8寸硅光薄膜鈮酸鋰光電集成晶圓亮相九峰山論壇

長(zhǎng)江日?qǐng)?bào)大武漢客戶(hù)端4月10日訊（記者李琴通訊員張希為）正在中國(guó)光谷舉行的2024九峰山論壇暨化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)上，九峰山實(shí)驗(yàn)室展出了剛剛下線(xiàn)的全球首片8寸硅光薄膜鈮酸鋰光電集成晶圓。該項(xiàng)成果可實(shí)現(xiàn)超低損耗、超高帶寬的高端光芯片規(guī)模制造，可以制造目前全球綜合性能最優(yōu)的光電集成芯片。這也是該項(xiàng)成果首次公開(kāi)亮相。

九峰山實(shí)驗(yàn)室工藝中心總經(jīng)理柳俊介紹，由于鈮酸鋰材料本身的脆性大，大尺寸鈮酸鋰晶圓的制備工藝一直是業(yè)界的難題，目前，全球?qū)Ρ∧も壦徜嚨难邪l(fā)主要集中在6寸晶圓上，“此項(xiàng)成果由九峰山實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合重要產(chǎn)業(yè)合作伙伴開(kāi)發(fā)，在工藝和技術(shù)上達(dá)到了全球領(lǐng)先，將盡快實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)商用”。

記者現(xiàn)場(chǎng)看到，除8寸硅光薄膜鈮酸鋰光電集成晶圓外，九峰山實(shí)驗(yàn)室還展出了6寸碳化硅新型溝槽MOSFET晶圓等一系列突破性產(chǎn)品?！斑吔ㄔO(shè)邊開(kāi)發(fā)”，柳俊表示，得益于前期的技術(shù)積累和從全球引進(jìn)的頂尖人才，九峰山實(shí)驗(yàn)室才能快速地在化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域作出自己的貢獻(xiàn)，“有信心在未來(lái)實(shí)現(xiàn)更多新技術(shù)上的突破，在全球化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展中發(fā)揮引領(lǐng)作用”。

九峰山實(shí)驗(yàn)室展臺(tái)上，“集智九峰、筑芯光谷”8個(gè)大字引人注目。現(xiàn)場(chǎng)了解到，作為湖北十大實(shí)驗(yàn)室之一，2021年成立的九峰山實(shí)驗(yàn)室以建設(shè)先進(jìn)的化合物半導(dǎo)體研發(fā)和創(chuàng)新中心為愿景，在中國(guó)光谷建立起世界級(jí)的實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)設(shè)施，將來(lái)自世界各地的才智聚集在一起，建立由合作伙伴組成的全球生態(tài)系統(tǒng)，打造開(kāi)放、公共、共享的科研中心，構(gòu)建可持續(xù)發(fā)展的未來(lái)。

柳俊介紹：“九峰山實(shí)驗(yàn)室擁有業(yè)界領(lǐng)先的化合物半導(dǎo)體基礎(chǔ)設(shè)施，從化合物半導(dǎo)體產(chǎn)品設(shè)計(jì)、外延生長(zhǎng)、流片到測(cè)試，提供全鏈條的一站式服務(wù)?！?/p>

毗鄰九峰山實(shí)驗(yàn)室展臺(tái)，是4家由九峰山實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)業(yè)帶動(dòng)培育發(fā)展的企業(yè)的展位。其中，武漢驛天諾科技有限公司與九峰山實(shí)驗(yàn)室合作開(kāi)發(fā)的項(xiàng)目，已通過(guò)可靠性測(cè)試驗(yàn)證，所有指標(biāo)對(duì)標(biāo)國(guó)際先進(jìn)水平，達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位?！跋Ｍ麄兊漠a(chǎn)品能讓更多客戶(hù)看見(jiàn)，快速打入市場(chǎng)?！绷≌f(shuō)。

“面向科技前沿，力爭(zhēng)突破，實(shí)現(xiàn)技術(shù)上的全面領(lǐng)先。”他表示，未來(lái)九峰山實(shí)驗(yàn)室還將針對(duì)第四代半導(dǎo)體前沿布局，“希望在第四代半導(dǎo)體成熟階段，有更大機(jī)會(huì)實(shí)現(xiàn)更多產(chǎn)品和技術(shù)上的引領(lǐng)?！?/p>

審核編輯：劉清