功率放大器在重力輔助式Z自由度壓電慣性雙向平順驅(qū)動研究中的應用

實驗名稱:

功率放大器在重力輔助式Z自由度壓電慣性雙向平順驅(qū)動研究中的應用

研究方向:

精密驅(qū)動與定位

實驗設備:

ATA-3080功率放大器、信號發(fā)生器、激光傳感器、光學顯微鏡等

實驗目的:

測試了其頻率特性、水平負載特性、位移曲線、電壓特性、分辨力及其在顯微成像中的應用

實驗過程:

搭建實驗系統(tǒng)進行輸出特性研究，如下圖所示。波形由信號發(fā)生器產(chǎn)生，并由功率放大器ATA-3080放大，之后對驅(qū)動器激勵。激光傳感器測量速度和位移，將實驗數(shù)據(jù)傳輸?shù)接嬎銠C。光學顯微鏡的行程一般在幾十毫米左右。所研制樣機具有長行程、高分辨率、自鎖等優(yōu)點，有望為自動光學顯微鏡成像提供解決方案。

圖：實驗系統(tǒng)圖

實驗結(jié)果:

即使運動物體自重相當于1.35N（超過當前功的3.3倍）的負載推力下，雙向位移線性擬合相關系數(shù)R2在重力輔助下也能達到0.9999。最大前進速度和分辨率分別達到304.73mm/s和5.3nm。這種新穎的設計思想特別適合Z自由度驅(qū)動，并已成功應用于顯微成像。

實驗中用到的ATA-3080功率放大器的參數(shù)指標：