大連理工大學(xué)發(fā)布氮化鎵氣體傳感器專利
大連理工大學(xué)在2024年3月公開發(fā)表了一項(xiàng)名為“氮化鎵氣體傳感器及其制備方法、應(yīng)用”的專利，編號為CN117761126A。
該發(fā)明的核心在于一種以氮化鎵薄膜為主要材料的氣體傳感器的制備與運(yùn)用。其制法包括：首先，通過對襯底進(jìn)行鍍膜工藝生成非晶氮化鎵薄膜，然后將其加熱至特定溫度，使之轉(zhuǎn)化為多晶氮化鎵薄膜；接著，利用濕法腐蝕技術(shù)，在多晶氮化鎵薄膜表面形成多孔結(jié)構(gòu)，最后，使用光刻及圖案化工藝在這一具有多孔結(jié)構(gòu)的襯底上制作出叉指電極圖形作為最終產(chǎn)品。該設(shè)計(jì)以特殊的叉指電極圖形為基礎(chǔ)，實(shí)現(xiàn)了對氨氣的高靈敏度、低檢測限及高敏選擇性的要求。
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題，請聯(lián)系本站處理。
舉報(bào)投訴
-
薄膜
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
293瀏覽量
29224 -
氣體傳感器
+關(guān)注
關(guān)注
14文章
542瀏覽量
37696 -
氮化鎵
+關(guān)注
關(guān)注
59文章
1631瀏覽量
116354
發(fā)布評論請先 登錄
相關(guān)推薦
都靈理工大學(xué)校長一行再訪SPEA
SPEA與都靈理工大學(xué)有著深厚的歷史淵源，雙方通過構(gòu)建人才培養(yǎng)體系、推動(dòng)融合創(chuàng)新、不斷拓寬技術(shù)應(yīng)用的邊界，共同促進(jìn)了自動(dòng)化測試技術(shù)在半導(dǎo)體、MEMS傳感器、電子制造等多個(gè)關(guān)鍵領(lǐng)域快速發(fā)展。近日，都靈
大連理工和南信大-紫光同創(chuàng)FPGA創(chuàng)新實(shí)踐基地揭牌
為了深化產(chǎn)教融合，加快推進(jìn)國產(chǎn)FPGA人才培養(yǎng)，紫光同創(chuàng)與大連理工大學(xué)軟件學(xué)院及南京信息工程大學(xué)工程訓(xùn)練中心達(dá)成合作，共同建設(shè)FPGA聯(lián)合創(chuàng)新實(shí)踐基地。
華旋傳感亮相大工汽車人產(chǎn)業(yè)論壇，共研新能源產(chǎn)業(yè)升級
11月30日，大連理工大學(xué)汽車產(chǎn)業(yè)論壇企業(yè)家·閉門會(huì)在上海盛大召開，匯聚企業(yè)界與學(xué)術(shù)界精英，共謀汽車行業(yè)技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)升級與可持續(xù)發(fā)展之道。此次論壇秉持ESG責(zé)任理念，全程無紙化操作，以實(shí)際行動(dòng)助力
大連理工大學(xué)EMBA走進(jìn)研華科技
近日， 來自大連理工大學(xué)EMBA的企業(yè)家們走進(jìn)研華科技，研華（中國）工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)總經(jīng)理蔡奇男熱情接待，并分享研華在智能制造的先進(jìn)經(jīng)驗(yàn)，及制造業(yè)企業(yè)數(shù)智化轉(zhuǎn)型的成果。
從新加坡到深圳：南洋理工大學(xué)（NTU）與VoiceAI的深度對話
近日，來自新加坡南洋理工大學(xué)的數(shù)十名師生到訪聲揚(yáng)科技深圳總部，與聲揚(yáng)科技“硬核科研團(tuán)”展開深度交流。公司聯(lián)合創(chuàng)始人、總經(jīng)理張偉彬博士出席交流會(huì)，與新加坡南洋理工大學(xué)師生們探討智能語音技術(shù)的發(fā)展趨勢
OPPO與香港理工大學(xué)深化合作,升級聯(lián)合創(chuàng)新研究中心
11月4日，OPPO廣東移動(dòng)通信有限公司（OPPO）與香港理工大學(xué)（理大）共同舉辦了一場合作續(xù)約儀式，標(biāo)志著雙方將基于2022年簽署的合作協(xié)議，進(jìn)一步深化在AI影像技術(shù)領(lǐng)域的合作。此次合作中
普源精電和大連理工大學(xué)校企合作交流會(huì)成功舉辦
普源精電科技股份有限公司與大連理工大學(xué)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)學(xué)院校企合作交流會(huì)于創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)學(xué)院402會(huì)議室成功舉辦。會(huì)議由創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)學(xué)院副院長吳振宇主持，普源精電中國區(qū)市場總監(jiān)孫曉川、教育計(jì)劃經(jīng)理江佳慧、渠道銷售經(jīng)理
傳音控股旗下TECNO與南洋理工大學(xué)ACRC達(dá)成戰(zhàn)略合作
傳音旗下創(chuàng)新科技品牌TECNO宣布與新加坡南洋理工大學(xué)亞洲傳播研究中心(Asian Communication Research Centre, ACRC)達(dá)成戰(zhàn)略合作 ，通過深入研究東南亞地區(qū)膚色
安徽理工大學(xué)校長袁亮院士走訪調(diào)研達(dá)實(shí)智能
安徽理工大學(xué)校黨委副書記、校長袁亮院士率隊(duì)走訪調(diào)研深圳達(dá)實(shí)智能股份有限公司。深圳達(dá)實(shí)智能股份有限公司董事長劉磅，安徽理工大學(xué)深圳校友會(huì)會(huì)長劉昂陪同調(diào)研。中國工程院院士、安徽理工大學(xué)校友陳湘生參加調(diào)研。
凱澤斯勞滕理工大學(xué)通過TS-AWG全新DDS固件選件加速量子計(jì)算機(jī)開發(fā)
凱澤斯勞滕理工大學(xué)（Technische Universit?t Kaiserslautern），位于德國萊茵蘭-普法爾茨州，是一所國立理工科大學(xué)。該大學(xué)成立于1970年7月13日，最初是特里爾/凱
華東理工大學(xué)選購我司差示掃描量熱儀和導(dǎo)熱系數(shù)測試儀
近日，華東理工大學(xué)在深入推動(dòng)科研與教學(xué)創(chuàng)新的過程中，決定采購我司生產(chǎn)的差示掃描量熱儀（DSC）及導(dǎo)熱系數(shù)測試儀，以進(jìn)一步提升該校材料科學(xué)、化學(xué)工程等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)條件與研究水平。華東理工大學(xué)華東理工大學(xué)
武漢芯源半導(dǎo)體與長春理工大學(xué)“CW32嵌入式創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室”揭牌
2024年6月20日上午，在長春理工大學(xué)順利舉辦了“CW32嵌入式創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室”揭牌儀式！武漢芯源半導(dǎo)體與長春理工大學(xué)電子信息工程學(xué)院的院系領(lǐng)導(dǎo)、師生代表齊聚一堂，共同見證了這一重要時(shí)刻，并著重探討了CW32大學(xué)計(jì)劃在長春
感謝浙江理工大學(xué)對我司導(dǎo)熱系數(shù)測試儀認(rèn)可
在現(xiàn)代工業(yè)與科技的浪潮中，測量技術(shù)如同航海者的指南針，引領(lǐng)著產(chǎn)品質(zhì)量與性能的不斷提升。在這樣的背景下，浙江理工大學(xué)的科研團(tuán)隊(duì)對我司HS-DR-5導(dǎo)熱系數(shù)測試儀的認(rèn)可，不僅是對該儀器性能的一次權(quán)威驗(yàn)證
中山聯(lián)合光電：精密光學(xué)實(shí)驗(yàn)室簽約落地長春理工大學(xué)中山研究院
5月7日，中山聯(lián)合光電研究院有限公司與長春理工大學(xué)中山研究院“付秀華精密光學(xué)薄膜實(shí)驗(yàn)室”簽約儀式在中山聯(lián)合光電科技股份有限公司正式舉行。聯(lián)合光電副董事長、總經(jīng)理邱盛平與長春理工大學(xué)中山研究院院長王世
西井科技和香港理工大學(xué)簽署合作協(xié)議，將共建聯(lián)合創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室
西井科技和香港理工大學(xué)簽署了人工智能和自動(dòng)駕駛方面的深度產(chǎn)學(xué)研合作協(xié)議，將共建聯(lián)合創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室，雙方共同探索該領(lǐng)域的前沿技術(shù)和應(yīng)用實(shí)踐。
工商網(wǎng)監(jiān)
評論