電子發(fā)燒友網最新前沿技術精彩賞析（三）

電子發(fā)燒友網訊：一個優(yōu)秀的技術工程師不可能只是沉浸于一個狹小的技術領域中閉門造車，足夠優(yōu)秀的工程師總是能在工程設計中運用發(fā)散思維整合各種最新科技或前沿技術，打開創(chuàng)意產品設計之門，為通往優(yōu)秀工程師之路上積聚點滴技術精華而添磚加瓦。為供電子發(fā)燒友網工程師讀者參考之需，電子發(fā)燒友網整合了令人拍案叫絕的《電子發(fā)燒友網最新前沿技術精彩賞析》系列絕對新科技文章，本文為第三期，后期還將陸續(xù)推出其他相關系列，敬請留意。

一、“量子漂浮”技術使漂浮移動車輛可望實現(xiàn)

據(jù)國外媒體報道，一直以來，人們都認為只有像美國胡迪尼那樣偉大魔術師才會能夠操縱漂浮術，而現(xiàn)在，來自以色列特拉維夫大學的一個研究小組已經發(fā)現(xiàn)，通過使用名叫“量子漂浮”的技術，可以使物體漂浮在半空中。該研究小組認為，這項突破性技術的發(fā)現(xiàn)，可以讓科學家有望制造出可漂浮移動的車輛來代替?zhèn)鹘y(tǒng)的燃氣型機動車。

通過使用名叫“量子漂浮”的技術，可以使物體漂浮在半空中

該研究小組進行了實驗演示來證明他們的發(fā)現(xiàn)?？茖W家使用了單片的藍寶石晶片（正如英國凱特王妃佩戴的藍寶石戒指那樣的材質），然后在該晶片外罩上一層薄薄的被稱作釔鋇銅氧的物質。釔鋇銅氧是著名的高溫超導體，屬于第二類超導體。它是首個超導溫度在77K以上的材料，也就是說它的轉變溫度高于液氮的沸點，用相對便宜的液氮就可以冷卻，而之前發(fā)現(xiàn)的超導體都必須用液氦或液氫冷卻。近期，釔鋇銅氧在科技中心聯(lián)盟的年會上奪得各種矚目。如圖一所示，使用液氮冷卻外有釔鋇銅氧的藍寶石晶片之后，晶片表面釋放出冷霧，使得整個實驗看起來十分令人激動。

釔鋇銅氧這樣的高溫超導體在實際應用中可用作核磁共振成像、磁懸浮設施

像釔鋇銅氧這樣的高溫超導體在實際應用中可用作核磁共振成像、磁懸浮設施。但迫于釔鋇銅氧單晶有很高的臨界電流密度，至于多晶則很低（保持超導態(tài)時僅能通過很小的電流），并且這種材料很脆，以傳統(tǒng)方法制成線狀并不能很好地保留其超導性質。但是釔鋇銅氧可以抑制腐蝕、黏合聚合物、成核，制備有機超導體，絕緣體以及超導體隧道結。和其他超導體一樣，釔鋇銅氧在轉變溫度會發(fā)生邁斯納效應。低于一定溫度時，釔鋇銅氧變?yōu)榭勾判?，內部磁通量為零，磁力線無法進入超導體，超導體排斥體內的磁場，因此這時超導體表面的任何磁鐵都會懸浮起來。這就為上述實驗提供了可能。

此番實驗發(fā)現(xiàn)主要是基于超導體和磁鐵之間的具有的關系，即兩者之間所帶的電子相互排斥，在接觸的瞬間就會使兩者排斥開對方。由于在試驗中使用的覆蓋有釔鋇銅氧的藍寶石晶片非常之薄，磁鐵的電磁波可以瞬間穿透晶片上較為薄弱的點，即晶片上的磁通管。物質中的磁通管具有這樣的性質：當外加磁場強度逐漸增強，材料被磁通管占據(jù)的比例也隨之增加，直到所有的磁通管都完全重疊，材料的超導性便完全消失。而位于超導體材料內部的磁通管還可以使材料漂浮，旋轉，甚至在半空中移動，這樣的懸空移動完全就像魔術師們的專利。

此番實驗發(fā)現(xiàn)主要是基于超導體和磁鐵之間的具有的關系

雖然這種科技仍處于起步階段，人們已經開始展望該如何利用這樣的技術造福人類，或許未來就會出現(xiàn)漂浮的汽車，載著人們實現(xiàn)像魔術師一樣懸空漂浮的夢想。

二、新型能量采集技術可從空氣中收集環(huán)境能源

美國喬治亞理工學院（Georgia Institute of Technology）的研究人員開發(fā)出一種能量采集技術，能擷取廣播電視發(fā)射器或是手機網絡、衛(wèi)星通訊系統(tǒng)輸出的能量；透過這種從我們周遭空氣中搜尋可 用環(huán)境能源（ambient energy）的技術，可望為無線傳感器網絡、微處理器或是通訊芯片提供一種新的供電來源。

“在我們周遭有大量的電磁能 源（electromagnetic energy），但迄今尚未有人能夠開采這些能量，”主持該研究案的喬治亞理工學院電子與電腦工程系教授Manos Tentzeris表示，“我們使用了一種超寬頻（ultra-wideband）天線，以利用來自不同頻段的各種訊號，也借此大大提高了能量收集能力?！?/p>

Tentzeris 的研究團隊用噴墨印刷（inkjet printers）技術將傳感器、天線與能量搜尋電路整合在紙張或是軟性聚合物上，所產出的自供電無線傳感器能提供在國防、工業(yè)領域的化學、生物或溫度、 壓力傳感應用，以及制造業(yè)、零售業(yè)使用的RFID標簽，也可做為通訊、電力使用情況等方面的監(jiān)測應用。

通訊設備會在許多不同頻段發(fā)射能量，喬治亞理工學院研究團隊的能量采集裝置能擷取這類能量，并將交流電（AC）轉換為直流電（DC）儲存至電容或是電池中；該種技術能立即利用來自FM廣播到雷達頻率范圍內，約100MHz至15GHz或更高的能量。

研究人員在電視廣播頻段所進行的實驗，已經采集到數(shù)百微瓦（microwatts）的電力。若采用支持多頻段的采集裝置，預期可收集到至少1毫瓦（milliwatt）的電力，足以驅動許多小型電子元件，例如傳感器與微處理器。

喬治亞理工學院電子與電腦工程系教授Manos Tentzeris手持以噴墨印刷技術印在紙上的能量采集傳感器（左）與超寬頻螺旋天線（spiral antenna）

藉由結合此種能量采集技術與超級電容（supercapacitor）、循環(huán)運作機制（cycled operation），喬治亞理工學院的研究團隊預期未來可驅動電力需求量50毫瓦以上的元件；這種方法是將能量儲存在類似電池的超級電容中，當電量累積到所需的一定程度就可以使用。

研究人員已經成功地將擷取自半公里遠的電視發(fā)射臺電磁能量，驅動了一顆溫度傳感器，目前正在準備用該種技術驗證驅動微控制器。

Tentzeris 表示，可利用不同電磁頻段的能量，將提升能量采集裝置的可靠性，因為如果某個頻段因為使用狀況而暫時無法收集到能量，還是可以從其他頻段取得。該裝置還能 與其他發(fā)電技術一起使用，例如搭配太陽能發(fā)電裝置，在白天以日光為系統(tǒng)的電池充電，但到了晚上，太陽能無法供電時，該能量采集裝置就可繼續(xù)為系統(tǒng)的電池充 電，避免電力消耗。

這種能量采集技術也可做為某種形式的系統(tǒng)備援；如果系統(tǒng)所配備的太陽能裝置或是電池暫時故障，就可透過該能量采集技術來維持系統(tǒng)的基本功能。

喬治亞理工學院是以標準的噴墨印刷制程來制作所需電路，不過Tentzeris補充指出，他們的墨水采用了結合銀納米粒子與其他納米粒子的“獨家配方”。其技術不僅能印刷出RF元件與電路，也能制作出以碳納米管等納米材料為基礎的創(chuàng)新傳感元件。

三、 雙曲超材料使得太陽能電池效率有望達到99％

普通黑色油漆可吸收約85％的光照。所以，使得一些東西看起來是黑色，僅僅意味著能確保它至少吸收這么多。

現(xiàn)在，美國普渡大學（Purdue University）的埃烏杰尼?納里馬諾夫（Evgenii Narimanov）和幾個同事研究發(fā)現(xiàn)，他們可以做的更好，使用的一種材料，稱為雙曲超材料（metamaterial），可以吸收大多類型的光，并絆在它的結構內。

這些研究人員創(chuàng)造了一種雙曲超材料，他們在氧化鋁膜上培育銀納米線，制成一種平整的的吸光板。這可吸收80％的照射光。

這種材料相當黑，但隨后他們有了一個想法。把這種板表面弄粗糙，任何光線只要受到反射，就會被吸收，進入具有高峰和低谷的表面。實際上，光子是被“吸”進材料中，研究人員說。結果產生的一種材料，能吸收高達99％的照射光線。

由于這明顯優(yōu)于普通的黑色烤漆，因此，納里馬諾夫和同事說，他們的材料比黑色更暗。

這個想法有很多潛在的用途，其中最重要的是提高太陽能電池的效率。

這種具有褶皺的曲光材料，傾向于使光線散射在介質中，形成很低的反射系數(shù)，最終形成黑暗的外觀，屬于雙曲色散（hyperbolic dispersion）的光譜范圍。這種現(xiàn)象非常重要，實驗證明存在于陣列狀的銀納米線中，是在氧化鋁上培育的，這種現(xiàn)象源自具有寬頻奇異性的致密光子狀 態(tài)。這就為各種應用鋪平了道路，應用范圍包括竊聽技術、高效太陽能電池和光電探測器等。來源：普渡大學

四、 澳洲大學研究發(fā)現(xiàn)：壓電材料可將壓力轉換成電力

澳洲皇家墨爾本理工大學（RMIT University）最近發(fā)表了一項技術突破，讓自我供電（self-powering）便攜式電子產品的實現(xiàn)又邁進一步。該校研究人員首度將壓電薄膜 （piezoelectric thin films）轉換機械壓力為電力的功能特征化，論文已經刊登在知名材料科學期刊《Advanced Functional Materials》。

該論文共同作者Madhu Bhaskaran表示，其研究成果是壓電材料可將壓力轉換成電力的潛能，以及芯片制造技術、薄膜技術的結晶，“壓電技術裝置能嵌入到跑鞋中為手機充電，或是讓筆記本電腦在使用者打字的過程中獲得電力，甚至將人體的血壓轉換為心臟起搏器的電源，基本上能創(chuàng)造一種永久性的電池?！?/p>

他進一步指出：“利用壓電納米材料來采集能源的概念已經被證實，但實現(xiàn)該架構的過程會很復雜，而且不太適用于大量生產。我們的研究則是集中在薄膜涂層（coatings ），因為我們相信這是唯一有可能實現(xiàn)將壓電技術與現(xiàn)有電子技術整合的方案。”

《Advanced Functional Materials》內刊登的壓電發(fā)電

這項研究由澳洲研發(fā)委員會（Australian Research Council）贊助，該機構對納米尺度壓電薄膜的發(fā)電能力進行了評估，首度精確地量測出其電壓與電流等級，以及可產生之電量。Bhaskaran是與同所大學的Sharath Sriram共同進行這項研究。

“人們對替代能源解決方案需求殷切，我們也需要更省電的方式驅動微芯片，”Bhaskaran表示，“接下來的關鍵挑戰(zhàn)是將壓電材料所產生的電力放大，讓該技術能夠整合到低成本、小型化的系統(tǒng)架構中?！?br />

五、MIT研發(fā)出在水中長出亞微觀線路的方法

美國麻省理工學院（MIT）的研究人員開發(fā)出在水中長出亞微觀（submicroscopic）線路的方法，可望催生以液體工藝（liquid-based process）生產完整電子元件的技術。

這種水熱合成（hydrothermal synthesis）方法，基本上是采用一種注射器，將溶液經由直徑僅十分之一毫米（millimeter wide）的毛細管推出，因此不需要用到任何昂貴的半導體工藝或設備。研究團隊以微流體通道（microfluidic channel）中的氧化鋅納米線，制作出LED陣列。該系統(tǒng)能精確地控制納米線的長寬比（aspect ratio），生產出包括平板（flat plate）或是長、細線型態(tài)的各種東西。

根 據(jù)已經刊登在7月10日出版之《Nature Materials》期刊的MIT論文共同作者Brian Chow表示：“人們已經通過其他方式展現(xiàn)對線路型態(tài)的良好控制，特別是在較高的溫度或是有機溶劑（organic solvents）工藝環(huán)境下，而能在水中或是低溫的工藝環(huán)境下做到一樣的效果，是頗具吸引力的?！痹摷夹g將可簡化采用軟性聚合物或塑膠的元件制造。

MIT的研究團隊也期望可利用這種方法來制作可置入人腦的微小元件，提供高解析度、長距離感應以及刺激（stimulation）等功能。而據(jù)了解，這項橫跨物理、納米材料與應用化學等學科的研究案，是三個研究所好朋友針對更好的電子元件制造方法的討論結果。

這 三個好朋友除了Chow之外，還有Manu Prakash與論文的主要作者Jaebum Joo。Jo現(xiàn)在是Dow Chemical的資深研究員。他們談到目前電子元件制造方法缺乏效率，芯片需要先被制造出來、然后封裝，最后進行測試。他們意識到，生產微流體元件，封 裝會是最后的程序，而測試則是在制造過程中持續(xù)進行的步驟。

六、 德國研究所用LED照明光實現(xiàn)寬頻數(shù)據(jù)流傳輸

德國研究機構Fraunhofer Heinrich Hertz研究所計劃利用其可見光通訊（Visible Light Communication，VLC）技術，發(fā)表一項創(chuàng)新的寬頻傳輸解決方案；據(jù)了解，只要利用現(xiàn)成的標準LED照明，寬頻數(shù)據(jù)流就能在可見光中傳輸?shù)诫娔X或是其他具通訊功能的終端設備中。

這種寬頻傳輸技術的速度為100Mbps，研究人員在實驗室中曾經達到800Mbps的速度；由于所使用的是省電的LED技術，因此很適合應用于寬頻視頻流的傳播，以及雙向通訊──包括互聯(lián)網應用與視頻會議等。

研究人員也表示，這種光學無線技術能布署在沒有WLAN網路的場所，例如醫(yī)院或是生產線；基本上可應用于有使用LED技術的任何地方。采用可見光通訊技術的另一個優(yōu)勢，是讓數(shù)據(jù)傳輸與讀取只能在可見光錐形區(qū)域內進行。

以上可見光通訊技術是由Fraunhofer Heinrich Hertz研究所與西門子（Siemens）、法國電信（France Telecom） Orange實驗室合作，在歐盟OMEGA專案下所進行的研發(fā)。

七、美科學家研制可粘在皮膚上的超薄柔性電子電路

據(jù)英國《獨立報》報道，美國科學家研制出一種超薄柔性電子電路，可以像臨時刺青一樣粘在皮膚上，并且能夠像常規(guī)裝置一樣監(jiān)視心率。隨著這一沒有重量且不引人注意的無線裝置的發(fā)明，研制可藏在袖子下的電腦或者手機有望在不久后成為現(xiàn)實。

這塊電子皮膚裝有一個電子裝置陣列，可用于監(jiān)視重要體征

科學家表示，這種電子電路幾乎不可見，具備傳統(tǒng)電子裝置的功能同時不需要線路或者大量電量。它的發(fā)明標志著消費型電子設備進入一個新時代。這項 技術能夠在很多領域得到應用，例如醫(yī)療診斷和秘密軍事行動。這種“表皮電子系統(tǒng)”依靠具有高度柔性的電子電路，構成蛇一般的導電電路，可以在不影響性能的 情況下彎曲和伸展。超薄電子電路的尺寸與一張郵票相當，厚度不及人的一根頭發(fā)，可利用天然靜電力粘在皮膚上，無需使用膠水。

美國科學家研制出一種超薄柔性電子電路，可以像臨時刺青一樣粘在皮膚上

這種電子電路幾乎不可見，具備傳統(tǒng)電子裝置的功能同時不需要線路或者大量電量

研究小組領導人、美國伊利諾斯州大學厄巴納-香檳分校的托德-科勒曼教授表示：“我們認為這項成就是研制可佩戴電子設備方面取得的一項重大進步，能夠幫助研制幾乎不會被佩戴者注意到的裝置。這項技術能夠讓你以一種非常自然的方式與物理世界和網絡世界連接在一起。”

粘在皮膚上的電子電路可用于監(jiān)視佩戴者的心率和肌肉運動，就像傳統(tǒng)醫(yī)學監(jiān)視器一樣。由于沒有重量并且?guī)缀醪粫蝗税l(fā)現(xiàn)，這種裝置顯然優(yōu)于傳統(tǒng)裝 置，讓佩戴者獲得更多益處?？茖W家表示研制探測喉部周圍活動的電路似乎也可成為一種可能，以進行無線信息傳輸。這種電路可作為記錄佩戴者講話的一種方式， 哪怕他們發(fā)出不可辨別的聲音。

測試結果顯示這種系統(tǒng)可用于控制聲音激活的電腦游戲。科學家建議利用這項技術研制粘在皮膚上的語音盒電路，在環(huán)境危險導致無法使用對講機時隱蔽 警方行動。伊利諾斯州埃文斯通西北大學工程學教授黃永剛（Yonggang Huang，音譯）說：“電子學與生物學的融合才是關鍵。所有已經確立地位的電子裝置均十分堅硬，生物學裝置則柔軟而富有彈性。是兩個不同的世界。這是一 種能夠真正將它們融合在一起的方式?！?/p>

工程師已經研制出測試用電路，安裝在薄薄的橡膠基片上，基片粘附在皮膚上。這種電路裝有傳感器、發(fā)光二極管、晶體管、射頻電容、無線天線、導電 線圈和太陽能電池。研究論文主執(zhí)筆人、伊利諾斯州大學厄巴納-香檳分校工程學教授約翰-羅杰斯說：“我們將包里的所有部件裝上這個平臺，而后加入一些新想 法，用于驗證我們能夠讓它發(fā)揮作用?！毖芯空撐目窃凇犊茖W》雜志上。

八、 匈牙利本科生解決“隱形衣”的關鍵技術難題

據(jù)國外媒體報道，英國圣安德魯斯大學一名來自匈牙利的本科生近日解決“隱形衣”研制過程中的一個關鍵技術難題。研究人員在所謂“隱形衣”上增加了一種光學設備，這種光學設備不僅僅本身可以實現(xiàn)隱形，而且還能夠令光線減速。

據(jù)介紹，這種光學設備被稱為“隱形球”，它可以令所有接近隱形衣的光線變緩。這就意味著，被隱形物體周圍的光線不一定要被加速。通常，有限隱形 的隱形衣必須要讓周圍的光線加速才能夠實現(xiàn)在可見光譜的特定區(qū)域內隱形。新發(fā)明將可能保證隱形衣穿戴者在顏色不斷變換的背景中到處走動而不現(xiàn)身。

最新研究成果發(fā)表于德國物理學會物理研究所《新物理學雜志》之上，該研究成果作者為參加英國圣安德魯斯大學夏季學校的一名來自匈牙利的本科生簡諾斯-佩澤爾，他是在烏爾夫-萊昂哈特教授指導下完成這項研究的。佩澤爾認為，這種隱形球未來應用潛力巨大。

設計隱形衣的通常做法是在希望被隱形的物體周圍使用某些特殊材料來實現(xiàn)令光線彎曲的目的。光線被彎曲后，就無法抵達該物體，在觀測者眼睛看來該 物體就不存在。然而，光線必須要加速到一定速度才能夠有效，這也就限制了隱形衣必須在有限的光譜范圍內才能夠工作。如果一個人只準備站著靜止不動，這種隱 形衣效果是比較理想的。但是，當他開始移動時，場景開始變形，隱形衣下的人就被暴露出來。如果利用一種所謂的隱形球能夠讓所有光線減速，而不必要將光線加 速到如此高的速度，那么隱形衣就可以在光譜的所有范圍內工作。

佩澤爾介紹說，“我在萊昂哈特教授指導下，開始對超光速傳播問題進行研究。有了想法后，我努力鉆研了8個月，終于克服了其中的技術障礙，并驗證了可行性?！?/p>

德國物理學會物理研究所一位發(fā)言人表示，“這一最新成果將讓未來研制出實用的隱形衣成為一種可能，它解決了其他先進正努力克服的光速難題。更令人難忘的是，這一重要研究成果竟然是由一；名年僅22歲的本科生完成的?！?br />

九、 香港科技大學首證愛因斯坦理論，任何光子都不能超越光速極限

據(jù)香港文匯報報道，愛因斯坦被譽為現(xiàn)代物理學之父，他其中一個著名理論，就是沒有任何物質的運動可以超越光速。圍繞有關基礎，學界多年來于科研上更取得不少進展。今年，香港科技大學物理學系助理教授杜勝望及其團隊，更就有關理論取得重大實驗突破。

他們透過電磁誘導透明技術，將單一光子（Photon）中的光前驅波分離，并首次證明任何光子都不能超越光速極限，確切證實愛因斯坦的理論。是次實驗結果，也基本推翻透過光子作時間穿梭的理論假設，未來要制作任何時光機，亦只能另辟蹊徑。

光速每秒近30萬公里，即可環(huán)繞地球7個圈，根據(jù)愛因斯坦理論，那一直被視為極限速度。約十多年前科學家一度發(fā)現(xiàn)，由一大群光子組成的光脈沖，能出現(xiàn)超光速“視覺效應”，雖然那未足否定愛因斯坦理論，但亦令不少人科學家寄望，嘗試以單光子超越光速并傳遞信息及時間穿梭的可能性。

為探索有關問題，科大杜勝望與其隊伍花了3年時間研究，終在今年得出成果，于上月出版的《物理評論快報》發(fā)表作焦點介紹。在實驗中研究人員先產生一對單光子，并控制其形狀，引導其中一個光子通過一團激光冷卻的銣原子，利用電磁誘導透明效應，成功將光前驅波（Optical precursor）從單光子中“拆開”。

實驗進一步發(fā)現(xiàn)，光前驅波就是單光子速度最快的“前驅”部分，而光速移動則是其極限，也就是說，單光子根本無法超越光速，為其速度寫下結論。是次實驗首次為愛因斯坦相關理論提供充分證據(jù)，也說明在物理現(xiàn)象中，結果不能先于原因出現(xiàn)。

杜勝望指，若從應用層面看，研究結果主要有兩個意義：一是證明了單光子不能超越光速，從而減低其它實驗走錯方向的機會，例如時間穿梭的研究，將不可能透過光子來實現(xiàn)；二是為未來信息傳輸加密帶來新啟示，即如通訊只透過單光子進行，過程中只要一有干擾或接觸，就會立刻被發(fā)現(xiàn)。

08年加入科大的杜勝望又表示，由于單光子的研究不易控制，現(xiàn)時世界上專家并不多，他們的研究可說是“走在世界最前”，未來也面對極大挑戰(zhàn)。雖然有關實驗大部分儀器均是自行組件，但3年亦已耗資達300萬元，資金分別來自科大及捐贈，但去年起亦開始獲研資局撥款，繼續(xù)研究單光子特性。

科大物理學系助理教授杜勝望團隊，首次透過實驗證實單一光子不能超越光速極限。

十、 9納米?。。?！---MIT實現(xiàn)9納米工藝電子束光刻技術

麻省理工學院 （MIT）的研究人員表示，已經開發(fā)出一種技術，可望提升在芯片上寫入圖案的高速電子束光刻解析度，甚至可達9nm，遠小于原先所預期的尺寸。

MIT表示，電子束光刻工具的最小特征尺寸已證實可以解決25nm的制程跨越問題。這項研究結果將發(fā)表在Microelectronic Engineering中，可望讓電子束光刻回歸到未來半導體制造的光刻技術的討論范疇之中。

多年來，超紫外光光刻（EUV）一直被視為是接替光學光刻的領先技術。將EUV導入量產的時程已經往后推移了許多次，目前預計領先的IC制造商將在2012和2013年將該技術導入22nm半間距節(jié)點之中。

然而，EUV仍然遭遇極大挑戰(zhàn)，包括需要足夠的光源，以及缺乏能保護掩膜使其不受污染的EUV保護膜（EUV pellicle）。

研究人員一直在尋求電子束光刻技術的進一步發(fā)展，因為它一直被視為具備可超越其他技術的固有解析度優(yōu)勢。直寫式電子束光刻也相當具有吸引力，因為它消除了目前芯片制造中極其昂貴的一個部份──掩膜。

然而，該技術仍有著頑強的吞吐量問題──與其他技術相比，其電子束寫入時間非常緩慢。電子束工具可用于掩膜寫入，但許多人認為，對于量產的半導體光刻技術而言，該技術永遠不夠快。目前，有幾家公司和研究機構正在開發(fā)針對直寫式光刻和其他特殊應用的電子束工具。

在電子束光刻領域，MIT表示，電子束會一行一行地掃描整個芯片光刻膠的表面，而目前的光光刻則是讓光線通過掩膜照射，一次沖擊整個芯片表面。

MIT的研究人員──RLE研究生Vitor Manfrinato、電子工程暨電腦科學副教授Karl Berggren、電子工程系教授Henry Smith和幾位研究生表示，他們采用了兩個技巧來改善高速電子束光刻技術的解析度。首先是使用較薄的光刻膠層，以將電子散射降至最小。其次是使用包含普通食鹽的溶液來“開發(fā)”光刻膠，硬化區(qū)域可接收到稍多的電子，其他區(qū)域則接受得略少一些。

MIT的網頁引述荷蘭Delft University of Technology物理系教授暨直寫式光刻系統(tǒng)開發(fā)商Mapper NV聯(lián)合創(chuàng)始人Pieter Kruit的看法，他懷疑制造商會采用與MIT研究人員在實驗中使用的相同光刻膠。盡管研究人員的目標是找到一種可應對更小電子劑量的光刻膠，但 Kruit表示，他們的方案實際上還“有點過于敏感”。

“不過，這是需要稍微修改光刻膠的問題，而這也是光刻膠供應商致力開發(fā)的部份?！盞ruit說。