chuàng)在互動平臺宣布了一項重要進展：公司自主研發(fā)的射頻電源已成功批量應(yīng)用于多款產(chǎn)品中，標(biāo)志著其在半導(dǎo)體核心部件國產(chǎn)化道路上邁出了堅實的一步。隨著國內(nèi)零部件供應(yīng)商能力的顯著提升，
北方華創(chuàng)微電子裝備公司取得一項溫度控制專利
本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的溫度控制裝置和方法，具體包含第一溫控源、第二溫控源、第一輸出管道、第二輸出管道、第一回流管道、第二回流管道、第一短路管道、第二短路管道以及控制器等部件。
北方華創(chuàng)微電子獲加熱器及設(shè)備專利
這項申請致力于提供一種半導(dǎo)體設(shè)備的新型加熱器及其適用范圍，包括了加熱盤和第一冷卻元件兩個關(guān)鍵部件。其中，加熱盤被設(shè)計成可放置在半導(dǎo)體設(shè)備的腔體內(nèi)，其底部設(shè)有開口，使第一空腔能夠與外部空
北方華創(chuàng)微電子：晶圓清洗設(shè)備及晶圓定位裝置專利
該發(fā)明涉及一種晶圓清洗設(shè)備及晶圓定位裝置、定位方法。其中，晶圓定位裝置主要用于帶有定位部的晶圓定位，其結(jié)構(gòu)包括密封腔體、密封蓋、承載組件、定位組件和導(dǎo)向組件。
北方華創(chuàng)公開“半導(dǎo)體設(shè)備及磁控管組件”專利
該發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域，提出的磁控管組件包括至少兩個滑槽，滑槽兩端分別位于兩個不同直徑的圓周上，并與轉(zhuǎn)盤徑向呈一定夾角。每個滑槽內(nèi)置有一個或者多個磁控管或配重，在滑槽中隨轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)而自由移動。
北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司“半導(dǎo)體設(shè)備及其晶舟”專利公布
具體來說，這種晶舟包括副晶舟支架，能夠在批量半導(dǎo)體工藝處理達到預(yù)定進度時，以上下層疊的方式支撐多個晶圓，使其暫時離開主晶舟支架。當(dāng)主晶舟支架旋轉(zhuǎn)至特定角度后，副晶舟支架會進行復(fù)位操作，讓晶圓重新回到主晶舟支架。
半導(dǎo)體工藝設(shè)備商邁睿捷完成數(shù)千萬元Pre-A輪融資
近日，半導(dǎo)體工藝設(shè)備商邁睿捷（南京）半導(dǎo)體科技有限公司成功完成了數(shù)千萬元人民幣的Pre-A輪融資。
北京北方華創(chuàng)微電子裝備公司研發(fā)新型電源控制技術(shù)與裝置、半導(dǎo)體
此項技術(shù)主要涉及到電源控制以及半導(dǎo)體工藝設(shè)備領(lǐng)域。具體而言，該專利包括如下步驟：首先，啟動待控制電源；接著確定該待控制電源是作為上極電源還是下極電源工作；然后，獲取待控制電源的反射功率信息；
北方華創(chuàng)微電子裝備公司半導(dǎo)體工藝設(shè)備傳輸腔室專利公示
此項專利主要涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備改進，包含腔室主體、機械手和環(huán)狀體等部件。其中，機械手的固定端與腔室主體的底壁緊固銜接；而環(huán)狀體則呈環(huán)繞狀布置在腔室主體底部，并圍繞著機械手的旋
北方華創(chuàng)微電子獲新專利：半導(dǎo)體腔室設(shè)備簡化調(diào)平步驟
近日，北京北方華創(chuàng)新型微電子旗下的子公司——北京北方華創(chuàng)微電
北方華創(chuàng)國產(chǎn)12英寸HDPCVD設(shè)備進入客戶生產(chǎn)線
來源：北方華創(chuàng) 近日，由北方華創(chuàng)自主研發(fā)的12英寸高密度等離子體化學(xué)氣相沉積（HDPCVD）
半導(dǎo)體放電管TSS：原理及在電子領(lǐng)域的應(yīng)用？|深圳比創(chuàng)達電子EMC a
半導(dǎo)體放電管TSS：原理及在電子領(lǐng)域的應(yīng)用？|深圳比創(chuàng)達電子EMC半導(dǎo)體放電管TSS是一種高壓、高速、低電流的
發(fā)表于 03-06 10:07
邑文科技完成超5億元D輪融資，專注半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備研發(fā)
作為一家專注于半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)的高新技術(shù)企業(yè)，邑文科技創(chuàng)立于2011年，其核心業(yè)務(wù)包括半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備的各項研究與生產(chǎn)。重點作品包括用于半導(dǎo)體
智程半導(dǎo)體完成股權(quán)融資，專注半導(dǎo)體濕法工藝設(shè)備研發(fā)
智程半導(dǎo)體自2009年起致力于半導(dǎo)體濕法工藝設(shè)備研究、生產(chǎn)與銷售事業(yè)，10余載研發(fā)歷程，使得其已成為全球頂尖的半導(dǎo)體濕法設(shè)備供應(yīng)商。業(yè)務(wù)范圍
北方華創(chuàng)國產(chǎn)12英寸HDPCVD設(shè)備進入客戶生產(chǎn)線
北方華創(chuàng)最近研發(fā)出了一款12英寸高密度等離子體化學(xué)氣相沉積（HDPCVD）設(shè)備，名為Orion Proxima，并已正式進入客戶端驗證階段。這一創(chuàng)新標(biāo)志著
工商網(wǎng)監(jiān)
評論