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半導體探針卡通孔加工介紹 為AI芯片質(zhì)量保駕護航

蘇州璟豐機電 ? 2024-03-13 13:12 ? 次閱讀

隨著全球芯片算力需求的飛速增長,半導體探針卡測試的重要性日益凸顯。探針卡作為半導體測試中的關鍵組件,其質(zhì)量和性能直接關系到芯片測試結(jié)果的準確性和可靠性。因此,對探針卡制造過程中的每一個環(huán)節(jié)都提出了極高的要求,其中探針卡微孔加工尤為關鍵。

探針卡微孔加工對精度要求極高,因此需要超高精密加工設備才能滿足技術要求。蘇州璟豐機電JF系列微納加工中心在微孔、深孔加工有著獨特的技術突破,為半導體探針卡制造提供先進、高效的解決方案。

wKgaomXxNUaAe8PNAASchchznTk650.pngJF微納加工中心

一、加工要求

某公司芯片探針卡檢測項目中,需要在PEEK材料的探針基座上打雙層孔,共76個,大孔孔徑0.3mm,孔深3.63mm,小孔孔徑0.2mm,打通孔,孔間距為400.5um,同時保證孔內(nèi)壁光滑。

wKgaomXxNVaANPNpAADQcWVuQvA309.png半導體探針卡

二、加工難點

  1. 探針基座的微孔不僅數(shù)量眾多,而且尺寸微小,精度要求極高。
  2. 雙層孔加工要保證兩層孔之間的精確位置和深度的控制。
  3. 在微觀尺度上實現(xiàn)孔內(nèi)壁的光滑。
wKgZomXxNWGAI1pMAAHK42mq9k0766.png半導體探針卡通孔加工

三、解決方案

蘇州璟豐機電JF系列微納加工中心可滿足半導體探針卡微孔加工需求。其核心部件包括高速主軸、視覺系統(tǒng)、直線電機和光柵反饋。

  1. 高速主軸采用了德國進口品牌Kasite/SycoTec,最高轉(zhuǎn)速可達60,000rpm,精度達到了≤1μm,確保了加工過程的高速和高精度。
  2. 視覺系統(tǒng)則配備了上下兩個高倍率遠心鏡頭相機,擁有2,000 W高清像素,空間分辨率≤1μm,為加工過程提供了精確的視覺定位。
  3. 直線電機則采用了進口品牌,具有高精度和高響應的特點,保證了加工過程的穩(wěn)定性和效率。
  4. 光柵反饋則提供了10nm、20 nm、50 nm、100 nm的精度反饋,確保了加工過程的精確控制。
wKgZomXxNWqAQQAoAAJc68jPn3Y064.png半導體探針卡通孔加工

四、加工效果

經(jīng)過對銑刀選擇、孔定位、主軸轉(zhuǎn)速以及進給率等綜合技術工藝方案,JF系列微納加工中心成功完成了PEEK材料上的雙層孔加工任務。加工后的孔內(nèi)壁光滑度達到了預期效果,完全滿足了公司對于半導體探針卡制造的要求。

wKgaomXxNXGAWuuuAAJyYGTciBE175.png半導體探針卡通孔加工效果
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