0
  • 聊天消息
  • 系統(tǒng)消息
  • 評論與回復(fù)
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學(xué)習(xí)在線課程
  • 觀看技術(shù)視頻
  • 寫文章/發(fā)帖/加入社區(qū)
會員中心
創(chuàng)作中心

完善資料讓更多小伙伴認(rèn)識你,還能領(lǐng)取20積分哦,立即完善>

3天內(nèi)不再提示

基于壓電-熱釋電光電子效應(yīng)的超快、自供電單片壓力傳感器研究

MEMS ? 來源:MEMS ? 2024-03-26 11:33 ? 次閱讀

壓力檢測微機(jī)電系統(tǒng)和智能可穿戴傳感領(lǐng)域具有重要意義,已經(jīng)在工業(yè)、軍事、科學(xué)研究和日常生活中獲得廣泛應(yīng)用。迄今,人們在壓力傳感器領(lǐng)域的探索、開發(fā)和商業(yè)化方面已經(jīng)取得了矚目的成果。研究表明,由于壓阻效應(yīng)具有線性范圍寬、集成能力強(qiáng)、耐用可靠等優(yōu)點,仍然是壓力傳感器采用的主要檢測原理。

然而,壓阻響應(yīng)的靈敏度受到傳感材料固有特性的限制,這取決于電阻率和載流子遷移率。為了提高靈敏度,人們提出了各種策略,如優(yōu)化晶體取向、摻雜雜質(zhì)以及使用特殊材料等。盡管取得了一些進(jìn)步,但基于壓阻特性的傳感器通常涉及復(fù)雜的制造工藝,需要外部電路和電壓源,而且響應(yīng)速度相對較慢,這限制了其在快速壓力變化檢測中的應(yīng)用。因此,迫切需要開發(fā)一種基于替代物理機(jī)制的創(chuàng)新型壓力傳感器,以提供簡單可靠的制備方法、基于能量收集的自供電能力,以及更快的響應(yīng)速度。

利用材料的壓電特性已成為一種很有前途的壓力檢測方法,尤其是在非中心對稱半導(dǎo)體中。當(dāng)對壓電材料施加壓力時,會產(chǎn)生極化電荷,從而改變能帶結(jié)構(gòu)并操縱系統(tǒng)中電荷載流子的傳輸。這將導(dǎo)致輸出電流或電壓發(fā)生變化,從而可用于確定壓力信號。此外,引入光照射可以優(yōu)化電荷載流子的產(chǎn)生、分離、傳輸和重組過程,從而通過壓電光電效應(yīng)提高傳感性能。雖然在不同的系統(tǒng)中都觀察到了壓電光電效應(yīng),但在壓力傳感器中尚未得到充分利用。此外,瞬時光照射也會誘發(fā)熱釋電勢,從而進(jìn)一步調(diào)節(jié)光電過程。通過將熱釋電效應(yīng)與壓電效應(yīng)相結(jié)合,壓力傳感的靈敏度有望得到顯著提高。

最近的研究表明,即使非中心對稱材料作為附加層或非光敏層存在,仍能實現(xiàn)出色的偏振調(diào)制。這擴(kuò)大了它們在各種結(jié)構(gòu)壓力傳感器中的適用性。然而,目前對整合壓電、光激發(fā)和熱釋電效應(yīng)的新型壓力傳感器的研究還很有限。因此,迫切需要進(jìn)一步探索和開發(fā)利用這些組合效應(yīng)的壓力傳感器,以充分挖掘它們在壓力傳感應(yīng)用中的潛力。

ccf8dcd2-ea00-11ee-a297-92fbcf53809c.jpg

據(jù)麥姆斯咨詢介紹,河北大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院、河北省光電信息與材料重點實驗室的研究人員提出了一種新型傳感機(jī)制,利用由銅銦鎵硒(CIGS)組成的單片多層異質(zhì)結(jié)來檢測壓力。這種傳感機(jī)制結(jié)合了過剩載流子的光激發(fā)、載流子輸運(yùn)改性的壓電性以及優(yōu)化非均勻光照下橫向光電效應(yīng)(LPE)中光電過程的熱釋電性。通過利用產(chǎn)生表面電荷載流子梯度的特殊照明,可誘發(fā)橫向光電壓(LPV),從而展示了傳感器的自供電特性。

為了控制LPE性能,利用壓電光電效應(yīng)將具有c軸取向的均勻氧化鋅納米線陣列集成到異質(zhì)結(jié)中。當(dāng)對異質(zhì)結(jié)施加垂直壓力時,氧化鋅納米線中由壓力引起的壓電勢會改變能帶結(jié)構(gòu),增強(qiáng)光生電荷載流子的傳輸,提高輸出LPV。LPV的增強(qiáng)取決于激光位置、功率和波長,與0~2.0 MPa外部壓力呈現(xiàn)了極好的線性關(guān)系。這表明了其寬廣的線性響應(yīng)范圍和穩(wěn)定的壓力靈敏度。此外,瞬態(tài)溫度變化誘導(dǎo)的熱釋電勢與脈沖激光照射下通過熱釋電光電子效應(yīng)促進(jìn)的載流子梯度相耦合,最終實現(xiàn)了64.25 mV/MPa的最佳壓力靈敏度和7.8/8.9 μs的驚人快速響應(yīng)。這項研究提出了一種利用單片結(jié)構(gòu)開發(fā)基于壓電-熱釋電光電子效應(yīng)的超快、高靈敏度、自供電壓力傳感器的新方法。

該研究成果已經(jīng)以“Ultrafast, self-powered monolithic pressure sensing technology induced by piezo-pyrophototronics”為題發(fā)表于Nano Energy期刊。

論文鏈接:
https://doi.org/10.1016/j.nanoen.2024.109480



審核編輯:劉清

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報投訴
  • 壓力傳感器
    +關(guān)注

    關(guān)注

    35

    文章

    2243

    瀏覽量

    163545
  • 光電效應(yīng)
    +關(guān)注

    關(guān)注

    0

    文章

    94

    瀏覽量

    13925
  • 脈沖激光
    +關(guān)注

    關(guān)注

    1

    文章

    30

    瀏覽量

    8446
  • 載流子
    +關(guān)注

    關(guān)注

    0

    文章

    134

    瀏覽量

    7685
  • 可穿戴傳感器
    +關(guān)注

    關(guān)注

    2

    文章

    99

    瀏覽量

    12617

原文標(biāo)題:基于壓電-熱釋電光電子效應(yīng)的超快、自供電單片壓力傳感器

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

收藏 人收藏

    評論

    相關(guān)推薦

    壓力傳感器的特點和優(yōu)勢 水壓力傳感器的校準(zhǔn)方法

    下保持穩(wěn)定的性能,不受溫度、濕度等因素的影響。 3. 耐用性 水壓力傳感器通常采用耐腐蝕的材料制成,能夠在惡劣的工業(yè)環(huán)境中長時間工作而不損壞。 4. 響應(yīng)速度 現(xiàn)代水壓力傳感器能夠快速響應(yīng)
    的頭像 發(fā)表于 12-12 15:05 ?314次閱讀

    高精度壓力傳感器的工作原理 高精度壓力傳感器的校準(zhǔn)方法

    高精度壓力傳感器的工作原理 高精度壓力傳感器的工作原理主要基于物理學(xué)中的壓電效應(yīng)、應(yīng)變效應(yīng)、電容效應(yīng)等。以下是幾種常見的高精度
    的頭像 發(fā)表于 12-12 14:42 ?474次閱讀

    氣體壓力傳感器的種類和特點 氣體壓力傳感器在環(huán)保監(jiān)測中的應(yīng)用

    氣體壓力傳感器的種類和特點 氣體壓力傳感器是一種用于檢測氣體壓力的儀器,廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)和環(huán)境監(jiān)測領(lǐng)域。以下是一些常見的氣體壓力傳感器種類及其特點: 1.
    的頭像 發(fā)表于 12-09 16:25 ?641次閱讀

    氣體壓力傳感器與液體壓力傳感器的區(qū)別

    有所不同。 工作原理 氣體壓力傳感器 氣體壓力傳感器通常用于測量氣體的壓力。它們可以基于不同的物理原理工作,如壓電效應(yīng)、應(yīng)變效應(yīng)或電容
    的頭像 發(fā)表于 12-09 16:23 ?386次閱讀

    電紅外傳感器的基本特性和應(yīng)用領(lǐng)域

    電紅外傳感器是一種基于效應(yīng)的紅外線傳感器
    的頭像 發(fā)表于 08-27 16:24 ?2069次閱讀

    常見的壓力傳感器有哪些

    壓力傳感器是一種將壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號的傳感器,廣泛應(yīng)用于工業(yè)、醫(yī)療、科研等領(lǐng)域。本文將詳細(xì)介紹常見的壓力傳感器類型、工作原理、性能特點以及應(yīng)用領(lǐng)域。
    的頭像 發(fā)表于 06-19 09:58 ?2865次閱讀

    壓力傳感器0.25級,精度是怎么來的

    壓力傳感器是一種將壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號的傳感器,廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動化、航空航天、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域。在這些領(lǐng)域中,對壓力傳感器的精度要求非常高,因此對
    的頭像 發(fā)表于 06-19 09:49 ?2559次閱讀

    壓力傳感器分類、原理及型號大全

    : a. 電阻式壓力傳感器:利用電阻應(yīng)變片測量壓力變化。 b. 電容式壓力傳感器:利用電容變化測量壓力變化。 c. 壓電
    的頭像 發(fā)表于 06-19 09:19 ?4359次閱讀

    基于壓電效應(yīng)光電子集成技術(shù)研究進(jìn)展綜述

    壓電效應(yīng)是一種實現(xiàn)電能與機(jī)械能之間相互轉(zhuǎn)換的重要物理現(xiàn)象。隨著集成光電子技術(shù)和壓電薄膜材料制備技術(shù)的日益成熟,壓電效應(yīng)光電子集成芯片領(lǐng)域引
    的頭像 發(fā)表于 04-17 09:10 ?1101次閱讀
    基于<b class='flag-5'>壓電效應(yīng)</b>的<b class='flag-5'>光電子</b>集成技術(shù)<b class='flag-5'>研究</b>進(jìn)展綜述

    如何選擇壓力傳感器量程?如何選擇壓力傳感器接頭?

    壓力傳感器在實際中的應(yīng)用非常之多,比如電子秤中就有壓力傳感器的身影。為增進(jìn)大家對壓力傳感器的認(rèn)識,本文將對壓力傳感器量程的選擇方法、
    的頭像 發(fā)表于 03-20 08:38 ?1408次閱讀
    如何選擇<b class='flag-5'>壓力傳感器</b>量程?如何選擇<b class='flag-5'>壓力傳感器</b>接頭?

    壓力傳感器、壓力換能器和壓力變送器的區(qū)別

    為電信號的裝置。它的工作原理基于壓電效應(yīng)或毫米波法等。壓電效應(yīng)是指某些材料在受到壓力或振動時,會產(chǎn)生電荷或電勢差。壓力傳感器通過嵌入壓力敏感
    的頭像 發(fā)表于 03-08 16:01 ?1368次閱讀

    陶瓷壓力傳感器的工作原理、結(jié)構(gòu)及分類

    陶瓷壓力傳感器的工作原理、結(jié)構(gòu)及分類 陶瓷壓力傳感器是一種常見的壓力測量設(shè)備,廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動化、航空航天、汽車工程等領(lǐng)域。 一、工作原理 陶瓷壓力傳感器的工作原理基于
    的頭像 發(fā)表于 03-08 15:32 ?3878次閱讀

    電紅外傳感器的原理

    等的探測和感應(yīng)。下面將詳細(xì)介紹電紅外傳感器的工作原理和應(yīng)用。 一、效應(yīng)
    的頭像 發(fā)表于 03-08 15:26 ?4301次閱讀

    壓力傳感器型號及參數(shù) 壓力傳感器分類及用途

    見的壓力傳感器之一。它利用薄膜或金屬片的電阻值與外部壓力的關(guān)系來測量壓力。常見的型號包括MPX2010、MPX5010等。其參數(shù)包括: 工作電壓范圍:2.2V至5.1V 最大工作壓力
    的頭像 發(fā)表于 02-04 15:30 ?7610次閱讀

    工程機(jī)械中的壓力傳感器

    換為電信號。壓力傳感器的工作原理基于不同的物理效應(yīng),如壓阻效應(yīng)、壓電效應(yīng)或電容等參數(shù),從而改變電信號的強(qiáng)度和頻率。這些變化可以被轉(zhuǎn)換成壓力
    的頭像 發(fā)表于 01-29 14:55 ?1308次閱讀
    工程機(jī)械中的<b class='flag-5'>壓力傳感器</b>